- •А. Н. Мурашкевич, н. В. Богомазова, о. А. Алисиенок
- •Химическая технология квантовой и
- •Твердотельной электроники
- •Предисловие
- •Методические указания к выполнению курсовых проектов (работ)
- •1.1. Тематика курсовых проектов (работ)
- •1.2. Указания к выполнению технологической курсовой работы
- •1.2.1. Общие указания
- •1.2.2. Аналитический обзор литературы
- •1.2.3. Инженерные решения
- •1.2.4. Технологический раздел
- •1.2.4.1. Структура и содержание
- •1.2.4.2. Указания по проведению технологических расчетов
- •Сравнительная характеристика интегральной планарной и керамической технологий
- •Основной состав исходной шихты
- •Сводная таблица материального баланса процесса спекания заготовок позисторов (для одной лодочки с 672 заготовками)
- •Материальный баланс процесса напыления пленки Al (для единичной загрузки камеры напыления)
- •Материальный баланс процесса травления фсс
- •1.2.5. Контроль качества продукции и метрологическое обеспечение технологии
- •1.2.6. Мероприятия по охране окружающей среды
- •1.3. Курсовой проект по оборудованию и основам проектирования производств материалов и изделий электронной техники
- •1.3.1. Обоснование выбора типа аппарата
- •1.3.2. Технологический расчет аппарата
- •1.3.3. Конструирование электропечей сопротивления
- •1.3.4. Расчет электропечей сопротивления
- •Материальный баланс процесса обжига изделий
- •1.3.5. Конструирование нагревательных элементов
- •Сводный тепловой баланс обжига в электропечи сопротивления
- •Основные характеристики материалов, применяемых для изготовления нагревательных элементов [5]
- •Рекомендуемые и максимально допустимые температуры работы нагревателей в зависимости от условий эксплуатации [7]
- •Сплавы, рекомендуемые для работы в специальных атмосферах [7]
- •Максимальное отношение d / d для спиральных нагревателей
- •Максимальная высота зигзага проволочных нагревателей, мм
- •Максимальная высота зигзага ленточного нагревателя, мм
- •Удельное электрическое сопротивление металлов, (Оммм2)/м
- •1.3.6. Расчет нагревательных элементов
- •Коэффициент степени черноты некоторых материалов
- •Значения коэффициента эф для различных систем нагревателей
- •Значения коэффициента эф при нагреве материалов с различной степенью черноты поверхности [1]
- •Относительная мощность стен для нагревателей различного вида
- •Максимальные и оптимальные длины и поверхности ленточного нагревателя, размещаемые на 1 м2 поверхности футеровки
- •Максимальные и оптимальные длины и поверхности проволочного нагревателя, размещаемые на 1 м2 футеровки
- •Характеристики карборундовых нагревателей
- •Допустимая удельная поверхностная мощность на нагревателях
- •Допустимые мощности n, удельные поверхностные мощности и напряжения u различных типоразмеров нагревателей из дм
- •1 .3.7. Расчет вакуумной системы
- •Проводимости и распределение давления по длине низковакуумного участка системы
- •Результирующая таблица вакуумной системы
- •1.4. Графическая часть проекта
- •2 . Выполнение дипломных проектов (работ)
- •2.1. Тематика дипломных проектов (работ)
- •2.2 Структура дипломных проектов (работ)
- •Структура основной части дипломных проектов и работ
- •2.3 Указания по выполнению разделов пояснительной записки
- •2.3.1. Обоснование научной или производственной задачи
- •2.3.2. Технологический раздел
- •Материальный баланс установки химико-механического полирования кремниевых пластин
- •Материальный баланс стадии осаждения диоксида титана
- •2.4. Автоматизация производства
- •2.5. Контроль качества и метрологическое обеспечение производства
- •2.6. Мероприятия по охране окружающей среды
- •2.7 Мероприятия по охране труда и безопасности жизнедеятельности
- •2.8. Экономический раздел
- •Основные технико-экономические показатели модернизации производства постоянных магнитов
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства керамических конденсаторов к10–17
- •Спецификация технологических потоков на технологической схеме производства керамических конденсаторов к10–17
- •Спецификация потоков на аппаратурно-технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов
- •Спецификация потоков на технологической схеме производства ферритных изделий
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства ферферритных изделий
- •Спецификация потоков на технологической схеме производства транзистора 5888г7
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства транзистора 5888г7
- •Фундаментальные физико-химические константы
- •Термодинамические свойства некоторых веществ
- •Параметры удельного газовыделения конструкционных материалов
- •Коэффициенты, характеризующие процесс газопроницаемости материалов
- •Теплофизические свойства огнеупорных и теплоизоляционных материалов
- •Литература
- •Оглавление
- •Химическая технология квантовой и твердотельной электроники
- •220006. Минск, Свердлова, 13.
Спецификация потоков на технологической схеме производства ферритных изделий
Обозначение |
Наименование |
Кол-во |
Примечание |
1 |
Малые весы |
1 |
|
2 |
Большие весы |
1 |
|
3 |
Аттритор |
1 |
|
4 |
Барабанный фильтр |
1 |
|
5 |
Бак накопитель |
1 |
|
6 |
Гидравлический пресс |
1 |
|
7, 11 |
Стеллажи для сушки изделий |
1 |
|
8 |
Туннельная печь |
1 |
|
9 |
Плоскошлифовальная установка |
1 |
|
10 |
Ультразвуковая ванна |
1 |
|
12 |
Контрольно-измерительная установка |
1 |
|
13 |
Упаковочный стол |
|
|
Условное обозначение |
Наименование технологического потока |
||
Буквенное |
Графическое |
||
– |
–1–1– |
Порошок гексаферрита стронция |
|
– |
–2–2– |
Вода |
|
– |
–3–3– |
Порошок карбоната кальция |
|
– |
–4–4– |
Порошок борной кислоты |
|
– |
–5–5– |
Порошок высокодисперсного диоксида кремния |
|
– |
–6–6– |
Модифицирующая добавка BaAl25Fe95O19 |
|
– |
–7–7– |
Сточные воды |
|
– |
–8–8– |
Смесь добавок |
|
– |
–9–9– |
Порошок гексаферрита стронция после взвешивания |
|
– |
–10–10– |
Суспензия шихты |
|
– |
–11–11– |
Паста шихты |
|
– |
–12–12– |
Отпрессованные заготовки |
|
– |
–13–13– |
Заготовки после сушки |
|
– |
–14–14– |
Отбракованные по внешнему виду изделия |
|
– |
–15–15– |
Отходящие газы |
|
– |
–16–16– |
Шлифотходы |
|
– |
–17–17– |
Спеченные заготовки |
|
– |
–18–18– |
Отшлифованные изделия |
|
– |
–19–19– |
Промытые изделия |
|
– |
–20–20– |
Высушенные изделия |
|
– |
–21–21– |
Бракованные изделия |
|
– |
–22–22– |
Годные изделия |
|
– |
–23–23– |
Воздух |
|
Спецификация оборудования на технологической схеме производства ферферритных изделий
Рис. 5.Технологическая схема производства транзистора 5888Г7
Спецификация потоков на технологической схеме производства транзистора 5888г7
Обозначение |
Наименование |
Кол-во |
Примечание |
1, 19, 20 |
Печь диффузионная |
3 |
|
2, 7, 15, 16, 21 |
Ванна химическая |
5 |
|
3, 8, 17, 22 |
Ванна промывки |
4 |
|
4, 9, 18, 23 |
Центрифуга сушильная |
4 |
|
5 |
Установка газофазного осаждения |
1 |
|
6, 13 |
Микроскоп |
2 |
|
12, 24 |
Установка плазмохимического травления |
2 |
|
10 |
Установка нанесения фоторезиста |
1 |
|
11 |
Установка проявления фоторезиста |
1 |
|
25–36 |
Баллон |
12 |
|
14 |
Установка ионно-лучевого легирования |
1 |
|
