Порядок виконання роботи

1. Одержати дозвіл для виконання лабораторної роботи.

2. Підготувати вакуумну установку до роботи для цього:

- ввімкнути загальний рубильник 380 В;

- відкрити воду через дифузійний насос ВУП-5М, перевірити її наявність;

- натиснути кнопку «СЕТЬ» на блоці керування;

- натиснути кнопку «НФ» (насос форвакуумний);

- після досягнення вакууму 1,5·10¹ Па на форвакуумному насосі (на індикаторі вакууму натиснута кнопка «Д2»), натиснути кнопку «БФ» для попередньої відкачки буферного балона;

- після досягнення вакууму 1,5·10¹ Па в буферному балоні (на індикаторі вакууму натиснута кнопка «Д4»), ввімкнути дифузійний насос, натиснувши кнопку «НД» на пульті керування і зачекати 40 хв для виходу насоса на робочий вакуум;

- для осадження плівок у вакуумній камері ВУП-5М необхідно відкачати робочий об’єм до високого вакууму (тиск 10^-3 Па). Порядок роботи такий: відкачати об’єм до попереднього вакууму, натиснувши кнопку «ПВ»; після досягнення вакууму 1,5·10¹Па за датчиком «Д4» відкачати об’єм до високого вакууму (кнопка «ВВ»).

3. Установити електронно-променеву гармату та підкладку для осадження тонкої плівки. Керування гарматою здійснюється таким чином: кнопки «ВКЛ» та «ПЭ1» вмикають живлення гармати; ручка «МОЩНОСТЬ 1» регулює високу напругу; ручка «МОЩНОСТЬ 2» регулює накал катода. Створивши високий вакуум в робочому об’ємі, одержати плівковий зразок. При цьому виміряти час конденсації. Інтерферометричним методом визначити товщину плівки та розрахувати швидкість конденсації.

4. Установити на ВУП-5М приставку для магнетронного розпилення. Натиснути кнопку «травление вкл» секції «режим» і з допомогою потенціометра «токИТр» та екрана над дифузійним насосом виставити тиск аргона у камері на рівні 10^-1 Па (на індикаторі 650-320 мВ). Тиск фіксується датчиком «Д1». Подати високу напругу на магнетрон, натиснувши такі кнопки секції «режим»: потужність «вкл», випаровувач «ИТр». За допомогою ручки потенціометра «МОЩНОСТЬ 1» виставити необхідну напругу, що фіксується на стрілочному індикаторі «напряжение». Виставити струм розряду за допомогою стрілочного індикатора «ток».

За допомогою регулювання тиску і потужності відкоректувати режим напилювання і зафіксувати його стабільне положення, що зберігається протягом не менше 1 хв. При осадженні плівки виміряти час конденсації й товщину плівки та визначити швидкість конденсації.

Зміст звіту

1. Назва, номер, мета роботи.

2. Конспект елементів теорії та методичних вказівок.

3. Результати експериментальних досліджень.

Контрольні запитання

1. Назвіть способи переходу речовини в газоподібний стан.

2. Поясніть принцип електронно-променевого випаровування речовини.

3. Недоліки та переваги ЕПВ.

4. Принцип методу магнетронного розпилення.

5. Переваги і недоліки методу магнетронного розпилення речовини.

6. Порядок проведення експерименту.

Список літератури

1. Готра З. Ю. Технологія електронної техніки / З. Ю. Готра.  Львів : Видавництво Національного університету «Львівська політехніка», 2010.  Т. 2.  884 с.

2. Проценко І. Ю. Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів: навч. посіб. / І. Ю. Проценко, А. М. Чорноус, С. І. Проценко. – Суми : Вид-во СумДУ, 2007. – 264 с.

3. Данилин Б. С. Магнетронные распылительные системы / Б. С. Данилин, В. К. Сырчин. – Москва : Радио и связь, 1982.– 72 с.