Спецификация потоков на аппаратурно-технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов

Условное обозначение

Графическое

Наименование технологического потока

–1–1–

Хромовая смесь

–2–2–

Деионизованная вода

–3–3–

2% раствор NаOH

–4–4–

2% раствор лимонной кислоты

–5–5–

Изопропиловый спирт

–6–6–

Аргон

–7–7–

Перекисно-аммиачный раствор (ПАР)

–8–8–

Фоторезистивная композиция

–9–9–

0,6% раствор NаOH

–10–10–

20 % раствор HСl

–11–11–

10% раствор NаOH

–12–12–

Ориентирующее покрытие

–13–13–

Герметик

–14–14–

Спейсеры

–15–15–

ЖК материал

–16–16–

УФ-чувствительный клей

–17–17–

Смесь моноэтаноламина с 20% раствором NаOH

–18–18–

Слив воды

Обозначение

Наименование

Количество

1

Установка для скрайбирования

2

9

Усройство магнетронного распыления

1

2-7,11-14,19,20,22-25,28-31,45,46

Ванна

22

8

Установка сушки в парах ИПС

1

10,27,40,48,54

Микроскоп

5

15,26,32

Центрифуна для сушки

3

16,33

Центрифуга

2

17,21,34,38,47

Сушильный шкаф

5

18

Установка совмещения и экспонирования

1

35

Устройство для натирания

1

36

Устройство для нанесения краевого герметика

1

37

Установка для нанесения стекловолокна

1

41

Установка для вакуумного заполнения ЖК

1

42

Установка для герметизации

1

43

Установка для УФ сушки

1

44

Установка для снятия фасок

1

49,52,55

Прибор контроля электрических параметров

3

50

Установка приклейки поляроидной пленки

1

51

Установка для приклейки выводов

1

53

Установка для маркировки

1

56

Стол для упаковки

1

Условное обозначение

графическое

Наименование технологического потока

–1–1–

Деионизированная вода

–2–2–

Моющее средство «Primalux»

–3–3–

Эпоксидная смола

–4–4–

Суспензия для резки слитков

–5–5–

Раствор NaOH 20%

–6–6–

Абразивная суспензия на основе Al₂O₃

–7–7–

Восковая мастика Waffix

–8–8–

Суспензия для полировки

–9–9–

Раствор для травления КАРО

–10–10–

Раствор HF

–11–11–

Перекисно-соляный раствор

–12–12–

Перекисно-аммиачный раствор

–13–13–

Суспензия для полировки Nalko 2360

–14–14–

Отработанная деионизированная вода

–15–15–

Отработанный раствор травителей

–16–16–

Отработанный раствор КАРО

–17–17–

Отработанный раствор HF

–18–18–

Отработанный перекисно-соляный раствор

–19–19–

Отработанный перекисно-аммиачный раствор

–20–20–

Отработанная суспензия для резки

–21–21–

Отработанная шлифовальная суспензия

–22–22–

Отработанная полировальная суспензия

–23–23–

Отработанная суспензия Nalko 2360

–24–24–

Полирующая смесь HNO₃:HF:CH₃COOH

–25–25–

Деионизированная вода

–26–26–

Моющее средство Пемолюкс

–27–27–

Эпоксидная смола

Обозначение

Наименование

Кол-во

Примечание

1

Установка контроля входных параметров слитка

1

2, 4, 10, 25

Установка контроля геометрических параметров слитка

4

3

Установка шлифования связанным абразивом

1

5

Установка ориентации базового среза

1

6

Установка нанесения базового среза

1

7, 15, 21, 30, 41, 43, 45, 47

Ванна химической обработки

8

8, 16, 18, 22, 31, 40, 42, 44, 46, 48

Ванна промывки

10

9, 19

Сушильная установка

2

11

Установка для приклеивания слитка

1

12

Станок струнной резки

1

E500E-8

13

Ванна отпаривания

1

15, 17, 39

Устройство загрузки в кассеты

3

20

Установка снятия фаски

1

МЕР-800/4600 RHO

23, 32, 49

Установка сушки центрифугированием

3

24, 33, 51

Установка контроля внешнего вида

3

26, 34, 52

Установка сортировки по размерным группам

3

27

Установка лазерной маркировки

1

ЭМ-237 П2

28

Позиция формирования партии пластин

1

21

Установка двухсторонней шлифовки

1

DSM20B-5L-11

29

Установка контроля нарушенного слоя

1

35

Установка нанесения воска

1

POLOS

36, 37

Установка односторонней полировки

2

SpeedFam

29

Установка отмывки приклеиваемых блоков

1

СК 725.00.00

50, 53

Система гидроструйной очистки

2

DSS-200 series II

54

Установка контроля выборки пластин

1

55

Установка упаковки пластин

1