3. Выполнение работы

3.1. Для заданного иона инертного газа (Ne, Ar, Кr, Хе) и материала ми­шени (см. приложение) найти значение пороговой энер­гии .

3.2. Произвести расчет коэффициента распыления согласно пункту 2.3.

3.3. Построить график зависимости коэффициента распыления от энергии бомбардирующего иона K(E).

3.4. Определить время, в течение которого будет удален слой материала толщиной 1 мкм. Плотность тока j принять равной , где N - номер варианта. Расчет производить.для максималь­ного значения коэффици­ента распыления. Учесть, что величина определяется следующим выраже­нием: .

ПРИМЕЧАНИЕ. Nе: = 10, = 20,1; Ar: = 18, = 39,9; Kr: = 36, = 83,8; Xe: = 54, = 131,3.

4.Контрольные вопросы

1. Современные представления о процессе распыления.

2. Пороговая энергия распыления.

3. Характерные этапы процесса ионного распыления.

4. Связь между скоростью и коэффициентом распыления.

5. Зависимость коэффициента распыления от энергии и вида.иона, угла па­дения, атомного номера и температуры материала мишени.

6. Методика расчета коэффициента распыления.

7. Какими параметрами определяется эффективность процесса распыле­ния.

8. Модели механизма ионного распыления материалов.

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. М.: Радио и связь. 1986. 232 с.

2. Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для на­несения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989. 328 с.

3. Юдин В.В. Коэффициент распыления изотропных мишеней// Электрон­ная техника. Сер. 2. 1984. Вып. 6(172). С. 3 - 16.

4. Попов В.Ф., Горин Ю.Н. Процессы и установки электрон­но-ионной тех­нологии. М.: Высшая школа. 1988. 255 с.

5. Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел. М.: Мир, 1989. 349 с.

ПРИЛОЖЕНИЕ

Таблица П.1

Данные для расчета коэффициента распыления

Коэффициент распыления различных материалов ионами одного и того же элемента также немонотонно зависит от порядкового номера элемента мишени Периодичность функции K_p (z₂) связана с периодичностью изменения энергии связи атомов.

Зависимость коэффициента распыления от порядкового номера элемента мишени при распылении

ионами аргона с Еi = 400 эВ

В курсовой работе должны быть рассмотрены следующие обязательные материалы:

Титульный лист

Исходные данные для расчетов

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

1. ТЕОРИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА

1.1. Понятие плазмы и ее температура

1.2. Дебаевский радиус экранирования и идеальность плазмы

1.3. Плазменная частота

1.4. Проводимость плазмы

1.5. Диффузионные процессы в плазме

2. ТЕОРИЯ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ

2.1. Физические модели катодного распыления

2.2. Коэффициент распыления и факторы, влияющие на его величину

2.3. Технологические особенности процесса катодного распыления

2.4. Расчет коэффициента распыления

Государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московской области "Международный университет природы, общества и человека "Дубна"" Институт системного анализа и управления

Кафедра персональной электроники

ПОЯСНИТЕЛЬНАЯ ЗАПИСКА

к курсовой работе по дисциплине

«Физико-химические основы электронных средств»

на тему:__________________________________________________

_________________________________________________________

Студент (ка)_______________________________________________

(группа, фамилия, подпись, дата)

Специальность 211000.62 «Конструирование и технология ЭС»

Курсовая работа защищена_____________ Оценка_____________

ДУБНА 2014