Міністерство освіти і науки України
Сумський державний університет
Н.М.Опанасюк, л.В.Однодворець, а.О.Степаненко, с.І.Проценко технологічні основи електроніки (практикуми)
Навчальний посібник
за загальною редакцією С.І.Проценка
Рекомендовано вченою радою Сумського державного університету
Суми
Сумський державний університет
2013
УДК 621.382.+621.793
ББК 34.202я73
О-60
Рецензенти:
Ю.М. Лопаткін – доктор фізико-математичних наук, професор
Сумського державного університету, м. Суми;
С.М. Данильченко – кандидат фізико-математичних наук, ст. науковий співробітник Інституту прикладної фізики НАН України, м. Суми
Рекомендовано вченою радою Сумського державного університету
як навчальний посібник
(протокол №10 від 13.06.2013 р.)
Опанасюк Н. М.
О-60 Технологічні основи електроніки (практикуми): навчальний посібник / Н.М.Опанасюк, Л.В.Однодворець, А. О. Степаненко, С.І. Проценко. – Суми: Сумський державний університет, 2013.– 105 с.
У навчальному посібнику подані навчально-методичні матеріали та завдання до виконання лабораторних робіт та проведення практичних і семінарських занять із курсу «Технологічні основи електроніки».
Навчальний посібник призначений для студентів вищих навчальних закладів денної і заочної форм навчання за напрямами підготовки «Електронні пристрої та системи» та «Мікро- і наноелектроніка».
УДК 621.382.+621.793
ББК 34.202я73
© Опанасюк Н.М., Однодворець Л.В.,
Степаненко А.О., Проценко С.І., 2013
©Сумський державний університет, 2013
Зміст
С.
Передмова............................................................................. 5
Розділ 1 ЛАБОРАТОРНИЙ ПРАКТИКУМ................... 7
-
Правила техніки безпеки під час
виконання лабораторних робіт................................. 7
-
Лабораторний практикум
«Технологічні основи електроніки»......................... 9
Лабораторна робота 1 Вакуумні методи одержання
тонких плівок........................................................................ 9
Лабораторна робота 2 Дослідження епітаксіального
росту тонких металевих плівок........................................... 18
Лабораторна робота 3 Вивчення законів електролізу
та електролітів для одержання металевих плівок............. 26
Лабораторна робота 4 Корпуси для інтегральних
мікросхем............................................................................... 33
Лабораторна робота 5 Ультразвукове очищення
підкладок для виготовлення інтегральних мікросхем
та друкованих плат............................................................... 42
Лабораторна робота 6 Визначення області взаємодії
електрона з твердим тілом методом Монте-Карло...... 50
Розділ 2 ПРАКТИЧНІ ТА
СЕМІНАРСЬКІ ЗАНЯТТЯ............................................... 56
Заняття 1–2 Фізичні та технологічні основи літографії. Фотолітографія, електронна, рентгенівська та іонна літографія............................................................................... 56
Заняття 3 Семінар на тему «Загальна характеристика
технологічного процесу виготовлення мікросхем»......... 78
Заняття 4 Елементи напівпровідникових інтегральних
мікросхем............................................................................... 79
Заняття 5 Типи структур напівпровідникових
інтегральних мікросхем....................................................... 82
Заняття 6 Схема технологічного процесу
виготовлення різних типів структур
напівпровідникових інтегральних мікросхем.................... 84
Заняття 7–8 Легування монокристалічних
напівпровідникових пластин методом термічної дифузії
та іонної імплантації............................................................. 86
Заняття 9 Семінар на тему «Епітаксія»........................... 94
Заняття 10 Семінар на тему «Технологiя
тонкоплiвкових інтегральних мікросхем»......................... 95