3.3 Технологический процесс

3.3.2.1 Надеть маску и перчатки трикотажные, капроновые или 1 на большой, средний и указательный пальцы левой и правой рук.

3.3.2 Провести входной контроль рабочих партий на трех пластинах из партии под сфокусированным источником света на наличие пятен, подтеков, царапин, инородных включений. Внешний вид поверхности пластин должен соответствовать требованиям дРО.754.820 КК «Контроль качества обработки поверхности пластин». При несоответствии требованиям одной из пластин, партию передать на повторную химическую обработку согласно дРО.032.037 ТК «Химическая обработка пластин, снятие диффузионного стекла».

3.3.3 Проверить наличие контрольных пластин и пластин-спутников в партии. При отсутствии контрольных пластин и пластин-спутников партию в работу не принимать и предъявить мастеру или распределителю работ.

3.3.4 Проверить сопроводительный лист и убедиться в том, что количество пластин в партии соответствует количеству, указанному в сопроводительном листе, предыдущая операция выполнена. Срок хранения пластин должен соответствовать дРО.045.500 ТИ «Межоперационное хранение пластин» или Я50.046.350 ТИ «Межоперационные сроки и условия хранения пластин и кристаллов».

При обнаружении несоответствий партию в работу не принимать, сообщить мастеру.

3.3.5 Загрузить кассету пластинами с помощью вакуумного пинцета, ориентируя пластины базовым срезом вниз. Свободные пазы кассет заполнить балластными пластинами (при необходимости).

Пластины в партии должны располагаться по порядку номеров. При загрузке в процесс двух и более партий начинать расстановку пластин в кассету с партии с наименьшим номером, партия с наименьшим номером должна располагаться первой к потоку газа. Контрольные пластины на толщину окисла должны стоять в начале, середине и конце кассеты. Спутники для замера поверхностного сопротивления и глубины p-n перехода перед рабочими пластинами партий.

3.3.6 Поставить кассету с пластинами с помощью захвата на консольный загрузчик.

3.3.7 Выполнить переходы 4.5 – 4.6 для других партий пластин.

3.3.8 Установить переключатель ДИСПЛЕЙ в положение для работы с выбранным каналом.

3.3.9 Проверить технологическую программу и при необходимости (по результатам предыдущих процессов) откорректировать время основного интервала:

- установить переключатель ДИСПЛЕЙ на панели шкафа управления в положение В, С, Н (на выбранный канал);

- нажать последовательно клавиши , , ;

- установить необходимый номер интервала и выполнить перевод маркера нажатием клавиши , после чего высвечивается описание интервала;

- установить при необходимости длительность интервала, величину задания параметра, значение допустимого отклонения от уровня задания, перемещая маркер с помощью клавиш , , , на нужную позицию.

Примечание – Набрав новое значение параметра, обязательно нажать клавишу для его записи в память;

- нажать клавиши , , - появится описание следующего по порядку интервала;

- после просмотра или корректировки параметров всех интервалов программы технологического процесса нажать клавишу - система перейдет в главный указатель работ.

3

4

2

.3.10 Установить дату и время нажатием клавиш , . .

3

8,

5

2

3

.3.11 Очистить диагностику, находясь в основном режиме, нажатием клавиш , , , , ; нажатием клавиши - проверить; нажатием клавиш , , на экране дисплея появятся параметры системы, которые необходимо контролировать в процессе отработки программы.

3

5

Х

.3.12 Запустить на исполнение соответствующую технологическую программу нажатием клавиш , , , , ,

г

О

Х

де Х- номер интервала согласно таблице на определённую операцию.

Примечание – Для сброса программы нажать клавишу вместо .

3.3.13 При использовании системы управления на базе компьютера проверить на дисплее компьютера наличие программы соответствующего технологического процесса.

Примечание – Проверку программы проводить только на «нулевом» реакторе.

3.3.14 Проверить соответствие технологической программы требованиям таблиц 1, 3, 7, 9, 10, 12 данной карты.

3.3.15 Открыть технологическую программу на рабочем столе управляющей программы на соответствующий реактор.

3.3.16 Запустить технологическую программу в автоматическом режиме, уровень доступа – оператор.

3.3.17 Контролировать во время процесса последовательность прохождения интервалов выбранной программы согласно таблиц 13-18 данной карты.

3.3.18 Выдержать кассеты с пластинами после окончания процесса на консольном загрузчике в течение 10-15 мин.

3.3.19 Перегрузить пинцетом контрольные пластины и спутники в отдельный контейнер для проведения измерений в соответствии с маршрутом изготовления изделий. Значения контролируемых параметров должны соответствовать требованиям, указанным в сопроводительных листах и таблицах 2, 4, 5, 6, 8, 11 данной карты. В случае несоответствия указанным требованиям сообщить технологу.

3.3.20 Перегрузить пластины из кассеты в контейнер с помощью вакуумного пинцета.

3.3.21 Проконтролировать первую и последнюю пластины партии (пятую и десятую или пятнадцатую и двадцатую) под сфокусированным источником света на наличие пятен, подтеков, царапин, инородных включений.

Внешний вид поверхности пластин должен соответствовать требованиям дРО.754.820 КК «Контроль качества обработки поверхности пластин». При несоответствии вышеуказанным требованиям одной из пластин, партию передать технологу.

3.3.22 Заполнить сопроводительный лист на партию, указав дату и время начала операции (заполняется до начала операции), время окончания операции, количество годных и забракованных пластин, номер камеры.

3.3.23 Заполнить операционный журнал, указав:

- дату, фамилию оператора, время начала процесса в графе «Дата, время»;

- номер партии в соответствующей графе;

- типономинал (наименование) изделия в графе «Тип изделия»;

- номер канала (реактора);

- длительность основных интервалов программы и расходы газов, использующиеся на данной операции, в графе «Технологический режим»;

- время окончания процесса в графе «Дата, время»;

- количество годных и забракованных пластин в соответствующих графах;

- результаты замера параметров в графе «Параметры».

При передаче процесса из смены в смену указать фамилию оператора, номер передаваемого временного интервала.

3.3.24 Ввести информацию по выполнению операции в автоматизированную систему оперативного управления кристальным производством (АСОУ КП).

3.3.25 Передать годные пластины на следующую операцию согласно сопроводительному листу. Несоответствующую продукцию передать технологу для анализа в соответствием с СТО И4.67 – 2013 «СМК. Порядок организации, учёта и анализа несоответствующей продукции в производстве».

Таблица 1 – Окисление 0,1,2,3; окисление 0,38 мкм (производство №3)

Но-мер интервала	Наименование интервала	Температура в реакторе, С	Время			Расход газов, л/ч
			мин	с		N2	O2 %	O2м	HCl	H2	N2H2	N2 HCl
0	Начало	85050	-	-		50050	-	-	-	-	7520	-
1	Старт	850	-	-		50050	-	-	-	-	7520	-
2	Загрузка 1	850	4	-		50050	-	-	-	-	7520	-
3	Загрузка 2	850	5	30		50050	-	-	-	-	7520	-
4	Загрузка 3	850	1	15		50050	-	-	-	-	7520	-
5	Загрузка 4	850	до полной остановки			50050	-	-	-	-	7520	-
6	Прогрев	850	10		-	50050	-	202	-	-	7520	-
7	Нагрев 1	850940	30			50050	-	202	-	-	7520	-
8	Нагрев 2	940950	10-20			50050	-	202	-	-	7520	-
9	Стабилизация	9502	10			50050	-	202	-	-	7520	-
9	Сухое окисление	9502	10		-	-	50050	-	101	-	7520	-
10	Пуск водорода	9502	-		30	-	50050	-	101		750	-
11	Поджиг	9502	-		50	-	50050	-	101	075	-	-
12	Горение	9502	1		30	-	50050	-	101	75750	-	-
13	Пирогенное окисление	9502	t1		-	-	50050	-	101	75075	-	-
14	Продувка	9502	3		-	50050	-	-	-	-	7520	75 20
15	Отжиг	9502	t2		-	50050	-	-	-	-	7520	-
16	Охлаждение	950 850	40	-		50050	-	-	-	-	7520	-
17	Стабилизация	850*	10	-		50050	-	-	-	-	7520	-
17	Выгрузка 1	850*	1	-		50050	-	-	-	-	7520	-
18	Выгрузка 2	850*	3	-		50050	-	-	-	-	7520	-
19	Выгрузка 3	850*	2	30		50050	-	-	-	-	7520	-
20	Выгрузка 4	850*	4	-		50050	-	-	-	-	7520	-
21	Выгрузка 5	850*	до полной остановки				50050	-	-	-	-	7520