- •1 Исторический подход к проектированию электронной компонентной базы
- •2 Технологические методы создания интегральных микросхем
- •2.2 Литография экстремальным ультрафиолетом (euvl) [2]
- •2.3 Электронно-лучевая литография [2]
- •2.4 Ионная литография [2]
- •2.5 Рентгеновская литография [2]
- •2.6 Нанопечатная литография [2]
- •2.7 Литографически индуцированная самосборка наноструктур [2]
- •3 Обзор технологий в микроскопии [2]
- •3.1 Просвечивающие электронные микроскопы (пэм)
- •3.2 Сканирующие электронные микроскопы (сэм)
- •3.3 Сканирующие зондовые и оптические микроскопы (сзм)
- •3.4 Сканирующий туннельный микроскоп (стм)
- •3.5 Атомарно-силовой микроскоп (асм) [2]
- •3.6 Сканирующий оптический микроскоп ближнего поля (сомбп)
- •3.7 Методы сканирующей зондовой микроскопии
- •3.8 Методы получения информации о структуре вещества в нанометровом диапазоне с помощью сзм
- •3.13 Режим спектроскопии
- •3.27 Электро-силовая микроскопия (эсм)
- •3.28 Магнитно-силовая микроскопия (мсм)
- •3.29 Метод зонда Кельвина
- •3.30 Ближнепольная оптическая микроскопия (сбом)
- •3.31 Базовый прибор для научно-образовательного процесса [ 8]
- •4 Обзор технологий изготовления компонентов электроники [2]
- •4.1 Нанотранзисторы на основе структур кремний на сапфире [2]
- •4.2 Нанотранзисторы с гетеропереходами [2]
- •4.6 Нанодиоды и нанотранзисторы с резонансным туннелированием [2]
- •4.7 Транзистор на квантовых точках [2]
- •5 Материалы и компоненты наноэлектроники
- •6 Перспективы развития проектирования и технологий электронной компонентной базы [10]
- •1 Исторический подход к проектированию электронной компонентной базы................................................................................................................................. 1
- •2 Технологические методы создания интегральных микросхем..................... 3
- •3 Обзор технологий в микроскопии [2]............................................................ 14
- •5 Материалы и компоненты наноэлектроники.................................................56
5 Материалы и компоненты наноэлектроники.................................................56
5.1 Нанодиоды и нанотранзисторы на основе нанотрубок [2]........................ 59
6 Перспективы развития проектирования и технологий электронной компонентной базы [10]................................................................................................63
Литература.....................................................................................................................63
Оглавление....................................................................................................................64