Добавил:

Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.

Вуз:

Московский государственный университет приборостроения и информатики

Предмет:

[НЕСОРТИРОВАННОЕ]

Файл:

lec1_3.DOC

Скачиваний:

Добавлен:

01.07.2025

Размер:

614.91 Кб

Скачать

☆

1 / 71 2 3 4 5 6 7 > Следующая >>>

I.Виды тонкослойных оптических покрытий.

В оптике тонкой пленкой называется слой или система слоев материала толщиной, соизмеримой с длиною волны светового излучения. Толщина пленок колеблется от 0,001 до 10 мкм. Чаще всего такие малые толщины измеряют в нанометрах (нм). 1нм=10А°.

Тонкие пленки могут быть получены как на металлических, так и на неметаллических основаниях, называемых подложками.

В оптике в качестве подложек используют оптические детали из стекла, пластмассы и полупроводников, а также из кристаллов и оптической керамики.

Физические (в том числе и оптические) свойства тонких пленок резко отличаются от свойств образующих их веществ в массивных образцах. Причины этих различий многообразны, но основными являются природа подложки, ее температура, состояние поверхности, материал пленки, ее толщина, наличие в пленке загрязняющих примесей, методы и условия получения тонких слоев.

1.Классификация и основные свойства покрытия.

Оптические покрытия разделяют на семь типов (рис.1.1):

- зеркальные (с внешним и внутренним отражением);

- светоделительные;

- просветляющие;

- фильтрующие;

- защитные;

- токопроводящие;

- поляризующие.

Каждый из этих типов включает различные виды покрытий, отличающиеся конструкцией, материалами и методами изготовления.

Типы оптических покрытий

Зеркальные

Светодели

тельные

Просветляющие

Фильтрующие

Защитные

Токопроводящие

Поляризующие

Внешние

Внут

ренние

Диэлектрические 1,2.3 и многослойные

Нейтраль

ные

Интерфе

ренцион

ные

Полупро

воднико

вые

Металли

ческие

Диэлектри

ческие

Диэлектри

ческие одно и многослой

ные

Металличес

кие полупрозрачные

Металличес

кие постоянной и переменной плотности

Узко

полосные

Отрезающие

Поло

совые

Диэлектри

ческие из орг. и неорг. веществ

Диэлектри

ческие многослой

ные

Металло

диэлектрические

Металли

ческие непрозрачные

Рис.1.1. Основные типы оптических покрытий.

1.1.Условные обозначения типов покрытий, пленкообразующих материалов и способов их нанесения.

На чертежах оптических деталей любой вид покрытия имеет свое условное обозначение, которое строится по следующей схеме:

- графический знак и сокращенное наименование типа покрытий;

- условное обозначение исходного материала покрытия и способа нанесения каждого слоя, входящего в покрытие;

- цифра, соответствующая температуре прогрева детали до или после нанесения покрытия.

Условные графические обозначения покрытий, некоторых пленкообразующих материалов и способов их нанесения приведены в табл.1.1 и 1.2.

Таблица 1.1.

Условные обозначения типов покрытий.

Наименование покрытий	Условный графический знак	Наименование покрытий	Условный графический знак
Зеркальное внешнее		Светоделительное
Зеркальное внутреннее		Токопроводящее
Фильтрующее		Просветляющее
Защитное		Поляризующее

Таблица 1.2.

Условные обозначения пленкообразующих материалов и способов их нанесения.

Материал	Условн. обознач.	Способ нанесения и его условн. обознач.	Материал	Условн. обознач.	Способ нанесения и его условн. обознач.
1	2	3	4	5	6
Алюминий	1	Термическое	Тантал	14	Р
Золото	2	испарение в вакууме	Серебро азотнокислое	25	Р
Продолжение табл.1.2.
1	2	3	4	5	6
Никель	4	И	Кремниевый эфир	43	Р
Серебро	8	И	Титановый эфир	44	Р
Титан	15	Испарение в вакууме И	Смесь титанового и кремниевого эфиров	45	Из растворов Р
Германий	16	И	Медь	3	Е
Криолит	23	И	Палладий	5	Е
MgF₂	24	И	Фосфорно-кислый аммоний	21	Электролиз Е
ZnS	29	И	Парафин	84	Нагрев в расплаве Н
SiO	31	И	Воск	85	Н
ClF₂	96	И	Лак бакелитовый	72	Пульверизация П
Al₂O₃	35	Испарение электронно-лучевое ИЭ	Смесь двухлористо го олова и фтористого аммония	33	Из газовой фазы Г
SiO₂	41	ИЭ
ZrO₂	57	ИЭ
TiO₂	88	ИЭ
Платина	6	К
Радий	7	Катодное распыление К
Кремний	12	К