- •Основні показники мікроелектроніки
- •Основні показники інтегральних мікросхем
- •Загальна схема технологічного процесу виробництва імс
- •Фізичні особливості тонких плівок.
- •Методи виготовлення тонких плівок
- •Катодне розпилення.
- •Реактивне розпилення
- •Літографія
- •Фотолітографія
- •Ренгенолітографія
- •Електронолітографія
- •Проектування гібридних інтегральних схем гіс.
- •Розрахунок і конструювання елементів гіс.
- •Розрахунок товсто плівкових резисторів.
- •Тонкоплівкові конденсатори
- •Топологічне проектування
- •Епітаксія.
- •Нова схемотехніка біполярних віс
- •Самостійно: порівняння схем, Підручник, 549-552.
- •Квантові технології електронної техніки
- •1. Генерація носіїв заряду и рекомбінація носіїв заряду
- •Інверсне заселення рівнів
- •Параметри окг.
- •Принцип дії, властивості та області застосування окг.
- •Твердотільні лазери
- •Напівпровідникові окг
- •Лазери з електронним накачуванням енергії
- •Принципи створення лазерів нового покоління.
- •1. Іонізація – це процес створення окремих електричних зарядів. Таким випромінюванням є:
Інверсне заселення рівнів
delt=wN(n2-n1) N – число квантів, w – ймовірність переходів частинок між основними і збудженими рівнями, delt – різниця числа переходів Е1-Е2 і Е2-Е1. У термодинамічній рівновазі n2<n1, тому дельта менше 0. Це означає, що переважають процеси поглинення енергії. Щоб переход Е2-Е1, який дає стимульоване випромінювання переважав поглинення, необхідно, щоб н2 більше н1.
Тобто ми повинні створити такі умови. Таке заселення називається інверсним.
Середовище, у якому воно створене будемо звати активним середовищем.
Нехай на це середовище діє світлова енергія. Вона буде стимулювати переходи 4 , але оскільки н2 більш н1, то перехід Е2-Е1 буде переважати Е1-Е2. Це і є принцип дії квантового підсилювача, основна робота якого інверсне заселення у активному середовищі.
Необхідно забезпечити повернення частини енергії, що випромінюється у активне середовище, тобто забезпечити системі позитивний зворотній зв'язок. Такі умови забезпечує об’ємний резонатор, тобто ми наше активне середовище з інверсним заселенням розташовуємо у об’ємному резонаторі.
Відбувається збудження Е1-Е3.
На вхід 1 накачується енергія із частотою w3 до створення інверсного заселення рівня 3 шляхом переходу частинок з рівня 1 на 3. При цій умові на вхід 2 подається стимулюючий сигнал з частотою w32 який стимулює перехід 3-2 з виділенням випромінювання w32 на виході 3.
Лазери
Це квантовий генератор, який працює в режимі самозбудження.
Евипр+Есигн > Евж+Енав – квантова система переходить в режим самозбудження. Така система працює як оптичний квантовий генератор, випромінювання в якому збуджується без стимулюючого сигналу під впливом спонтанно випущених квантів у активному середовищі.
С
Акт. сер.
сист. накачки
сист. охол.
творимо самостійно узагальнену структурну схему лазера.
1 – активне середовище
2 – дзеркала резонатора
3- оптична вісь системи
4 – система накачки енергії
5 – система охолодження активного середовища
Створюємо інверсного заселення шляхом накачки 4. Завдяки істотній неоднорідності середовища у якісь точці А спонтанно виділяється квант світлової енергії. Вона розповсюджується у всіх напрямках. Доходить до дзеркал резонатора 2 і відражається від а2 , а від 2 – частково і проходить ззовні у вигляді випромінювання 6. Відражена частина цієї енергії проходить АС і стимулює випромінювання енергії по ходу проходження, ця енергія відражається від 2а, від 2 і повторюється процес багатократно, генеруючи випромінювання 6.
03.05.12
Параметри окг.
Основні параметри: Розходимість променя, монохроматичність випромінювання, когерентність випромінювання.
1. Розходимість променя. Завдяки принципу дії лазер генерує промінь з малим діаметром у перетині. Завдяки конструкції резонатора активного середовища промінь формують тільки його складові, направлені вздовж оптичної осі. Тому розходимість променя мінімальна. Δ<1. Тобто лазерний промінь проходить велику відстань з малими втратами енергії.
2. Монохроматичність. Випромінює на 1 довжині хвилі. λ+Δλ. Припускають, що Δ немає і лазер випромінює монохроматичне випромінювання. Це протиречить закону Гейзенберга. Він встановив,що неможливо одночасно точно визначити координату та імпульс мікрочастинки у просторі. Δх*ΔРх<=h.
ΔЕ*τ<=h. Така зміна може відбуватись при неточності у часі.
Лазер може випромінювати лине на власній частоті резонатора, яка відповідає співвідношенню
L=n*λ/2. При виконанні цієї умови хвилі, які багаторазово відражають ся від дзеркал співпадають по фазі і амплітуди сумуються. Неспівпадання фаз дасть значення Δλ, величина якої – добротність резонатора. Якщо перевести в частоту - <100Гц.
Стабільність лямбда чи частоти пропорційна L – довжині резонатора.
3. Когерентність випромінювання. Когерентність – це спів падання фаз коливань, які розглядають в різних точках простору в різні моменти часу. Тому фази коливань складаються і всі коливання, які виникають у різних точка у часі співпадають. q – 1016Дж/см2.
Когерентність має 2 види:
просторова
часова
Промінь 1 проходить шлях АВ, т1
Промінь 2 – АСДВ, т2, t2>t1
На екрані В будуть додаватись хвилі, які випущені з одного джерела, але відділені один від одного у часі на ƫ=т2-т1. Якщо світова картинка на В не змінюється, то кажуть, що світло має часову когерентність. Чим більше ступінь монохроматичності – тим більше час когерентності. У лазерах час когерентності може сягати 10-2с.
Малюнок Б. 2 променя. В точні С приходять коливання, які не зміщені у часі але з різних точок простору. Якщо на екрані спостерігається стабільна картина, то йдеться про просторову когерентність
