- •Глава 4. Контакт металл-полупроводник
- •Термоэлектронная эмиссия, термодинамическая работа выхода
- •4.2. Система металл-вакуум-полупроводник, контактная разность потенциалов
- •4.3. Запорный (барьер Шоттки) и антизапорный контакты мп
- •4.4. Предельные случаи контакта мп
- •4.5. Распределение объемного заряда, концентрации подвижных носителей,
- •4.6. Барьер Шоттки в неравновесных условиях
- •4.6.1. Прямое смещение
- •4.6.2. Обратное смещение
- •4.7. Вольтамперная характеристика барьера Шоттки
- •4.7.1. Диффузионная теория выпрямления
- •Диодная теория выпрямления
- •4.7.3. Сравнение диффузной и диодной моделей
- •4.7.4. Температурная зависимость параметров вах запорного контакта
- •4.8. Реальный контакт металл – полупроводник
- •4.9. Емкость запорного контакта металл – полупроводник
- •4.10. Эквивалентная схема барьера Шоттки на переменном сигнале
- •4.11. Омический контакт
- •Реализация омических контактов
- •4.12. Применение барьера Шоттки в электронике
- •Контрольные вопросы
4.4. Предельные случаи контакта мп
Возможны два предельных случая контакта МП.
1. Инверсия типа проводимости в приконтактной области или образование физического p-n перехода.
Вырождение полупроводника в приконтактной области.
Первый случай реализуется при больших значениях контактной разности потенциалов либо при больших поверхностных плотностях зарядов, встраивающих поверхностное поле (рисунок 4.8, а).
а) б)
Рисунок 4.8 - Энергетические диаграммы физического p-n перехода (а)
и вырождения полупроводника (б)
Потенциал инверсии
соответствует
координате
.
В этой плоскости
n(
)=p(
)=
.
Для невырожденного полупроводника используется статистика Больцмана
;
;
;
;
.
Е сли разность термодинамических работ выхода для запорного контакта превысит , то образуется физический p-n переход. В этом случае возможна инжекция неосновных носителей заряда и накопление и рассасывание избыточного неравновесного заряда в нейтральной части полупроводника, что снижает скорость переходных процессов. Объемный заряд в случае инверсии типа проводимости содержит слой ln дырок и более широкий слой неподвижных ионов доноров Zn (рисунок 4.8, а).
Вырождение полупроводника происходит в антизапорном контакте при условиях, когда (рисунок 4.8, б)
.
4.5. Распределение объемного заряда, концентрации подвижных носителей,
поля и потенциала в барьере Шоттки
Для одномерного случая распределения поля и потенциала определяются уравнением Пуассона в виде:
,
(4.6)
где
– объемный заряд.
Для полупроводника n-типа при Ф0 < F – Ei
ND >> NA; n >> p.
.
Концентрация
электронов в области пространственного
заряда (ОПЗ):
Если Ф(x) > 3kT , то n(x) << ND .
В
первом приближении можно использовать
прямоугольную аппроксимацию распределения
объёмного заряда:
.
(4.7)
В
реальном случае в конце ОПЗ часть ионов
нейтрализуется электронами с
характеристической длиной lD
–
длина Дебая. Практически во всех случаях
Ф0
>
10kT,
а следовательно, толщина ОПЗ Z
>> lD
,
поэтому ошибка интегрирования
незначительна (рисунок
4.9).
Рисунок 4.9 - Структура (а) и распределение заряда (б), поля (в), концентрации для электронов (г), потенциальной энергии (д) и потенциала (е) в барьере Шоттки
После первого интегрирования
.
(4.8)
П
остоянную
интегрирования находим из граничных
условий. При x
> Z
поле не проникает в полупроводник
;
.
(4.9)
Поле в запорном контакте распределено линейно (рисунок 4.9, в)
.
Интегрируем (4.9) , получим:
;
;
(4.10)
.
(4.11)
Потенциал и потенциальная энергия электронов в ОПЗ распределена по параболическому закону (рисунок 4.9, д, е)
.
(4.12)
Толщина ОПЗ следует из (4.11)
.
(4.13)
Толщина ОПЗ увеличивается с ростом контактной разности потенциала и уменьшением уровня легирования полупроводника и находится в диапазоне:
z = [10–5…10–3] см.
