- •1 Исторический подход к проектированию электронной компонентной базы
- •2 Технологические методы создания интегральных микросхем
- •2.2 Литография экстремальным ультрафиолетом (euvl) [2]
- •2.3 Электронно-лучевая литография [2]
- •2.4 Ионная литография [2]
- •2.5 Рентгеновская литография [2]
- •2.6 Нанопечатная литография [2]
- •2.7 Литографически индуцированная самосборка наноструктур [2]
- •3 Обзор технологий в микроскопии [2]
- •3.1 Просвечивающие электронные микроскопы (пэм)
- •3.2 Сканирующие электронные микроскопы (сэм)
- •3.3 Сканирующие зондовые и оптические микроскопы (сзм)
- •3.4 Сканирующий туннельный микроскоп (стм)
- •3.5 Атомарно-силовой микроскоп (асм) [2]
- •3.6 Сканирующий оптический микроскоп ближнего поля (сомбп)
- •3.7 Методы сканирующей зондовой микроскопии
- •3.8 Методы получения информации о структуре вещества в нанометровом диапазоне с помощью сзм
- •3.13 Режим спектроскопии
- •3.27 Электро-силовая микроскопия (эсм)
- •3.28 Магнитно-силовая микроскопия (мсм)
- •3.29 Метод зонда Кельвина
- •3.30 Ближнепольная оптическая микроскопия (сбом)
- •3.31 Базовый прибор для научно-образовательного процесса [ 8]
- •4 Обзор технологий изготовления компонентов электроники [2]
- •4.1 Нанотранзисторы на основе структур кремний на сапфире [2]
- •4.2 Нанотранзисторы с гетеропереходами [2]
- •4.6 Нанодиоды и нанотранзисторы с резонансным туннелированием [2]
- •4.7 Транзистор на квантовых точках [2]
- •5 Материалы и компоненты наноэлектроники
- •6 Перспективы развития проектирования и технологий электронной компонентной базы [10]
- •1 Исторический подход к проектированию электронной компонентной базы................................................................................................................................. 1
- •2 Технологические методы создания интегральных микросхем..................... 3
- •3 Обзор технологий в микроскопии [2]............................................................ 14
- •5 Материалы и компоненты наноэлектроники.................................................56
1 Исторический подход к проектированию электронной компонентной базы
1.1 Вся история развития электронной компонентной базы – это стремление к уменьшению размеров, увеличению быстродействия и массовости производства.
Гордон Мур – один из основателей компании Intel, за три года до основания компании установил, что плотность логических элементов микросхем удваивается каждые полтора года. На основании этой закономерности в 1965 году, когда плотность составляла 50 компонентов на кристалл, он предсказал, что в 1975 году она составит 65000 компонентов на кристалл, что и произошло. Эта тенденция действует до сих пор и называется закон Мура [1].
Фактически закон Мура стал настолько универсальным, что его применяют при прогнозировании роста Интернета, пропускной способности каналов связи, предсказания роста ёмкости жестких дисков и т.п.
В 1980 году разработчики
элементной базы электроники ломали
голову над тем, как добиться технологической
нормы производства микросхем в один
микрон (
.
В 1990 годы встала задача внедрить
технологическую норму в одну десятую
микрона (
.
Сегодня перед проектировщиками стоит
задача освоить барьер в одну сотую
микрона (
.
Рост плотности базовых компонентов
электроники в интегральных микросхемах
(ИС) продолжается путём масштабирования
микросхем, освоения технологических
норм 90, 65, 45, 32 нм и менее. Так в корпорации
Intel
в 2006 году началось производство ИС по
технологии 65 нм. В 2007 году произошёл
переход на 45 нанометровый процесс, в
2009году приступили к внедрению
технологического процесса 32 нм. В
2011году наступает черёд перехода на
технологический процесс в 22 нм. Вплоть
до 2020 года прогнозируется сохранение
технологии проектирования транзисторов
по современной схеме работы - с электродами
и затворами между ними [2]. К тому времени
размеры всех элементов транзистора
достигнут атомарных величин.
Исследователи из
корпорации Intel
[3] представили прототип транзистора,
который поможет закону Мура продержаться
ещё десятилетие. Транзистор, разработанный
корпорацией Intel
и британской компанией Qinetiq,
по структуре аналогичен традиционным
полевым транзисторам. У него есть исток
и сток, соединённые каналом, потоком
носителей заряда в котором управляет
затвор. Однако в отличие от традиционных
полупроводниковых приборов, канал
выполнен не из кремния, а из антимонида
индия, который состоит из атомов индия
In
и сурьмы Sb.
В периодической системе эти элементы
расположены в колонках
,
поэтому транзисторы на их основе
обозначают
.
Кремний же находится в колонке 4, близкие
к нему индий и сурьма обладают похожими
характеристиками, но ведут себя несколько
иначе. Замена кремния антимонидом индия
приводит к снижению потребляемой энергии
в 10 раз при повышении быстродействия
на 50%. Не менее важно и то, что материалы
в принципе могут вписаться в существующие
технологические процессы, что сделает
массовое изготовление этих транзисторов
более дешёвым и простым по сравнению с
такими новыми технологиями, как углеродные
нанотрубки и кремниевые нанопроводники.
Микросхемы на базе таких транзисторов
могут появиться на рынке уже к 2015 году.
Экспериментальные транзисторы были
выполнены на подложке из арсенида галлия
– дорогого материала. Теперь компания
пытается перенести свои транзисторы
на кремниевую подложку.
В отличие от Intel корпорация IBM встроила 45 нанометровое технологическое оборудование в свои существующие производственные линии с минимальными изменениями в оборудовании и процессах, за счёт этого снизив себестоимость 45 нм технологии. IBM осваивает технологию «кремний на изоляторе» (КНИ) и развивает технологии объёмного кремния. IBM развивает 32 нм технологии статических ОЗУ (СОЗУ) с использованием подзатворных диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью и металлическими затворами. Речь идёт о параллельном развитии двух технологий: на объёмном кремнии и на КНИ. Выбранный метод проектирования позволяет уменьшить размеры кристалла на 50% по сравнению с аналогом, спроектированным по технологии с 45 нм разрешением. К концу 2011 года IBM перешла к освоению технологии уровня 22 нм. В конце февраля 2008г. IBM сообщила об успешном эксперименте по формированию топологии верхнего слоя металла на чипе 22х33 мм посредством экстремальной УФ-литографии с длиной волны излучения источника 13,5 нм. Данная технология предназначена для проектирования кристаллов с технологическими нормами 22 нм [4].
Высокая плотность размещения базовых элементов на кристалле достигается в первую очередь за счёт успехов в улучшении разрешающей способности литографии. Уменьшение размеров компонентов продолжается, однако предел будет достигнут очень скоро, когда размер логического элемента на кристалле станет равным размеру атома. Специалисты считают, что произойдёт это к 2020-2030 г.г. [1].
Одним из важных ограничивающих факторов литографии является длина волны света. Чем короче длина волны света, тем меньше вытравленные на подложке элементы топологии схемы и выше плотность транзисторов. Литография – это, в принципе технологический процесс копирования чертежа микросхемы на подложку. Достоинства и недостатки этого процесса определяют производительность и стоимость микросхем. Современные кремниевые микросхемы создаются с использованием ультрафиолетового света с очень короткой длиной волны. Ведутся интенсивные исследования возможностей использования литографии на основе экстремального ультрафиолетового света с длиной волны 10-15 нм. С его помощью можно настолько увеличить плотность транзисторов в микропроцессорах, что они станут мощнее почти в 100 раз.
Анализируя проектные и технологические возможности передовых фирм, видим, что каждая из ведущих в области электроники фирм организовывала и производила электронные базовые компоненты, начиная «с нуля и под ключ». Сегодня такой метод проектирования, разработки и освоения промышленного выпуска предполагает грандиозные финансовые вложения, которые под силу только очень крупным фирмам, да и те создают кооперации для совместного освоения новых проектов и технологий. Можно назвать членов «45 нм клуба»: это IBM и связанные с ней компании, альянс «общей платформы» СPTA :Samsung, Chartered Semiconductor и др., а также корпорации Intel, TSMC, Texas Instruments. Отдельно выделяется японский альянс компаний Sony, Toshiba и NEC.
В нынешних условиях для привлечения в электронную промышленность малого бизнеса российская компания ITFY предложила создать Центр коллективной разработки микроэлектроники. [5] Завершен первый этап создания этого центра. Вычислительная среда этого центра будет размещена в облачной инфраструктуре на базе программно-аппаратной платформы IBM в России и СНГ. Создание центра коллективной разработки микроэлектроники обеспечит дизайнерам России и дизайн-центрам всего мира доступ к широкому спектру услуг в микроэлектронике – от средств разработки чипов до размещения заказов на фабрике. Создание центра проходит в несколько этапов. Вслед за лицензированием технологий разработки САПР IBM с топологией 90 нм, ITFY приняла решение о подписании контракта с IBM по предоставлению серверных мощностей для облачной проектной среды на базе хостингового центра IBM в России и СНГ. Облачная проектная среда будет размещаться в хостинговом центре IBM, гарантируя максимальную гибкость, масштабируемость и высокое качество сервиса для всех клиентов центра коллективной разработки. «На текущий момент под задачи центра выделены десятки терабайт дискового пространства, которые в любой момент могут быть расширены согласно потребностям заказчиков» - заявил Михаил Лебедев, директор департамента технологических серверов IBM в России и СНГ.
В первую очередь в облачной инфраструктуре будут размещены программные продукты IBM, в частности маршруты САПР разработки IBM с топологией 90 нм и набор IP- блоков (инструментов разработки). Облако даст возможность компаниям разрабатывать и изготавливать свои чипы с использованием самых современных лицензионных продуктов, просто арендуя программные и аппаратные мощности среды. Что обеспечит ценовые преимущества по сравнению с покупкой аналогичного программного обеспечения на рынке. Производство изначально будет осуществляться на фабриках, производящих чипы по технологиям IBM. Это является гарантией самого высокого качества, т.к. на выходе клиент получит протестированный и готовый к использованию чип. В дальнейшем по мере роста числа заказчиков, представленных в облачной среде, у заказчика появится альтернатива при выборе фабрики. В перспективе Центр рассчитывает на 500 клиентов – пользователей облачной системы разработки. На текущий момент в мире не существует аналогов подобных Центров на основе облачной технологии, открытой внешним разработчикам, которая даёт возможность пользоваться как мар-шрутами IBM, так и маршрутами других фирм. Снижение себестоимости проектирования чипов в облачной проектной среде может составить 20%. География потенциальных заказчиков определяется следующим образом: Россия, Западная Европа, Ближний Восток и Индия.
