- •Цель занятия
- •Сведения из теории
- •Введение
- •Особенности дифракции электронов
- •2.2.1 Вывод условия Вульфа-Брэгга
- •2.3 Устройство электронографа
- •Типы электронограмм
- •2.4.2 Электронограммы от поликристаллов
- •2.4.3 Электроногаммы при наличии текстур
- •2.5 Определение фазового состава поликристаллических пленок по электронограмме
- •2.6 Определение периодов кристаллической решетки по электронограмме
- •3. Задание
- •Последовательность выполнения 1 задания
- •3.2 Последовательность выполнения 2 задания
- •4. Примерные контрольные вопросы
- •5. Литература
- •Приложение
3.2 Последовательность выполнения 2 задания
1. Получить у преподавателя электронограммы и значения постоянной прибора.
2. Определить состав исследуемой пленки по вышеописанной методике.
3. По типу электронограммы высказать предположение о характере микроструктуры каждой из исследуемых пленок (монокристаллическая, текстуированная, поликристаллическая). Данные занести в таблицу 2.
4. Сделать вывод о влиянии температуры подложки при напылении на микроструктуры образующейся пленки.
5. Объясните, почему температура подложки таким образом влияет на микроструктуру пленки.
Таблица 1
Номер электронограммы |
Номер кольца |
Радиус кольца |
J |
Межплос-костное рассто-яние |
Вывод о природе вещества |
h k l |
Период решетки а |
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица 2
Номер электронограммы |
Температура подложки |
Вещество |
Тип электронограммы |
Микруструктура пленки |
|
|
|
|
|
4. Примерные контрольные вопросы
1. В чем особенность дифракции электронов?
2. Что понимают под структурой пленки?
3. Что такое текстуированная пленка?
4. Какие можно провести исследования с помощью электронографии?
5. Выведите формулу связи периода решетки с величиной межплоскостного расстояния.
5. Литература
1. Бублик В.Т., Дубровина А.Н. Методы исследования структуры полупроводников и металлов. М., Металлургия. 1978
2. Практикум по полупроводникам и полупроводниковым приборам. Под ред. Шалимовой К.В. Высшая школа. 1967
Приложение
Таблица межплоскостных расстояний d и интенсивностей J
Индексы плоскостей hkl |
Межплос-костное Расстояние d*10-10 м |
Интенсив-ности J |
|
Индексы плоскостей hkl |
Межплос-костное Расстояние d*10-10 м |
Интенсив-ности J |
Никель |
|
Медь |
||||
111 |
2,034 |
1,00 |
|
111 |
2,08 |
1,00 |
200 |
1,762 |
0,5 |
|
200 |
1,798 |
0,86 |
220 |
1,246 |
0,4 |
|
220 |
1,271 |
0,71 |
311 |
1,062 |
0,6 |
|
311 |
1,083 |
0,86 |
222 |
1,017 |
0,1 |
|
222 |
1,038 |
0,56 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Индексы плоскостей hkl |
Межплос-костное Расстояние d*10-10 м |
Интенсив-ности J |
|
Индексы плоскостей hkl |
Межплос-костное Расстояние d*10-10 м |
Интенсив-ности J |
Алюминий |
|
Железо |
||||
111 |
2,33 |
1,00 |
|
110 |
2,01 |
1,00 |
200 |
2,02 |
0,4 |
|
200 |
1,428 |
0,15 |
220 |
1,43 |
0,3 |
|
211 |
1,166 |
0,38 |
311 |
1,219 |
0,3 |
|
220 |
1,01 |
0,1 |
222 |
1,168 |
0,007 |
|
310 |
0,904 |
0,08 |