- •Основні показники мікроелектроніки
- •Основні показники інтегральних мікросхем
- •Загальна схема технологічного процесу виробництва імс
- •Фізичні особливості тонких плівок.
- •Методи виготовлення тонких плівок
- •Катодне розпилення.
- •Реактивне розпилення
- •Літографія
- •Фотолітографія
- •Ренгенолітографія
- •Електронолітографія
- •Проектування гібридних інтегральних схем гіс.
- •Розрахунок і конструювання елементів гіс.
- •Розрахунок товсто плівкових резисторів.
- •Тонкоплівкові конденсатори
- •Топологічне проектування
- •Епітаксія.
- •Нова схемотехніка біполярних віс
- •Самостійно: порівняння схем, Підручник, 549-552.
- •Квантові технології електронної техніки
- •1. Генерація носіїв заряду и рекомбінація носіїв заряду
- •Інверсне заселення рівнів
- •Параметри окг.
- •Принцип дії, властивості та області застосування окг.
- •Твердотільні лазери
- •Напівпровідникові окг
- •Лазери з електронним накачуванням енергії
- •Принципи створення лазерів нового покоління.
- •1. Іонізація – це процес створення окремих електричних зарядів. Таким випромінюванням є:
Розрахунок товсто плівкових резисторів.
Не рекомендується використовувати резистори більш 5-6 Кф і менш 0,2.
Вихідні данні майже такі, як у тонко плівкових.
1. Всі резистори розташовують у порядку зростання номінальних значень опору поділяють на групи таким чином, щоб Кф кожного резистора був не більш 5…6.
2. Для кожної групи розраховують ро с оптимальне, тобто оптимальний питомий поверхневий опір пасти – формула 1.
3. Обираємо пасту(див додаток 7). Пасту вибирають с ро с – найближчим до розрахунку.
4. Визначаємо коефіцієнт форми Кф=Рі/ро с. Ро с – обране з таблиці.
5. Розраховуємо розміри:вроз=мах(вр,втех)
втех=0,8мм.
З умов потужності вр=корень((Кр*Рі)/(Р0*Кф))
Кп=1+гамар/50
Розрахункова довжина л=врозр*Кф
Ці значення коригують. За кінцеве значення л і в приймають найближче до розрахунку в бік зменшення опору Рі. і кратні кроку координатної сітки. Якщо крок 1, 10:1, то л округлюють до 0,1 мм. Після цього коригують л і в з урахуванням розтікання пасти. У додатках є графіки, які зв’язують луточнее та т
Якщо Кф менше 1, розрахунок починають з визначення довжини лр.
Довжина резистора з урахуванням перекриття розраховується за формулою лвипр+2е
Оптимальне число паст визначають з умови, коли площа всіх резисторів мінімальна. Перевірка проводиться по Р0(тонкопл.)
Тонкоплівкові конденсатори
Матеріали для конденсаторів наведені в методичці.
Така конструкція конденсатора використовується для частот більше 10МГц.
Задача – знайти мінімальну товщину діелектрика конденсатора. Існують технологічні обмеження, тобто суцільну плівку без отворів ми можемо здобути тільки певної товщини, не менш цього. Розраховуємо похибку виготовлення конденсатора. 1-й член – відносна похибка питомої ємності, параметр матеріалу із таблиці матеріалів. Ця похибка до 5%. 2-й – відносна похибка активної площі.
Мінімальна похибка буде, якщо обрати квадратну форму конденсатора. Всі відхилення від цього збільшують гамма с.
Гамма с старіння – відносна похибка, обумовлена старінням матеріалу, не перевищує 2-3%.
Порядок розрахунку:
обираємо матеріал діелектрика з додатку за значенням У робоче.
з міркувань S min обирають матеріал з максимальним епсілон і Є пробивне.
визначаємо д мінімальне, при чому межі товщини це 0,1-1 мкм.
визначаємо питому ємність конденсатора
оцінюємо гамма S активної площі конденсатора
Із цих розрахунків уточнюємо С0.
визначаємо коефіцієнт, який враховує крайовий ефект.
Якщо площа менше 1мм2 необхідно взяти інший матеріал, збільшити товщину, якщо S>200мм, то беруть інший діелектрик з більшим значенням епсілон, зменшують д – якщо можливо, використовують навісний конденсатор.
визначаємо розміри верхньої обкладки, л і б округлюємо до розмірів кроку координатної сітки.
Товстоплівкові конденсатори
Самостійно – за допомогою методички вивчити.
Розрахунок та конструювання тонко плівкової котушки індуктивності
Основа таких котушок це спіраль з провідникового матеріалу(аурум, алюміній, золото, мідь з мінімальнім тангенсом встрат, підкладка феріт).
Необхідно знайти індуктивність, добротність і резонансну частоту.
Парам. форм. |
В |
А |
С |
Кругла |
0,0215 |
0,25(Д1+Д2) |
0,5(Д2-Д1) |
Квадратна |
0,0241 |
0,25(А1+А2) |
0,5(А2-А1) |
Мінімальна довжина спіраль для заданої Л буде приблизно -,75.
Котушки працюють при великій частоті сигналу, при цьому може проявлятись скін ефект.
-
L
55
1
0,25
Q
10
1520
100
