- •I.Виды тонкослойных оптических покрытий.
- •1.Классификация и основные свойства покрытия.
- •1.1.Условные обозначения типов покрытий, пленкообразующих материалов и способов их нанесения.
- •1.2.Основные свойства покрытий.
- •2.Покрытия из диэлектриков и полупроводников.
- •2.1.Просветляющие покрытия.
- •2.1.1.Однослойное просветляющее покрытие.
- •2.1.2.Отражение и преломление света тонкими слоями.
- •2.1.3.Двухслойное просветляющее покрытие.
- •2.1.4.Трехслойное просветляющее (ахроматическое) покрытие.
- •2.2.Многослойные просветляющие покрытия.
2.1.3.Двухслойное просветляющее покрытие.
Эти покрытия применяют либо для получения отражения, близкого к нулю, в узкой области спектра, либо для расширения спектральной области минимального отражения. На практике применяют двухслойные покрытия следующих трех типов:
1.оба слоя имеют одинаковые оптические толщины, равные 0/4 ;
2.оптические толщины слоев не кратны 0/4 ;
3.оптическая толщина нижнего слоя равна 0/2 волны, а верхнего -0/4.
Покрытие
0/4-0/4
(рис.2.7.) Для
обращения в нуль коэффициента отражения
показатели преломления слоев верхнего
слоя n2,
нижнего n3
и подложки n4
должны быть связаны соотношением:
(2.27)
Если условие (2.27) не выполняется, то отражение не равно нулю, а вычисляется по формуле:
(2.28)
Спектральная кривая отражения двухслойного покрытия, состоящая из четвертьволновых слоев моноокиси кремния SiO (n3=1,70) и фтористого магния MgF2 (n2=1,38) на стекле K8 (n4=1,52), приведена на рис.2.7.
а)
б)
Рис.2.7. Спектральная кривая отражения двухслойного покрытия 0/4-0/4 на стекле К8 (n2=1,38, n3=1,70, n4=1,52).
Это покрытие эффективно только для длины волны 0 и узкого участка спектра вблизи этой длины волны. По мере удаления от 0 коэффициент отражения возрастает еще быстрее, чем при однослойном покрытии.
Покрытие 0/2-0/4 (рис.2.8, a).
Такое
покрытие называют элементарным
ахроматическим покрытием. Оно
характеризуется наличием двух минимумов
min
и максимума max
в зоне просветления. Величина max=
определяется только показателем
преломления стекла и четвертьволнового
слоя с n2
и рассчитывается по формуле:
=
(2.30)
Показатель преломления полуволнового слоя n3 влияет на величину в минимумах отражения (рис.2.8.,б). При слишком малых или слишком высоких значениях минимумы отражения исчезнет, и кривая спектрального отражения приобретает V-образный вид.
а)
б)
Рис.2.8. Спектральная кривая отражения двухслойного покрытия 0/2-0/4 на стекле К8 (n2=1,38, n3=1,85, n4=1,52).
Оптические толщины слоев не кратны 0/4.
Покрытия этого типа интересны тем, что показатели преломления слоев не должны удовлетворять какому-либо специальному соотношению.
Например, если выбрать в качестве внешнего слоя SiO2 (n2=1,45), то для подложек из стекла K8 показатель преломления внутреннего слоя, граничащего с подложкой, n3=1,79-2,3.
Расчет показывает, что для получения нулевого отражения на длине волны возможны два варианта двухслойного покрытия:
n3h3<0/4<n2h2; n2h2<0/4<n3h3
В обоих вариантах ост0,2%, но первый вариант технологически более удобен.
Пример.
На стекле K8 широко применяют двухслойное покрытие, состоящее из слоев двуокиси циркония ZrO2 (n3=2,0) и двуокиси кремния SiO2 (n2=1,45), оптические толщины которых, выраженные в долях 0, соответственно могут иметь следующие значения:
n3h3=0,10; n2h2=0,310
или
n3h3=0,40 ; n2h2=0,180
Остаточный коэффициент отражения менее 0,2% может быть получен для любой длины волны 0 в области спектра 0,4-2,0 мкм.
Рассмотренные двухслойные покрытия избирательно снижают отражение в достаточно узком интервале длины волн. Интенсивность отраженного света значительно уменьшается, но она остается высокой на других участках спектра и может превысить исходное отражение от поверхности подложки.
Избирательный характер двухслойного просветляющего покрытия при соотношении оптических толщин n2h2n3h3 сказывается в проявлении яркой окраски у просветленной поверхности. Как и для однослойной пленки, окраска, наблюдаемая в отраженном свете, может служить критерием при определении минимума отражения.
Покрытия, имеющие минимум отражения в областях 450, 500, 640 нм, характетизуются соответственно желтой, пурпурно-фиолетовой, темно-синей окрасками. Смещение минимума в области спектра 1мкм приводит к появлению сине-зеленой и зеленой окраски.
