- •Плазмова електроніка – це розділ електроніки, в якому вивчають процеси колективної взаємодії потоків
- •Плазмова електроніка
- •При достатньо сильному нагріванні будь-яка речовина випаровується, перетворюючись у газ. Якщо збільшити температуру,
- •Система одиниць - СГС Одиниця вимірювання 1 еВ
- •* кулонівська взаємодія;
- •Частково (не повністю) іонізована плазма –
- •Визначення:
- •Класична плазма: частинки можна розглядати як
- •Ідеальна та неідеальна плазма.
- •А.В.Бурдаков.Физика плазмы.
- •А.В.Бурдаков.Физика плазмы.
- •А.В.Бурдаков.Физика плазмы.
- •Зіткнення і траєкторії частинок в плазмі.
- •Дебаєвськє екранування Розглянемо класичну ідеальну плазму
- •Дебаєвськє екранування На якому масштабі зберігається квазінейтральність плазми?
- •Плазменные колебания
- •Макроскопічне відхилення від квазінейтральності приводить до появи електричного поля. В плазмі виникають подовжні
- •Випромінювання плазми.
- •Випромінювання плазми.
- •Випромінювання плазми. Гальмівне випромінювання.
- •Випромінювання плазми. Магнетронне випромінювання.
- •Електричним розрядом в газі називають
- •При тиску газу у внутрішньому об'ємі приладу 10-3 Па (1 мм рт. ст.
- •Складні явища, що протікають в газовому проміжку, можна звести до невеликої кількості елементарних
- •Елементарні процеси в плазмі - процеси, що відбуваються при зіткненні атомів,
- •Іонізація електронним ударом
- •Валентні електрони мають найбільший запас енергії і беруть участь в створенні хімічного зв'язку
- •Плазмова електроніка
- •Ймовірність пружних і непружних зіткнень визначається через ефективні поперечні перерізи. Якщо умовно уявити
- •Якщо додати ефективні діаметри атомів на одиницю об'єму,
- •Для визначення Qi використовують наступні
- •У газовому розряді має місце деякий розподіл енергії (fe), що
- •Параметр
- •За характером іонізованого стану плазми розрізняють:
- •Електричні розряди в газі підрозділяють на несамостійні і самостійні.
- •При русі під дією електричного поля в газовому середовищі електрони призводять до іонізації
- •Позитивні іони рухаються у напрямку катода і, при зіткненні з ним, вибивають додаткову
- •-- визначає кількість електронів у лавині, що ініційовані одним електроном;
- •Залежність коефіцієнта об'ємної іонізації газу від наведеної напруженості електричного поля Е / р0
- •З ростом pl число зіткнень збільшується за рахунок збільшення кількості молекул або відстані,
- •Плазмова електроніка
- •ВАХ газового розряду
- •АВ При малих напругах на електродах (до 40-50В), газ є майже ідеальним діелектриком,
- •DL Область самостійного розряду, яка характеризується несуттєвим впливом зовнішніх факторів.
- •GH Ділянка аномального тліючого розряду, початок якої характеризується охопленням всієї поверхні катоду процесами
- •Оптичний (лазерний) розряд.
- •Оптичний (лазерний) розряд.
- •Прилади тліючого розряду Основними ознаками приладів тліючого розряду є холодний
- •Прилади тліючого розряду. Стабілітрони тліючого розряду. Використовуються для стабілізації напруги на малопотужних
- •Прилади тліючого розряду. Стабілітрони тліючого розряду. Конструкція.
- •Прилади тліючого розряду. Стабілітрони тліючого розряду. Характеристики.
- •Прилади тліючого розряду. Стабілітрони тліючого та коронного розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Стабілітрони коронного розряду. Використовуються як для безпосередньої стабілізації
- •Прилади тліючого розряду. Стабілітрони тліючого та коронного розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Стабілітрони коронного розряду. Для стабілізації високих напруг використовують послідовне
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду є приладами з холодним
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду. Керування запалюванням можливе двома способами. Струмове керування
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду. Потенційне керування – зміна потенціалу на керуючому
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Вентильний газотрон тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Індикаторні тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Індикаторні тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади тліючого розряду. Індикаторні тиратрони тліючого розряду.
- •Прилади дугового розряду.
- •Тиратрони з катодом без розжарення
- •ТДИ- серія - потужні і надпотужні дугові тиратрони на парах матеріалів електродів, що
- •Прилади дугового розряду. Газотрони несамостійного дугового розряду.
- •Тиратрони з катодом розжарення
- •Прилади дугового розряду. Газотрони несамостійного дугового розряду. Параметри.
- •Прилади дугового розряду. Тиратрони несамостійного дугового розряду (імпульсні тиратрони).
- •Прилади дугового розряду. Тиратрони несамостійного дугового розряду (імпульсні тиратрони).
- •Прилади дугового розряду. Тиратрони несамостійного дугового розряду (імпульсні тиратрони).
- •Прилади дугового розряду. Тиратрони несамостійного дугового розряду (імпульсні тиратрони).
- •Прилади дугового розряду. Вентильні прилади самостійного дугового розряду (ртутні вентилі).
- •Ртутні вентилі.
- •Прилади дугового розряду. Вентильні прилади самостійного дугового розряду (ртутні вентилі).
- •Прилади дугового розряду. Вентильні прилади самостійного дугового розряду (ртутні вентилі).
- •Прилади дугового розряду. Вентильні прилади самостійного дугового розряду (ртутні вентилі).
- •Розрядники.
- •Розрядники.
- •Існує 4 робочих стана газового розрядника:
- •Двох- та три- електродні газонаповнені іскрові розрядники з максимальною статичною напругою до 200
Валентні електрони мають найбільший запас енергії і беруть участь в створенні хімічного зв'язку між атомами, визначаючи активність речовини. Електрони, що покинули свою орбіту і переміщаються між атомами, називаються вільними. Нейтральний в електричному відношенні атом, втрачаючи або придбаваючи електрони, стає позитивно або негативно зарядженим іоном.
Під енергією іонізації розуміють енергію, яка потрібна для руйнування зв'язку між електроном і незбудженим атомом Wi=e Ui, де Ui - потенціал іонізації -- та різниця потенціалів, яку повинен пройти електрон в електричному полі, щоб придбати енергію, достатню для відриву валентного електрона і утворення позитивно зарядженого атома.
Плазмова електроніка
Ui 
He
|
|
А |
|
20 |
|
Ar |
|
|
|
||
15 |
|
Kr |
|
|
Xe |
||
10 |
C |
S |
|
B |
|||
|
|||
|
|
5 |
Li |
|
|
Ga |
|
In |
|
K |
|
Rb |
|
Cs |
|
||
|
|
|
|
|
|||
0 |
|
|
|
|
|
|
N |
1 |
10 |
19 |
28 |
37 |
46 |
55 |
Рис. Залежність потенціалу іонізації від порядкового номеру атома та схематичний процес утворення негативних та позитивних іонів
Ймовірність пружних і непружних зіткнень визначається через ефективні поперечні перерізи. Якщо умовно уявити собі частинки у вигляді дисків, то сумарна площа дисків, що відповідає кількості атомів (молекул і т. д.) в одиниці об'єму, і визначає повний ефективний поперечний переріз Q і [м2 / м3].
Повний ефективний поперечний переріз Qі пов'язаний з
ефективним поперечним перерізом атома q [м2] : |
|||
|
q |
|
d 2, |
Qі=qin, |
2 |
||
i |
|
|
|
де d - ефективний діаметр атома. Під ним розуміється умовний діаметр мішені (диска), в межах якого можлива взаємодія електрона з атомом.
Якщо додати ефективні діаметри атомів на одиницю об'єму,
отримаємо повний ефективний переріз для процесу іонізації :
Qi 
2 d 2n , Qi qin,
де n - концентрація атомів.
Часто значення Qi відносять до одиничного тиску (1 мм рт. ст.) і
температури 0 ºС, тому
Qi Qi0 p0
де Qi0 – ефективний перетин іонізації при одиничному тиску.
Також ефективний перетин визначається через довжину вільного пробігу електрона А при тепловому русі (середню відстань, яку проходить електрон між зіткненнями, або кількість зіткнень при
проходженні електроном 1 см): 1
Qi 4 2 A
Для визначення Qi використовують наступні |
апроксимацій для |
монохроматичного пучка електронів: |
|
1. Лінійна апроксимація, що відповідає невеликим перевищенням енергії електронів над пороговим значенням іонізації :
qi (U ) Сi (U Ui ) ,
де Сi - коефіцієнт пропорціональності, що характеризує нахил кривих перерізу іонізації у порогових значень; U - енергія іонізуючих електронів; Ui - потенціал
іонізації атома або молекули. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2. Апроксимація Лотца-Дрєвина : |
n Rd |
2 |
|
U |
|
|
|
|
|
U |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
||||||||||
q (U ) 2.66S |
0 |
|
|
1 |
ln 1.25 |
2 |
|
|
, |
||||||
|
|
|
|
||||||||||||
i |
|
U |
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
Ui |
|
|
|
|
Ui |
|
||||
де S0 = а02 = 0.88·10─20 м2 (а0 - радіус першої борівскої орбіти атома водню); Rd = 13.6 В - потенціал іонізації атома водню по Рідбергу; 1 і 2 – коефіцієнти налаштування; n - число еквівалентних електронів на зовнішній оболонці атома (електронів з однаковими головним і орбітальним квантовими числами), що іонізується.
У газовому розряді має місце деякий розподіл енергії (fe), що
найчастіше задається законом Максвелла : |
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
1 dN |
|
2 1 |
|
|
|
|
e |
eU |
|||||||
|
|
|
|
|
eU |
|
|
||||||||||
fe |
|
|
|
|
|
kT e. |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
N dU e |
|
kT e |
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
kT e |
|
||||||||||
Таким чином, для оцінки середньої швидкості іоноутворення в позитивному стовпі газового розряду потрібно користуватися поняттям перерізу іонізації, усередненим по функції розподілу електронів :
qi
qi (U ) fedU
Ui
Параметр |
|
|
|
Газ |
|
|
|
|
He |
|
Ne |
|
Ar |
||
|
|
|
|
|
|||
|
Ui, В |
|
24.6 |
|
21.6 |
|
15.8 |
С , м2/В |
|
1.3·10–22 |
|
1.58·10–22 |
20·10–22 |
||
|
i |
|
|
|
|
|
|
|
n |
|
2 |
|
6 |
|
6 |
|
Um, В |
|
120 |
|
170 |
|
100 |
q (U ), м2 |
|
0.34·10–20 |
0.85·10–20 |
3.4·10–20 |
|||
i |
m |
|
|
|
|
|
|
|
A |
|
4 |
|
20 |
|
40 |
|
Qi0, м–1·мм рт. ст.–1 |
|
|
|
qi, м2 |
||
|
4 |
|
|
|
|
10–19 |
|
|
2 |
|
|
|
|
6 |
|
|
1000 |
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
6 |
|
|
|
|
2 |
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
–20 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
6 |
|
|
100 |
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
6 |
|
|
|
|
2 |
|
|
4 |
|
|
|
|
10–21 |
|
|
2 |
|
|
Ar |
|
6 |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
10 |
|
|
Ne |
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
6 |
|
|
|
|
2 |
|
|
4 |
|
|
He |
|
10–22 |
|
|
2 |
|
|
|
6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
110 2 |
4 6 102 2 |
4 6 103 2 |
4 6 104 2 |
4 6 105 2 |
4 6 106 2 U, эВ |
|
За характером іонізованого стану плазми розрізняють:
-пробій газу;
-підтримка електричним полем нерівноважної плазми;
-підтримка рівноважної плазми.
Електричні поля, що приводять до іонізації газу поділяються
на:
-постійні (низькочастотні включно);
-високочастотні: f 105 – 108 Гц;
-надвисокочастотні : f 109 – 1011 Гц;
-оптичні (від ІЧ до УФ).
Електричні розряди в газі підрозділяють на несамостійні і самостійні.
До несамостійних відносяться розряди, для підтримки яких потрібно емісія електронів з катода або утворення заряджених часток в розрядному проміжку під дією зовнішніх чинників: нагрів катода, опромінення катода або газу.
При самостійних розрядах фізичні процеси газового розряду забезпечують вихід електронів з катоду без допомоги зовнішніх чинників.
При русі під дією електричного поля в газовому середовищі електрони призводять до іонізації газу. Мірою іонізації є ступінь іонізації , що визначається як
Ар ехр - В / (Е/р) ,
де А=1/ Ae0 і В= Uі / Ae0 В/м мм рт. ст. ; Е/р кВ м-1 мм рт. ст. ; Ae0 – середня довжина вільного пробігу електрона при тиску в 1 Па і Т=0оС.
Ae = Ae0 / р0.
Вторинні електрони, що утворилися під час іонізації також будуть іонізувати газ. Лавинне розмноження електронів та вплив їх на іонізацію газу відображається за допомогою коефіцієнта газового посилення k.
k= exp ( l),
де l - відстань між електродами.
