Министерство образований и науки РФ
Санкт-Петербургский государственный
электротехнический университет «ЛЭТИ»
А. Ю. Грязнов Н. Н. Потрахов В.Б. БЕссонов
Рентгеновские трубки
Учебное пособие
Санкт-Петербург
Издательство СПбГЭТУ «ЛЭТИ»
2012
УДК 621.384.6
ББК Р364
Г 00
Г 00 |
Грязнов А. Ю., Потрахов Н. Н., Бессонов В.Б. Рентгеновские трубки: Учеб. пособие. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2012. 64 с. |
ISBN 5-7629-0879-8
Рассмотрены методы разработки современных рентгеновских аппаратов и основных источников излучения – рентгеновских трубок. Даны основные сведения об особенности конструкции, технических и эксплуатационных характеристиках современных рентгеновских трубок.
Предназначено для магистров направления «Электроника и наноэлектроника», при подготовке по магистерской программе 210153.68 «Электронные приборы и устройства», также может быть полезно инженерно-техническим работникам этой области знаний.
УДК 621.384.6
ББК Р364
Рецензенты: кафедра биотехнических систем Московского государственного института электронной техники; зам. директора ОАО ЦНИИ «Электрон», д.т.н., профессор Степанов Р.М.
Утверждено редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия
ISBN 5-7629-0879-8 © СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2012
Введение
Рентгеновское излучение – это электромагнитное излучение с длиной волны 10–4 … 10 А, лежащее на шкале длин волн в области более жесткой, чем занимаемая ультрафиолетовым излучением.
Рентгеновская аппаратура занимает одно из ведущих мест в ряду средств, применяемых для изучения строения вещества, неразрушающего контроля качества изделий, радиационной технологии, исследования быстропротекающих процессов и решения других научных и технических задач. Функциональные возможности и технический уровень рентгеновской аппаратуры в значительной мере определяются параметрами используемых в ней источников излучения - рентгеновских трубок.
Исторически первыми областями практического использования рентгеновского излучения явились медицинская диагностика и просвечивание материалов. Для получения теневых картин исследуемых объектов на начальном этапе развития рентгенотехники применялись ионные рентгеновские трубки. Работы Лилиенфельда и особенно Кулиджа (1912 - 1913 гг.) привели к созданию электронных трубок с термокатодом, получивших в дальнейшем исключительно большое развитие.
На данный момент благодаря успехам вакуумной техники и технологии рентгеновские трубки значительно усовершенствованы. Развитая номенклатура существующих рентгеновских трубок позволяет решить широчайший спектр практических задач различного рода: рентгеноструктурный и рентгеноспектральный анализ, рентгенография быстропротекающих процессов, исследование фазового и элементного состава в промышленных и научных целях, контроль качества изделий микроэлектроники и полупроводниковой техники, рентгеновская локация, рентгенолюминесцентная сепарация горных пород, рентгенолитография и многое другое.
В настоящем учебном пособии, содержащем материалы для проведения практических занятий по дисциплине «Источники рентгеновского излучения» в рамках подготовки магистров по направлению «Электроника и наноэлектроника» рассмотрены основные конструктивные особенности современных рентгеновских трубок, описаны их основные узлы, методы расчета и технология изготовления.