Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
10
Добавлен:
19.06.2020
Размер:
500.59 Кб
Скачать

How does an ISFET work (subthreshold)

 

 

 

 

 

 

φ

 

 

 

 

φs

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Metal

 

 

 

 

 

Ox

 

 

p-Si

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

CDL C0 CD

m =

 

 

 

 

 

C0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

C

D

+C

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

+φ

 

 

 

φ =

Qbio

 

φs =

 

VG

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

m

 

 

 

 

 

CDL +C0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n2

 

qφs

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

I = q

 

 

i

ekBT ×υD

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

NA

 

 

 

 

 

 

 

= q

 

 

n2

e

q(VG +φ)

×υD

 

 

 

 

 

 

i

 

 

mkT

 

 

 

NA

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Alam, Principles of Nanobiosensors, 2013

26

Соседние файлы в папке Мікро- та наносенсори