- •Плазмова електроніка – це розділ електроніки, в якому вивчають процеси колективної взаємодії потоків
- •Плазмова електроніка
- •При достатньо сильному нагріванні будь-яка речовина випаровується, перетворюючись у газ. Якщо збільшити температуру,
- •Система одиниць - СГС Одиниця вимірювання 1 еВ
- •* кулонівська взаємодія;
- •Частково (не повністю) іонізована плазма –
- •Визначення:
- •Класична плазма: частинки можна розглядати як
- •Ідеальна та неідеальна плазма.
- •А.В.Бурдаков.Физика плазмы.
- •А.В.Бурдаков.Физика плазмы.
- •А.В.Бурдаков.Физика плазмы.
- •Зіткнення і траєкторії частинок в плазмі.
- •Дебаєвськє екранування Розглянемо класичну ідеальну плазму
- •Дебаєвськє екранування На якому масштабі зберігається квазінейтральність плазми?
- •Плазменные колебания
- •Макроскопічне відхилення від квазінейтральності приводить до появи електричного поля. В плазмі виникають подовжні
- •Випромінювання плазми.
- •Випромінювання плазми.
- •Випромінювання плазми. Гальмівне випромінювання.
- •Випромінювання плазми. Магнетронне випромінювання.
- •Електричним розрядом в газі називають
- •При тиску газу у внутрішньому об'ємі приладу 10-3 Па (1 мм рт. ст.
- •Складні явища, що протікають в газовому проміжку, можна звести до невеликої кількості елементарних
- •Елементарні процеси в плазмі - процеси, що відбуваються при зіткненні атомів,
- •Іонізація електронним ударом
- •Валентні електрони мають найбільший запас енергії і беруть участь в створенні хімічного зв'язку
- •Плазмова електроніка
- •Ймовірність пружних і непружних зіткнень визначається через ефективні поперечні перерізи. Якщо умовно уявити
- •Якщо додати ефективні діаметри атомів на одиницю об'єму,
- •Для визначення Qi використовують наступні
- •У газовому розряді має місце деякий розподіл енергії (fe), що
- •Параметр
- •За характером іонізованого стану плазми розрізняють:
- •Електричні розряди в газі підрозділяють на несамостійні і самостійні.
- •При русі під дією електричного поля в газовому середовищі електрони призводять до іонізації
- •Позитивні іони рухаються у напрямку катода і, при зіткненні з ним, вибивають додаткову
- •-- визначає кількість електронів у лавині, що ініційовані одним електроном;
- •Залежність коефіцієнта об'ємної іонізації газу від наведеної напруженості електричного поля Е / р0
- •З ростом pl число зіткнень збільшується за рахунок збільшення кількості молекул або відстані,
- •Плазмова електроніка
- •ВАХ газового розряду
- •АВ При малих напругах на електродах (до 40-50В), газ є майже ідеальним діелектриком,
- •DL Область самостійного розряду, яка характеризується несуттєвим впливом зовнішніх факторів.
- •GH Ділянка аномального тліючого розряду, початок якої характеризується охопленням всієї поверхні катоду процесами
- •Оптичний (лазерний) розряд.
- •Оптичний (лазерний) розряд.
- •Прилади тліючого розряду Основними ознаками приладів тліючого розряду є холодний
- •Прилади тліючого розряду. Стабілітрони тліючого розряду. Використовуються для стабілізації напруги на малопотужних
- •Прилади тліючого розряду. Стабілітрони тліючого розряду. Конструкція.
- •Прилади тліючого розряду. Стабілітрони тліючого розряду. Характеристики.
- •Прилади тліючого розряду. Стабілітрони тліючого та коронного розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Стабілітрони коронного розряду. Використовуються як для безпосередньої стабілізації
- •Прилади тліючого розряду. Стабілітрони тліючого та коронного розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Стабілітрони коронного розряду. Для стабілізації високих напруг використовують послідовне
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду є приладами з холодним
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду. Керування запалюванням можливе двома способами. Струмове керування
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду. Потенційне керування – зміна потенціалу на керуючому
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Вентильний газотрон тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Індикаторні тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Індикаторні тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Індикаторні тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади дугового розряду.
- •Тиратрони з катодом без розжарення
- •ТДИ- серія - потужні і надпотужні дугові тиратрони на парах матеріалів електродів, що
- •Прилади дугового розряду. Газотрони несамостійного дугового розряду.
- •Тиратрони з катодом розжарення
- •Прилади дугового розряду. Газотрони несамостійного дугового розряду. Параметри.
- •Прилади дугового розряду. Тиратрони несамостійного дугового розряду (імпульсні тиратрони).
- •Прилади дугового розряду. Тиратрони несамостійного дугового розряду (імпульсні тиратрони).
- •Прилади дугового розряду. Тиратрони несамостійного дугового розряду (імпульсні тиратрони).
- •Прилади дугового розряду. Тиратрони несамостійного дугового розряду (імпульсні тиратрони).
- •Прилади дугового розряду. Вентильні прилади самостійного дугового розряду (ртутні вентилі).
- •Ртутні вентилі.
- •Прилади дугового розряду. Вентильні прилади самостійного дугового розряду (ртутні вентилі).
- •Прилади дугового розряду. Вентильні прилади самостійного дугового розряду (ртутні вентилі).
- •Прилади дугового розряду. Вентильні прилади самостійного дугового розряду (ртутні вентилі).
- •Розрядники.
- •Розрядники.
- •Існує 4 робочих стана газового розрядника:
- •Двох- та три- електродні газонаповнені іскрові розрядники з максимальною статичною напругою до 200
Позитивні іони рухаються у напрямку катода і, при зіткненні з ним, вибивають додаткову кількість електронів. Внесок вторинної іонно- електронної емісії збільшує значення коефіцієнту газового посилення k:
де -- коефіцієнт вторинної іонно-електронної емісії матеріалу катоду.
Самостійний газовий розряд виникає, коли напруга на електродах приладу і кількість первинних електронів, що помножуються за рахунок іонізації та вторинної емісії, зростають настільки, що виконується умова:
.
-- визначає кількість електронів у лавині, що ініційовані одним електроном;
-- різниця -- кількість іонів в лавині (-1 означає, що один з електронів лавини вийшов з катода, а не з'явився в результаті іонізації);
- число електронів, вибитих із катода іонами. Рівність цього числа одиниці означає, що електрон, який ініціював лавину і пішов до аноду, заміщається електроном, що виходять з катода під дією іонів лавини та забезпечується самопідтримка процесу.
Часто інтенсивність об'ємної іонізації вимірюють коефіцієнтом η = α / E, який визначається кількістю актів іонізації, скоєних одним електроном при проходженні різниці потенціалів в 1 В. Замінюючи α на η та враховуючи, що в момент виникнення розряду розподіл електричного поля в проміжку лінійний, тобто Е = Uв / l, можна отримати:
(eηU 1) 1 .
Розв*язавши рівняння щодо U, можна отримати вираз для визначення напруги виникнення самостійного розряду:
Uв U0 |
|
1 |
|
1 |
|
|
ln 1 |
, |
|
||
|
|
|
|
||
де U0 - поправка на початкову енергію електронів, що чисельно дорівнює потенціалу іонізації газу Ui.
Залежність коефіцієнта об'ємної іонізації газу від наведеної напруженості електричного поля Е / р0 може бути виражена, наприклад,
апроксимацією Таунсенда: |
A |
|
|
B |
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
exp |
|
|
|
|
, |
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
E / p |
|
|
E / |
|
|
|
|
|
|
|
|
p |
|
|||
де А=1/ Ae0 |
і В= Uі / Ae0 |
; Ae0 – середня довжина вільного пробігу |
|||||||
електрона при тиску в 1 Па і Т=0оС. Ae = Ae0 / р0.
Враховуючи, що в момент виникнення розряду розподіл електричного поля у проміжку лінійний, тобто Е = Uв / l, можна отримати залежність Uв = f (pl). Ця залежність була експериментально перевірена в різних газах німецьким фізикомUв Пашеном в 1889 р. тому і носить назву кривої Пашена.
Uв min
(pl)min |
pl |
З ростом pl число зіткнень збільшується за рахунок збільшення кількості молекул або відстані, що проходять електрони, а ймовірність знижується внаслідок зменшення енергії, що набувають електрони на довжині вільного пробігу.
Іншими словами, при дуже малих pl в проміжку мало молекул через низький тиск або електрони пролітають на анод переважно без зіткнень із-за малої відстані. При великих pl через малу напруженість поля або малу довжину вільного пробігу електрони не можуть набрати енергію, достатню для ефективної іонізації.
Плазмова електроніка
Газ |
Ui, |
|
В |
||
|
||
Ne |
21,5 |
|
Ar |
15,6 |
|
He |
24,5 |
|
H2 |
15,4 |
Матеріал
мішені
Mo
Ni
Ba
H, В/(мм рт. ст. ×
×см)
А, см–1 · мм рт. ст.–1
4
14
3
5
Ne
Uв min, |
(pl)min, |
|
мм рт. |
||
В |
||
ст.·см |
||
|
||
155 |
1.55 |
|
205 |
2.05 |
|
– |
– |
5
В, В · см–1 ·мм |
|
|
|
|
Mo |
Ni |
Ba |
||
рт. ст.–1 |
||||
|
|
|
||
100 |
0,15 |
0,06 |
0,33 |
|
|
|
8 |
|
|
180 |
0,08 |
0,03 |
0,22 |
|
34 |
0,20 |
0,11 |
0,42 |
|
130 |
0,015 |
0,01 |
0,12 |
|
Газ |
|
|
|
He |
|
Ar |
Uв min, В |
(pl)min, |
Uв min, В |
(pl) min, |
мм рт. |
мм рт. |
||
|
ст.·см |
|
ст.·см |
175 |
3.5 |
116 |
0.58 |
216 |
4.32 |
141 |
0.7 |
126 |
– |
71 |
– |
7 |
20 |
ВАХ газового розряду
АВ При малих напругах на електродах (до 40-50В), газ є майже ідеальним діелектриком, а невеликий струм в 10-12—10-10 А визваний зовнішніми факторами (радіаційний фон, космічне випромінювання, температура катоду і т.д.).
ВС Струм між електродами незначною мірою збільшується з причини збільшення кількості заряджених частинок, що доходять до електродів без рекомбінації.
CD Ділянка газового посилення, при якій електрони вже мають достатню енергію для іонізації газу. Виникають вторинні електрони та іони, але процеси рекомбінації або деіонізації поки переважають.
AD Область несамостійного газового розряду, бо при ослабленні впливу зовнішніх факторів відбудеться зменшення струму розряду.
DL Область самостійного розряду, яка характеризується несуттєвим впливом зовнішніх факторів.
DE Ділянка тихого (таунсівського) розряду, потенціалом достатнім для виникнення самостійного розряду. Розвивається лавинний розряд.
EF Збільшення струму викривляє поле між електродами, основне падіння потенціалу приходиться на катодну область біля катоду за рахунок концентрації в ній позитивних іонів. Виникає самостійний розряд, який підтримується за рахунок вибивання іонами вторинних електронів з поверхні катоду.
FG Ділянка нормального тліючого або, при високих тисках, іскрового та коронного розрядів. Незначне збільшення потенціалу, за рахунок збільшення площі вторинно-електронної емісії при постійній щільності вторинного струму, приводить до значного збільшення струму розряду.
