Обработка экспериментальных данных
1. Результаты измерений C=f(U) для исследованных образцов.
2Д213Б Таблица 1. Д226 Таблица 2.
Номер |
U, В |
С, пФ |
|
Номер |
U, В |
С, пФ |
1 |
0 |
1955,00 |
|
1 |
0 |
12,526 |
2 |
1 |
1316,00 |
|
2 |
1 |
7,569 |
3 |
2 |
1105,00 |
|
3 |
2 |
6,123 |
4 |
3 |
993,00 |
|
4 |
3 |
5,360 |
5 |
4 |
913,70 |
|
5 |
4 |
4,872 |
6 |
5 |
854,80 |
|
6 |
5 |
4,523 |
7 |
6 |
808,60 |
|
7 |
6 |
4,260 |
8 |
7 |
781,00 |
|
8 |
7 |
4,050 |
9 |
8 |
739,80 |
|
9 |
8 |
3,880 |
10 |
9 |
712,70 |
|
10 |
9 |
3,737 |
11 |
10 |
689,50 |
|
11 |
10 |
3,616 |
12 |
11 |
668,90 |
|
12 |
11 |
3,510 |
13 |
12 |
650,50 |
|
13 |
12 |
3,416 |
14 |
13 |
634,00 |
|
14 |
13 |
3,335 |
15 |
14 |
619,10 |
|
15 |
14 |
3,261 |
16 |
15 |
605,40 |
|
16 |
15 |
3,194 |
17 |
16 |
592,70 |
|
17 |
16 |
3,135 |
18 |
17 |
581,20 |
|
18 |
17 |
3,080 |
19 |
18 |
570,60 |
|
19 |
18 |
3,080 |
20 |
19 |
560,50 |
|
20 |
19 |
2,985 |
21 |
20 |
551,20 |
|
21 |
20 |
2,940 |
22 |
21 |
542,50 |
|
22 |
21 |
2,901 |
23 |
22 |
534,30 |
|
23 |
22 |
2,863 |
24 |
23 |
526,30 |
|
24 |
23 |
2,826 |
25 |
24 |
519,00 |
|
25 |
24 |
2,797 |
26 |
25 |
512,10 |
|
26 |
25 |
2,765 |
27 |
26 |
505,50 |
|
27 |
26 |
2,737 |
28 |
27 |
499,30 |
|
28 |
27 |
2,710 |
29 |
28 |
493,30 |
|
29 |
28 |
2,684 |
30 |
29 |
487,60 |
|
30 |
29 |
2,660 |
31 |
30 |
482,30 |
|
31 |
30 |
2,637 |
32 |
31 |
477,00 |
|
32 |
31 |
2,614 |
33 |
32 |
472,00 |
|
33 |
32 |
2,594 |
34 |
33 |
467,20 |
|
34 |
33 |
2,574 |
35 |
34 |
462,70 |
|
35 |
34 |
2,555 |
36 |
35 |
458,20 |
|
36 |
35 |
2,536 |
37 |
36 |
453,90 |
|
37 |
36 |
2,519 |
38 |
37 |
449,80 |
|
38 |
37 |
2,502 |
39 |
38 |
445,80 |
|
39 |
38 |
2,487 |
40 |
39 |
442,00 |
|
40 |
39 |
2,470 |
Шоттки-1 Таблица 3. Шоттки-2 Таблица 4.
Номер |
U, В |
С, пФ |
|
Номер |
U, В |
С, пФ |
1 |
0 |
413,5 |
|
1 |
0 |
418,8 |
2 |
0,1 |
376,6 |
|
2 |
0,1 |
382,1 |
3 |
0,2 |
348,0 |
|
3 |
0,2 |
353,4 |
4 |
0,3 |
325,4 |
|
4 |
0,3 |
330,8 |
5 |
0,4 |
306,2 |
|
5 |
0,4 |
311,7 |
6 |
0,5 |
290,4 |
|
6 |
0,5 |
295,9 |
7 |
0,6 |
276,7 |
|
7 |
0,6 |
282,2 |
8 |
0,7 |
264,9 |
|
8 |
0,7 |
270,4 |
9 |
0,8 |
254,7 |
|
9 |
0,8 |
260,2 |
10 |
0,9 |
245,4 |
|
10 |
0,9 |
250,9 |
11 |
1 |
236,9 |
|
11 |
1 |
242,3 |
12 |
1,1 |
229,5 |
|
12 |
1,1 |
234,8 |
13 |
1,2 |
222,7 |
|
13 |
1,2 |
228,0 |
14 |
1,3 |
216,5 |
|
14 |
1,3 |
221,7 |
15 |
1,4 |
210,7 |
|
15 |
1,4 |
215,9 |
16 |
1,5 |
205,5 |
|
16 |
1,5 |
210,5 |
17 |
1,6 |
200,7 |
|
17 |
1,6 |
205,7 |
18 |
1,7 |
196,2 |
|
18 |
1,7 |
201,2 |
19 |
1,8 |
192,2 |
|
19 |
1,8 |
197,1 |
20 |
1,9 |
188,3 |
|
20 |
1,9 |
193,2 |
21 |
2 |
184,6 |
|
21 |
2 |
189,4 |
22 |
2,1 |
181,2 |
|
22 |
2,1 |
185,9 |
23 |
2,2 |
178,0 |
|
23 |
2,2 |
182,6 |
24 |
2,3 |
174,9 |
|
24 |
2,3 |
179,5 |
25 |
2,4 |
172,0 |
|
25 |
2,4 |
176,5 |
26 |
2,5 |
169,3 |
|
26 |
2,5 |
173,8 |
27 |
2,6 |
166,7 |
|
27 |
2,6 |
171,2 |
28 |
2,7 |
164,2 |
|
28 |
2,7 |
168,7 |
29 |
2,8 |
162,0 |
|
29 |
2,8 |
166,3 |
30 |
2,9 |
159,7 |
|
30 |
2,9 |
164,1 |
31 |
3 |
157,5 |
|
31 |
3 |
161,8 |
2. Расчет профиля легирования и концентрации.
Расчет
концентрации примесей в однородно
легированном образце был выполнен по
формуле:
Координата, относящаяся к измеренному значению, рассчитана по формуле:
Результаты расчета:
2Д213Б Таблица 5.
Номер |
U, В |
С, пФ |
1/С2, Ф-2 |
N, см3 |
x, м |
1 |
0 |
1955,00 |
2,62E+17 |
1,66E+19 |
4,87E-09 |
2 |
1 |
1316,00 |
5,77E+17 |
2,17E+19 |
6,58E-09 |
3 |
2 |
1105,00 |
8,19E+17 |
2,68E+19 |
7,59E-09 |
4 |
3 |
993,00 |
1,01E+18 |
2,85E+19 |
8,35E-09 |
5 |
4 |
913,70 |
1,20E+18 |
3,06E+19 |
9,01E-09 |
6 |
5 |
854,80 |
1,37E+18 |
3,36E+19 |
9,57E-09 |
7 |
6 |
808,60 |
1,53E+18 |
3,40E+19 |
1,01E-08 |
8 |
7 |
781,00 |
1,64E+18 |
3,51E+19 |
1,05E-08 |
9 |
8 |
739,80 |
1,83E+18 |
3,69E+19 |
1,10E-08 |
10 |
9 |
712,70 |
1,97E+18 |
3,88E+19 |
1,14E-08 |
11 |
10 |
689,50 |
2,10E+18 |
3,98E+19 |
1,17E-08 |
12 |
11 |
668,90 |
2,24E+18 |
4,08E+19 |
1,21E-08 |
13 |
12 |
650,50 |
2,36E+18 |
4,20E+19 |
1,24E-08 |
14 |
13 |
634,00 |
2,49E+18 |
4,32E+19 |
1,27E-08 |
15 |
14 |
619,10 |
2,61E+18 |
4,38E+19 |
1,30E-08 |
16 |
15 |
605,40 |
2,73E+18 |
4,43E+19 |
1,33E-08 |
17 |
16 |
592,70 |
2,85E+18 |
4,60E+19 |
1,36E-08 |
18 |
17 |
581,20 |
2,96E+18 |
4,71E+19 |
1,38E-08 |
19 |
18 |
570,60 |
3,07E+18 |
4,68E+19 |
1,41E-08 |
20 |
19 |
560,50 |
3,18E+18 |
4,83E+19 |
1,43E-08 |
21 |
20 |
551,20 |
3,29E+18 |
4,92E+19 |
1,46E-08 |
22 |
21 |
542,50 |
3,40E+18 |
4,98E+19 |
1,48E-08 |
23 |
22 |
534,30 |
3,50E+18 |
4,88E+19 |
1,50E-08 |
24 |
23 |
526,30 |
3,61E+18 |
5,11E+19 |
1,52E-08 |
25 |
24 |
519,00 |
3,71E+18 |
5,19E+19 |
1,54E-08 |
26 |
25 |
512,10 |
3,81E+18 |
5,22E+19 |
1,57E-08 |
27 |
26 |
505,50 |
3,91E+18 |
5,35E+19 |
1,59E-08 |
28 |
27 |
499,30 |
4,01E+18 |
5,33E+19 |
1,60E-08 |
29 |
28 |
493,30 |
4,11E+18 |
5,41E+19 |
1,62E-08 |
30 |
29 |
487,60 |
4,21E+18 |
5,63E+19 |
1,64E-08 |
31 |
30 |
482,30 |
4,30E+18 |
5,45E+19 |
1,66E-08 |
32 |
31 |
477,00 |
4,40E+18 |
5,59E+19 |
1,68E-08 |
33 |
32 |
472,00 |
4,49E+18 |
5,64E+19 |
1,70E-08 |
34 |
33 |
467,20 |
4,58E+18 |
5,84E+19 |
1,71E-08 |
35 |
34 |
462,70 |
4,67E+18 |
5,67E+19 |
1,73E-08 |
36 |
35 |
458,20 |
4,76E+18 |
5,77E+19 |
1,75E-08 |
37 |
36 |
453,90 |
4,85E+18 |
5,89E+19 |
1,76E-08 |
38 |
37 |
449,80 |
4,94E+18 |
5,87E+19 |
1,78E-08 |
39 |
38 |
445,80 |
5,03E+18 |
6,02E+19 |
1,79E-08 |
40 |
39 |
442,00 |
5,12E+18 |
#ДЕЛ/0! |
3,60E-08 |
Д226 Таблица 6.
Номер |
U, В |
С, пФ |
1/С2, Ф-2 |
N, см3 |
x, м |
1 |
0 |
12,526 |
6,37E+21 |
4,72E+14 |
7,93E-07 |
2 |
1 |
7,569 |
1,75E+22 |
5,68E+14 |
1,16E-06 |
3 |
2 |
6,123 |
2,67E+22 |
6,43E+14 |
1,39E-06 |
4 |
3 |
5,360 |
3,48E+22 |
7,14E+14 |
1,56E-06 |
5 |
4 |
4,872 |
4,21E+22 |
7,75E+14 |
1,70E-06 |
6 |
5 |
4,523 |
4,89E+22 |
8,41E+14 |
1,81E-06 |
7 |
6 |
4,260 |
5,51E+22 |
8,92E+14 |
1,92E-06 |
8 |
7 |
4,050 |
6,10E+22 |
9,58E+14 |
2,01E-06 |
9 |
8 |
3,880 |
6,64E+22 |
1,01E+15 |
2,09E-06 |
10 |
9 |
3,737 |
7,16E+22 |
1,07E+15 |
2,17E-06 |
11 |
10 |
3,616 |
7,65E+22 |
1,12E+15 |
2,24E-06 |
12 |
11 |
3,510 |
8,12E+22 |
1,16E+15 |
2,30E-06 |
13 |
12 |
3,416 |
8,57E+22 |
1,24E+15 |
2,36E-06 |
14 |
13 |
3,335 |
8,99E+22 |
1,27E+15 |
2,42E-06 |
15 |
14 |
3,261 |
9,40E+22 |
1,31E+15 |
2,47E-06 |
16 |
15 |
3,194 |
9,80E+22 |
1,40E+15 |
2,52E-06 |
17 |
16 |
3,135 |
1,02E+23 |
1,43E+15 |
2,56E-06 |
18 |
17 |
3,080 |
1,05E+23 |
1,49E+15 |
2,61E-06 |
19 |
18 |
3,080 |
1,05E+23 |
1,58E+15 |
2,65E-06 |
20 |
19 |
2,985 |
1,12E+23 |
1,51E+15 |
2,69E-06 |
21 |
20 |
2,940 |
1,16E+23 |
1,67E+15 |
2,73E-06 |
22 |
21 |
2,901 |
1,19E+23 |
1,65E+15 |
2,76E-06 |
23 |
22 |
2,863 |
1,22E+23 |
1,63E+15 |
2,80E-06 |
24 |
23 |
2,826 |
1,25E+23 |
2,00E+15 |
2,83E-06 |
25 |
24 |
2,797 |
1,28E+23 |
1,76E+15 |
2,86E-06 |
26 |
25 |
2,765 |
1,31E+23 |
1,94E+15 |
2,90E-06 |
27 |
26 |
2,737 |
1,33E+23 |
1,96E+15 |
2,92E-06 |
28 |
27 |
2,710 |
1,36E+23 |
1,97E+15 |
2,95E-06 |
29 |
28 |
2,684 |
1,39E+23 |
2,08E+15 |
2,98E-06 |
30 |
29 |
2,660 |
1,41E+23 |
2,11E+15 |
3,01E-06 |
31 |
30 |
2,637 |
1,44E+23 |
2,06E+15 |
3,03E-06 |
32 |
31 |
2,614 |
1,46E+23 |
2,31E+15 |
3,06E-06 |
33 |
32 |
2,594 |
1,49E+23 |
2,26E+15 |
3,08E-06 |
34 |
33 |
2,574 |
1,51E+23 |
2,32E+15 |
3,11E-06 |
35 |
34 |
2,555 |
1,53E+23 |
2,27E+15 |
3,13E-06 |
36 |
35 |
2,536 |
1,55E+23 |
2,48E+15 |
3,15E-06 |
37 |
36 |
2,519 |
1,58E+23 |
2,43E+15 |
3,17E-06 |
38 |
37 |
2,502 |
1,60E+23 |
2,71E+15 |
3,19E-06 |
39 |
38 |
2,487 |
1,62E+23 |
2,66E+15 |
3,21E-06 |
40 |
39 |
2,470 |
1,64E+23 |
#ДЕЛ/0! |
6,44E-06 |
Шоттки-1 Таблица 7.
Номер |
U, В |
С, пФ |
1/С2, Ф-2 |
N, см3 |
x, м |
1 |
0 |
413,5 |
5,85E+18 |
7,15E+16 |
4,97E-01 |
2 |
0,1 |
376,6 |
7,05E+18 |
7,13E+16 |
5,42E-01 |
3 |
0,2 |
348,0 |
8,26E+18 |
7,24E+16 |
5,84E-01 |
4 |
0,3 |
325,4 |
9,44E+18 |
7,04E+16 |
6,22E-01 |
5 |
0,4 |
306,2 |
1,07E+19 |
7,21E+16 |
6,59E-01 |
6 |
0,5 |
290,4 |
1,19E+19 |
7,15E+16 |
6,93E-01 |
7 |
0,6 |
276,7 |
1,31E+19 |
7,23E+16 |
7,26E-01 |
8 |
0,7 |
264,9 |
1,43E+19 |
7,38E+16 |
7,56E-01 |
9 |
0,8 |
254,7 |
1,54E+19 |
7,22E+16 |
7,86E-01 |
10 |
0,9 |
245,4 |
1,66E+19 |
7,09E+16 |
8,15E-01 |
11 |
1 |
236,9 |
1,78E+19 |
7,36E+16 |
8,42E-01 |
12 |
1,1 |
229,5 |
1,90E+19 |
7,30E+16 |
8,69E-01 |
13 |
1,2 |
222,7 |
2,02E+19 |
7,34E+16 |
8,95E-01 |
14 |
1,3 |
216,5 |
2,13E+19 |
7,22E+16 |
9,20E-01 |
15 |
1,4 |
210,7 |
2,25E+19 |
7,45E+16 |
9,44E-01 |
16 |
1,5 |
205,5 |
2,37E+19 |
7,50E+16 |
9,67E-01 |
17 |
1,6 |
200,7 |
2,48E+19 |
7,46E+16 |
9,90E-01 |
18 |
1,7 |
196,2 |
2,60E+19 |
7,87E+16 |
1,01E+00 |
19 |
1,8 |
192,2 |
2,71E+19 |
7,59E+16 |
1,03E+00 |
20 |
1,9 |
188,3 |
2,82E+19 |
7,53E+16 |
1,05E+00 |
21 |
2 |
184,6 |
2,93E+19 |
7,73E+16 |
1,07E+00 |
22 |
2,1 |
181,2 |
3,05E+19 |
7,78E+16 |
1,09E+00 |
23 |
2,2 |
178,0 |
3,16E+19 |
7,62E+16 |
1,11E+00 |
24 |
2,3 |
174,9 |
3,27E+19 |
7,73E+16 |
1,13E+00 |
25 |
2,4 |
172,0 |
3,38E+19 |
7,91E+16 |
1,15E+00 |
26 |
2,5 |
169,3 |
3,49E+19 |
7,84E+16 |
1,17E+00 |
27 |
2,6 |
166,7 |
3,60E+19 |
7,79E+16 |
1,19E+00 |
28 |
2,7 |
164,2 |
3,71E+19 |
8,48E+16 |
1,20E+00 |
29 |
2,8 |
162,0 |
3,81E+19 |
7,78E+16 |
1,22E+00 |
30 |
2,9 |
159,7 |
3,92E+19 |
7,79E+16 |
1,24E+00 |
Шоттки-2 Таблица 8.
Номер |
U, В |
С, пФ |
1/С2, Ф-2 |
N, см3 |
x, м |
1 |
0 |
418,8 |
5,70E+18 |
7,49E+16 |
4,91E-01 |
2 |
0,1 |
382,1 |
6,85E+18 |
7,43E+16 |
5,34E-01 |
3 |
0,2 |
353,4 |
8,01E+18 |
7,60E+16 |
5,74E-01 |
4 |
0,3 |
330,8 |
9,14E+18 |
7,45E+16 |
6,12E-01 |
5 |
0,4 |
311,7 |
1,03E+19 |
7,62E+16 |
6,47E-01 |
6 |
0,5 |
295,9 |
1,14E+19 |
7,57E+16 |
6,80E-01 |
7 |
0,6 |
282,2 |
1,26E+19 |
7,68E+16 |
7,11E-01 |
8 |
0,7 |
270,4 |
1,37E+19 |
7,86E+16 |
7,41E-01 |
9 |
0,8 |
260,2 |
1,48E+19 |
7,71E+16 |
7,69E-01 |
10 |
0,9 |
250,9 |
1,59E+19 |
7,49E+16 |
7,97E-01 |
11 |
1 |
242,3 |
1,70E+19 |
7,78E+16 |
8,24E-01 |
12 |
1,1 |
234,8 |
1,81E+19 |
7,83E+16 |
8,49E-01 |
13 |
1,2 |
228,0 |
1,92E+19 |
7,75E+16 |
8,74E-01 |
14 |
1,3 |
221,7 |
2,03E+19 |
7,76E+16 |
8,98E-01 |
15 |
1,4 |
215,9 |
2,15E+19 |
7,71E+16 |
9,22E-01 |
16 |
1,5 |
210,5 |
2,26E+19 |
8,07E+16 |
9,44E-01 |
17 |
1,6 |
205,7 |
2,36E+19 |
8,04E+16 |
9,66E-01 |
18 |
1,7 |
201,2 |
2,47E+19 |
8,28E+16 |
9,87E-01 |
19 |
1,8 |
197,1 |
2,57E+19 |
8,19E+16 |
1,01E+00 |
20 |
1,9 |
193,2 |
2,68E+19 |
7,92E+16 |
1,03E+00 |
21 |
2 |
189,4 |
2,79E+19 |
8,11E+16 |
1,05E+00 |
22 |
2,1 |
185,9 |
2,89E+19 |
8,15E+16 |
1,07E+00 |
23 |
2,2 |
182,6 |
3,00E+19 |
8,23E+16 |
1,09E+00 |
24 |
2,3 |
179,5 |
3,10E+19 |
8,08E+16 |
1,10E+00 |
25 |
2,4 |
176,5 |
3,21E+19 |
8,55E+16 |
1,12E+00 |
26 |
2,5 |
173,8 |
3,31E+19 |
8,49E+16 |
1,14E+00 |
27 |
2,6 |
171,2 |
3,41E+19 |
8,44E+16 |
1,16E+00 |
28 |
2,7 |
168,7 |
3,51E+19 |
8,42E+16 |
1,17E+00 |
29 |
2,8 |
166,3 |
3,62E+19 |
8,81E+16 |
1,19E+00 |
30 |
2,9 |
164,1 |
3,71E+19 |
8,09E+16 |
1,21E+00 |
3.
Графики зависимости
:
Рис.1. Зависимость для диода 2Д213Д
Рис.2. Зависимость для диода Д226
Рис.3. Зависимость для диода Шоттки-1
Рис.4. Зависимость для диода Шоттки-2
4. Графики зависимости N=f(x):
Рис.5. Зависимость N=f(x) для диода 2Д213Б
Рис.6. Зависимость N=f(x) для диода Д226
Рис.7. Зависимость N=f(x) для диода Шоттки-1
Рис.8. Зависимость N=f(x) для диода Шоттки-2
