- •Часть 2
- •Часть 1: Борисенко в.Е. Учеб. Пособие по курсу «Наноэлектроника» для студентов специальности «Микроэлектроника» в 3 ч. Ч. 1. Основы наноэлектроники. -
- •Традиционные методы осаждения пленок
- •Химическое осаждение из газовой фазы
- •Молекулярно-лучевая эпитаксия
- •Методы, использующие сканирующие зонды
- •Физические основы
- •Атомная инженерия.
- •Локальное окисление металлов и полупроводников
- •Локальное химическое осаждение из газовой фазы
- •Нанолитография
- •Электронно-лучевая литография
- •Профилирование резистов сканирующими зондами
- •Нанопечать
- •Сравнение нанолитографических методов
- •4. Саморегулирующиеся процессы
- •4.1. Самоупорядочение
- •4.2. Самосборка в объемных материалах
- •4.3. Самосборка при эпитаксии
- •4.4. Осаждение пленок Лэнгмюра-Блоджетт
- •5. Формирование наноструктурированных материалов
- •5.1. Пористый кремний
- •5.2. Пористый оксид алюминия и структуры на его основе
- •5.3. Углеродные нанотрубки
- •Часть 2
Часть 2
НАНОТЕХНОЛОГИЯ
Редактор Т.Н. Крюкова
Корректор Е.Н. Батурчик
Компьютерная верстка Т.В. Шестакова
Подписано в печать 05.03.2003. Формат 60х84 1/16. Бумага офсетная.
Гарнитура «Таймс». Печать ризографическая. Усл. печ. л. 4,65.
Уч.-изд. л. 4,4. Тираж 130 экз. Заказ 763.
Издатель и полиграфическое исполнение:
Учреждение образования
«Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники».
Лицензия ЛП № 156 от 30.12. 2002.
Лицензия ЛВ № 509 от 03.08. 2001.
220013, Минск, П. Бровки, 6.
1 in situ означает по месту , т.е. в данном случае там же, где изготовлен образец
21 гексаацетат р-метилкаликсарен (MC6AOAc)
32Представленная здесь модель, включая рис. 4.3 в 4.4, предложена в статье [2]