Пайдаланылған әдебиеттер.

1. А.И.Кузьмичев Магнетронные распылительные системы-Киев: Аверс,2008. -244 б.

2. Е.Берлин, С.Двинин, Л.Сейдман Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. –М.: Техносфера,2007.-33-67б.

3. Технология тонких пленок: Справочник. Т.1./ Под ред. Л.Майсел, Р.Гленг. – М.:Сов. радио,1977.-664 б.

4. Б.С.Данилин, В.Н.Сырчин Магнетронные распылительные системы . –М.: Радиосязь, 1982.-72 б.

5. Д.И.Тетельбаум, Ю.А.Менделеева Наноструктурирование кремния ионным пучками, 32-41б

6. Wikipedia интернет желісі.

7. Google интернет желісі.