- •А. Н. Мурашкевич, н. В. Богомазова, о. А. Алисиенок
- •Химическая технология квантовой и
- •Твердотельной электроники
- •Предисловие
- •Методические указания к выполнению курсовых проектов (работ)
- •1.1. Тематика курсовых проектов (работ)
- •1.2. Указания к выполнению технологической курсовой работы
- •1.2.1. Общие указания
- •1.2.2. Аналитический обзор литературы
- •1.2.3. Инженерные решения
- •1.2.4. Технологический раздел
- •1.2.4.1. Структура и содержание
- •1.2.4.2. Указания по проведению технологических расчетов
- •Сравнительная характеристика интегральной планарной и керамической технологий
- •Основной состав исходной шихты
- •Сводная таблица материального баланса процесса спекания заготовок позисторов (для одной лодочки с 672 заготовками)
- •Материальный баланс процесса напыления пленки Al (для единичной загрузки камеры напыления)
- •Материальный баланс процесса травления фсс
- •1.2.5. Контроль качества продукции и метрологическое обеспечение технологии
- •1.2.6. Мероприятия по охране окружающей среды
- •1.3. Курсовой проект по оборудованию и основам проектирования производств материалов и изделий электронной техники
- •1.3.1. Обоснование выбора типа аппарата
- •1.3.2. Технологический расчет аппарата
- •1.3.3. Конструирование электропечей сопротивления
- •1.3.4. Расчет электропечей сопротивления
- •Материальный баланс процесса обжига изделий
- •1.3.5. Конструирование нагревательных элементов
- •Сводный тепловой баланс обжига в электропечи сопротивления
- •Основные характеристики материалов, применяемых для изготовления нагревательных элементов [5]
- •Рекомендуемые и максимально допустимые температуры работы нагревателей в зависимости от условий эксплуатации [7]
- •Сплавы, рекомендуемые для работы в специальных атмосферах [7]
- •Максимальное отношение d / d для спиральных нагревателей
- •Максимальная высота зигзага проволочных нагревателей, мм
- •Максимальная высота зигзага ленточного нагревателя, мм
- •Удельное электрическое сопротивление металлов, (Оммм2)/м
- •1.3.6. Расчет нагревательных элементов
- •Коэффициент степени черноты некоторых материалов
- •Значения коэффициента эф для различных систем нагревателей
- •Значения коэффициента эф при нагреве материалов с различной степенью черноты поверхности [1]
- •Относительная мощность стен для нагревателей различного вида
- •Максимальные и оптимальные длины и поверхности ленточного нагревателя, размещаемые на 1 м2 поверхности футеровки
- •Максимальные и оптимальные длины и поверхности проволочного нагревателя, размещаемые на 1 м2 футеровки
- •Характеристики карборундовых нагревателей
- •Допустимая удельная поверхностная мощность на нагревателях
- •Допустимые мощности n, удельные поверхностные мощности и напряжения u различных типоразмеров нагревателей из дм
- •1 .3.7. Расчет вакуумной системы
- •Проводимости и распределение давления по длине низковакуумного участка системы
- •Результирующая таблица вакуумной системы
- •1.4. Графическая часть проекта
- •2 . Выполнение дипломных проектов (работ)
- •2.1. Тематика дипломных проектов (работ)
- •2.2 Структура дипломных проектов (работ)
- •Структура основной части дипломных проектов и работ
- •2.3 Указания по выполнению разделов пояснительной записки
- •2.3.1. Обоснование научной или производственной задачи
- •2.3.2. Технологический раздел
- •Материальный баланс установки химико-механического полирования кремниевых пластин
- •Материальный баланс стадии осаждения диоксида титана
- •2.4. Автоматизация производства
- •2.5. Контроль качества и метрологическое обеспечение производства
- •2.6. Мероприятия по охране окружающей среды
- •2.7 Мероприятия по охране труда и безопасности жизнедеятельности
- •2.8. Экономический раздел
- •Основные технико-экономические показатели модернизации производства постоянных магнитов
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства керамических конденсаторов к10–17
- •Спецификация технологических потоков на технологической схеме производства керамических конденсаторов к10–17
- •Спецификация потоков на аппаратурно-технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов
- •Спецификация потоков на технологической схеме производства ферритных изделий
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства ферферритных изделий
- •Спецификация потоков на технологической схеме производства транзистора 5888г7
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства транзистора 5888г7
- •Фундаментальные физико-химические константы
- •Термодинамические свойства некоторых веществ
- •Параметры удельного газовыделения конструкционных материалов
- •Коэффициенты, характеризующие процесс газопроницаемости материалов
- •Теплофизические свойства огнеупорных и теплоизоляционных материалов
- •Литература
- •Оглавление
- •Химическая технология квантовой и твердотельной электроники
- •220006. Минск, Свердлова, 13.
2.1. Тематика дипломных проектов (работ)
Тематика дипломных проектов обычно коррелирует с тематикой курсовых работ, что позволяет студенту более глубоко изучить физико-химические основы и технологические особенности соответствующих процессов. Вместе с тем, при изменении перечня базовых предприятий и организаций в период преддипломной практики либо при возникновении новых производственных задач технологического профиля тематика дипломных проектов может существенно изменится.
Тематика дипломных работ связана обычно с научными направлениями, развиваемыми на выпускающей кафедре либо в других научных структурах Республики Беларусь. В ряде случаев тематика студенческой научно-исследовательской работы на предыдущих курсах совпадает с тематикой дипломной работы, что благоприятствует продолжению обучения в магистратуре и аспирантуре.
2.2 Структура дипломных проектов (работ)
Структура и содержание пояснительной записки (табл. 27) и графического материала для трех указанных вариантов дипломов отличается. Из 8 обязательных листов графического материала 3 листа аналогичны для всех проектов (аппаратурно-технологическая схема, схема автоматизации, таблица технико-экономических показателей). Остальные листы графического материала должны содержать информацию и чертежи, непосредственно связанные с принятыми инженерными решениями и проведенными инженерно-технологическими расчетами.
В случае выполнения дипломного проекта инженерные решения могут быть приняты на основании литературно-патентного поиска и должны быть обоснованы инженерно-технологическими расчетами. Графический материал, кроме указанных трех листов, включает чертежи основного и вспомогательного оборудования. Возможно дополнение графического материала иллюстрациями, отражающими важные характеристики получаемых изделий или материалов, или научно-техническое обоснование принятых инженерных решений, или этапы формирования структуры изделия (эволюция структуры для полупроводниковых приборов и схем), или физико-химические процессы, составляющие основы разработанной технологии или другие сведения по дипломному проекту. Следует иметь в виду, что количество чертежей оборудования при любых вариантах дополнительных иллюстраций должно составлять не менее 3–4 листов формата А1.
При выполнении дипломного проекта с исследовательской частью, кроме литературных сведений, приводят результаты экспериментов, которые подтверждают целесообразность предлагаемых инженерных решений. Графическая часть содержит результаты проведенных экспериментов, а также 1–3 листа чертежей оборудования
Таблица 27
Структура основной части дипломных проектов и работ
Дипломный проект |
Дипломный проект с исследовательской частью |
Дипломная работа |
1 |
2 |
3 |
1. Обоснование необходимости модернизации базовой технологии или реконструкции базового производства |
1. Обоснование необходимости модернизации базовой технологии или реконструкции базового производства |
1. Обоснование целей и содержания научных исследований |
2. Литературный обзор (анализ литературных и патентных сведений по поставленной научной задаче) |
||
2. Технологический раздел (литературно-патентная проработка, инженерные решения, описание технологической схемы, инженерно-технологические расчеты, выбор и расчет основного и вспомогательного оборудования) |
2. Технологический раздел (литературно-патентная проработка, исследовательская часть, инженерные решения, описание технологической схемы инженерно-технологические расчеты, выбор и расчет основного оборудования) |
|
3. Методика исследований (отдельные подразделы для каждого метода исследований) |
||
4. Экспериментальный раздел (отдельные подразделы для каждой группы экспериментов, статистическая обработка экспериментальных данных) |
||
3. Автоматизация производства |
3. Автоматизация производства
|
5. Технологический раздел (инженерные решения, описание технологической схемы, инженерно-технологические расчеты, подбор основного оборудования) |
4. Контроль качества и метрологическое обеспечение производства |
4. Контроль качества и метрологическое обеспечение производства |
|
5. Мероприятия по охране окружающей среды |
5. Мероприятия по охране окружающей среды |
6. Мероприятия по охране окружающей среды |
6. Мероприятия по охране труда и безопасности жизнедеятельности |
6. Мероприятия по охране труда и безопасности жизнедеятельности |
7. Мероприятия по охране труда и безопасности жизнедеятельности |
7. Экономический раздел |
7. Экономический раздел |
8. Экономический раздел |
При выполнении дипломной работы в отдельных разделах представляются данные литературного анализа, методика все проведенных экспериментов, их результаты и интерпретация. На основании изложенных результатов принимаются инженерные решения по разработке технологического маршрута изготовления материала или изделия, наиболее перспективного по результатам реализованных экспериментов. Графический материал обычно включает 9–12 листов и представляет таблицы, графики, диаграммы, интерпретационные модели экспериментальных данных. Возможно дополнение графического материала 1–2 листами чертежей оборудования.
