- •Глава 3. Элементы физики полупроводников
- •3.1. Классификация материалов твердотельной электроники
- •3.2. Элементы зонной теории твердого тела
- •3.3. Генерация и рекомбинация носителей заряда
- •3.4. Равновесная концентрация носителей заряда в полупроводнике
- •3.5. Собственный и примесный полупроводники
- •3.6. Время жизни неравновесных носителей заряда
- •3.7. Токи в полупроводниках
- •Диффузия носителей заряда
- •Уравнения токов
- •3.8. Эффекты сильных электрических полей
- •Междолинный переход носителей заряда
- •3.9. Оптические и фотоэлектрические свойства полупроводников
- •Люминесценция
- •3.10. Элементы физики поверхности полупроводника
- •3.10.1. Поверхностные уровни и поверхностная рекомбинация
- •Поверхностная рекомбинация
- •3.10.2. Концентрация носителей и область пространственного заряда на поверхности
- •Концентрация носителей и зонная модель поверхности полупроводника
- •Поверхностная проводимость, эффект поля в полупроводнике
- •3.11. Фундаментальные уравнения физики полупроводников
- •Контрольные вопросы
Глава 3. Элементы физики полупроводников
3.1. Классификация материалов твердотельной электроники
Материалы, используемые в твердотельной электронике можно подразделить на активные и пассивные. Активными (рисунок 3.1) называют материалы, характеризуемые определенными свойствами по отношению к электромагнитному полю и другим воздействиям и применяемые с учетом этих свойств. Практически различные материалы подвергаются воздействиям как отдельно электрических или магнитных полей, так и их совокупности.
По поведению в электрическом поле материалы подразделяют на проводниковые, полупроводниковые и диэлектрические [17].
Большинство активных материалов можно отнести к слабомагнитным или практически немагнитным. Однако и среди магнетиков следует различать проводящие, полупроводящие и практически непроводящие, что определяет частотный диапазон их применения.
Проводниками называют материалы, основным электрическим свойством которых является сильно выраженная электропроводность. Их применение в технике обусловлено в основном этим свойством, определяющим высокую удельную электрическую проводимость при нормальной температуре.
Рисунок 3.1 - Классификация материалов твердотельной электроники
Полупроводниками называют материалы, являющиеся по удельной проводимости промежуточными между проводниковыми и диэлектрическими материалами и отличительным свойством которых является сильная зависимость удельной проводимости от концентрации и вида примесей или различных дефектов, а также в большинстве случаев от внешних энергетических воздействий (температуры, излучений и т.п.).
Диэлектриками называют материалы, основным электрическим свойством которых является способность к поляризации и в которых возможно существование электростатического поля. Реальный (технический) диэлектрик тем более приближается к идеальному, чем меньше его удельная проводимость и чем слабее у него выражены замедленные механизмы поляризации, связанные с поглощением части электрической энергии и выделением теплоты.
При применении диэлектриков довольно четко определилась необходимость использования как пассивных, так и активных свойств этих материалов.
Пассивные свойства диэлектрических материалов используются, когда их применяют в качестве электроизоляционных материалов и диэлектриков конденсаторов обычных типов. Электроизоляционными материалами называют диэлектрики, которые не допускают утечки электрических зарядов, т.е. с их помощью отделяют электрические цепи друг от друга или токоведущие части устройств, приборов и аппаратов от проводящих, но не токоведущих частей (от корпуса, от земли). В этих случаях диэлектрическая проницаемость материала не играет особой роли, или она должна быть, возможно, меньшей, чтобы не вводить в схему паразитных ёмкостей. Если материал используется в качестве диэлектрика конденсатора определенной ёмкости и наименьших размеров, то при прочих равных условиях желательно, чтобы этот материал имел большую диэлектрическую проницаемость.
Активными (управляемыми) диэлектриками являются сегнетоэлектрики, пьезоэлектрики, пироэлектрики, электролюминофоры, материалы для излучателей и затворов в лазерной технике, электреты и т.д.
Условно к проводникам относят материалы с удельным электрическим сопротивлением ρ < 10–5 Ом·м, а к диэлектрикам – материалы, у которых ρ > 108 Ом·м. При этом надо заметить, что сопротивление хороших проводников может составлять всего 10–8 Ом·м, а у лучших диэлектриков превосходить 1016 Ом·м . Удельное сопротивление полупроводников в зависимости от строения и состава материалов, а также от условий их эксплуатации может изменяться в пределах 10–5 —108 Ом·м. Хорошими проводниками электрического тока являются металлы. Из 105 химических элементов лишь двадцать пять являются неметаллами, причем двенадцать элементов могут проявлять полупроводниковые свойства. Но кроме элементарных веществ существуют тысячи химических соединений, сплавов или композиций со свойствами проводников, полупроводников или диэлектриков. Четкую границу между значениями удельного сопротивления различных классов материалов провести достаточно сложно. Например, многие полупроводники при низких температурах ведут себя подобно диэлектрикам. В то же время диэлектрики при сильном нагревании могут проявлять свойства полупроводников. Качественное различие состоит в том, что для металлов проводящее состояние является основным, а для полупроводников и диэлектриков — возбужденным.
Совокупность научно-технических знаний о физико-химической природе, методах исследования и изготовления различных материалов составляет основу материаловедения, ведущая роль которого в настоящее время широко признана во многих областях науки и техники и особенно в микроэлектронике.
