Министерство ОБРАЗОВАНИЯ

И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

государственное образовательное учреждение

высшего профессионального образования

«КАБАРДИНО-БАЛКАРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ

уНИВЕРСИТЕТ им. Х.М. Бербекова»

Материалы и компоненты наноэлектроники Лабораторный практикум

УДК 519.8(075)

ББК 22.181 я73

Г-13

Авторы: Гаев Д.С., Панченко В.А., Тешев Р.Ш.

Название работы:

Лабораторный практикум

«Материалы и компоненты наноэлектроники»

Вид издания: учебное пособие

Дата представления в издательство: 15.12.2016

УДК 621.315.4

Реценты:

кафедра микроэлектроники, Национальный исследовательский университет «МИЭТ»

Авторы:

Гаев Дахир Сайдуллахович, Панченко Валерий Александрович, Тешев Руслан Шагбанович

Издание содержит описание лабораторных работ, выполнение которых ориентировано на ознакомление с базовыми процессами и технологиями получения материалов и компонентов наноэлектроники, а также методам их исследования.

Лабораторные работы предназначены для студентов 3 курса по направлению подготовки 11.03.04. Электроника и наноэлектроника.

Введение

Целью лабораторного практикума дать представление о особенностях свойств материалов наноэлектроники, процессах их получения и исследования.

Лабораторный практикум в обязательном порядке выполняется студентами направления подготовки 11.04.04. – Электроника и наноэлектроника при изучении дисциплины « Материалы и компоненты наноэлектроники».

Практикум предусматривает самостоятельную подготовку студентов к выполнению 8лабораторных работ ориентированных на выработку у них практических навыков экспериментальной работы в рассматриваемой области.

Перед выполнением лабораторной работы студент должен четко представлять себе цель работы, знать схему, метод измерения, физическую сущность ожидаемых результатов. Предварительно должен быть подготовлен протокол измерений, содержащий таблицы для записи результатов измерений и основные расчетные формулы. Студенты, не подготовившиеся к работе в соответствии с этими требованиями, к выполнению работы не допускаются. Лабораторные измерения на стенде студент может начать только после собеседования с преподавателем и получения соответствующего допуска. Любые изменения в схеме проводятся при отключении схемы от источника напряжения. Результаты измерения проверяются преподавателем. Отчёт по работе должен содержать исчерпывающие данные, как о цели работы, так и о результатах в следующей последовательности: задание; схема установки и описание методики измерений; первичные экспериментальные результаты за подписью преподавателя; результаты обработки экспериментальных данных, включая графики, таблицы; общие выводы о работе и заключение. Текст отчета должен быть написан аккуратно и разборчиво от руки или представлен в виде распечатки, после компьютерной верстки. В обоих случаях текст должен представлять собой логическое изложение существа вопроса. Недопустимо приведение формул, таблиц без разъяснений всех обозначений и сокращений. Полученные зависимости должны сопровождаться теоретическим обоснованным объяснением причин влияющих на их ход, для чего в процессе составления отчета студент обязан по литературным источникам ознакомиться с материалом, который был объектом его исследования в лаборатории.

Защита лабораторной работы возможна только после представления полного отчета о проделанной работе. При защите студент должен показать понимание сущности физических явлений в исследованных материалах, ориентироваться в работе технологического обрудования и уметь объяснить полученные результаты.

В лаборатории необходимо строго выполнять все правила техники безопасности и указания преподавателя.