
- •А. Н. Мурашкевич, н. В. Богомазова, о. А. Алисиенок
- •Химическая технология квантовой и
- •Твердотельной электроники
- •Предисловие
- •Методические указания к выполнению курсовых проектов (работ)
- •1.1. Тематика курсовых проектов (работ)
- •1.2. Указания к выполнению технологической курсовой работы
- •1.2.1. Общие указания
- •1.2.2. Аналитический обзор литературы
- •1.2.3. Инженерные решения
- •1.2.4. Технологический раздел
- •1.2.4.1. Структура и содержание
- •1.2.4.2. Указания по проведению технологических расчетов
- •Сравнительная характеристика интегральной планарной и керамической технологий
- •Основной состав исходной шихты
- •Сводная таблица материального баланса процесса спекания заготовок позисторов (для одной лодочки с 672 заготовками)
- •Материальный баланс процесса напыления пленки Al (для единичной загрузки камеры напыления)
- •Материальный баланс процесса травления фсс
- •1.2.5. Контроль качества продукции и метрологическое обеспечение технологии
- •1.2.6. Мероприятия по охране окружающей среды
- •1.3. Курсовой проект по оборудованию и основам проектирования производств материалов и изделий электронной техники
- •1.3.1. Обоснование выбора типа аппарата
- •1.3.2. Технологический расчет аппарата
- •1.3.3. Конструирование электропечей сопротивления
- •1.3.4. Расчет электропечей сопротивления
- •Материальный баланс процесса обжига изделий
- •1.3.5. Конструирование нагревательных элементов
- •Сводный тепловой баланс обжига в электропечи сопротивления
- •Основные характеристики материалов, применяемых для изготовления нагревательных элементов [5]
- •Рекомендуемые и максимально допустимые температуры работы нагревателей в зависимости от условий эксплуатации [7]
- •Сплавы, рекомендуемые для работы в специальных атмосферах [7]
- •Максимальное отношение d / d для спиральных нагревателей
- •Максимальная высота зигзага проволочных нагревателей, мм
- •Максимальная высота зигзага ленточного нагревателя, мм
- •Удельное электрическое сопротивление металлов, (Оммм2)/м
- •1.3.6. Расчет нагревательных элементов
- •Коэффициент степени черноты некоторых материалов
- •Значения коэффициента эф для различных систем нагревателей
- •Значения коэффициента эф при нагреве материалов с различной степенью черноты поверхности [1]
- •Относительная мощность стен для нагревателей различного вида
- •Максимальные и оптимальные длины и поверхности ленточного нагревателя, размещаемые на 1 м2 поверхности футеровки
- •Максимальные и оптимальные длины и поверхности проволочного нагревателя, размещаемые на 1 м2 футеровки
- •Характеристики карборундовых нагревателей
- •Допустимая удельная поверхностная мощность на нагревателях
- •Допустимые мощности n, удельные поверхностные мощности и напряжения u различных типоразмеров нагревателей из дм
- •1 .3.7. Расчет вакуумной системы
- •Проводимости и распределение давления по длине низковакуумного участка системы
- •Результирующая таблица вакуумной системы
- •1.4. Графическая часть проекта
- •2 . Выполнение дипломных проектов (работ)
- •2.1. Тематика дипломных проектов (работ)
- •2.2 Структура дипломных проектов (работ)
- •Структура основной части дипломных проектов и работ
- •2.3 Указания по выполнению разделов пояснительной записки
- •2.3.1. Обоснование научной или производственной задачи
- •2.3.2. Технологический раздел
- •Материальный баланс установки химико-механического полирования кремниевых пластин
- •Материальный баланс стадии осаждения диоксида титана
- •2.4. Автоматизация производства
- •2.5. Контроль качества и метрологическое обеспечение производства
- •2.6. Мероприятия по охране окружающей среды
- •2.7 Мероприятия по охране труда и безопасности жизнедеятельности
- •2.8. Экономический раздел
- •Основные технико-экономические показатели модернизации производства постоянных магнитов
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства керамических конденсаторов к10–17
- •Спецификация технологических потоков на технологической схеме производства керамических конденсаторов к10–17
- •Спецификация потоков на аппаратурно-технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов
- •Спецификация потоков на технологической схеме производства ферритных изделий
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства ферферритных изделий
- •Спецификация потоков на технологической схеме производства транзистора 5888г7
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства транзистора 5888г7
- •Фундаментальные физико-химические константы
- •Термодинамические свойства некоторых веществ
- •Параметры удельного газовыделения конструкционных материалов
- •Коэффициенты, характеризующие процесс газопроницаемости материалов
- •Теплофизические свойства огнеупорных и теплоизоляционных материалов
- •Литература
- •Оглавление
- •Химическая технология квантовой и твердотельной электроники
- •220006. Минск, Свердлова, 13.
Удельное электрическое сопротивление металлов, (Оммм2)/м
Металл |
Температура, К |
|||||||
293 |
600 |
1000 |
1400 |
1800 |
2200 |
2600 |
3000 |
|
Вольфрам |
0,055 |
0,13 |
0,23 |
0,37 |
0,50 |
0,62 |
0,77 |
0,90 |
Молибден |
0,050 |
0,13 |
0,23 |
0,32 |
0,39 |
0,47 |
0,53 |
0,58 |
Тантал |
0,15 |
0,29 |
0,43 |
0,55 |
0,68 |
0,82 |
0,93 |
– |
Ниобий |
0,15 |
0,29 |
0,42 |
0,53 |
0,64 |
0,75 |
0,85 |
– |
1.3.6. Расчет нагревательных элементов
Исходными данными для расчета нагревателей электропечей сопротивления являются:
– мощность печи N, кВт;
– геометрические размеры печи;
– напряжение питающей сети U, В;
– начальная tмнач и конечная tмкон температуры нагрева материала.
Целью расчета нагревателей является определение геометрических размеров, схемы включения («звезда» или «треугольник») и расположения нагревателей в печи, обеспечивающих при выбранном материале нагревателей оптимальные условия их службы.
Расчет нагревателей производят в следующем порядке:
1. Находят рабочую температуру нагревателей по формуле:
tн = tмкон + (50 – 200)°C. |
(76) |
2. Выбирают материал нагревателей, используя табл. 7, а также данные [7], и определяют величину удельного электросопротивления ρ, Омм, при tн.
Мощность, выделяемая с единицы поверхности нагревателя, определяет его температуру, а, следовательно, работоспособность данного нагревателя в выбранных проектом условиях. Поэтому удельная поверхностная мощность является важнейшей расчетной величиной при проектировании нагревательных элементов.
3. Находят удельную поверхностную мощность идеального нагревателя ид, кВт/м2:
ид
=
|
(77) |
где Со = 5,76; εн, εм соответственно степень черноты нагревателя и изделия (табл. 15); Тн, Тм термодинамическая температура соответственно нагревателя и изделия, К.
Для определения ид можно использовать графики на рис. 68 [1].
4. Выбирают тип нагревателя. Реальный нагреватель, в отличие от идеального, излучает на изделие не всей своей поверхностью: часть лучей попадает на соседние нагреватели и футеровку. Можно принять, что реальный нагреватель излучает на изделие теплоту только некоторой условной эффективной поверхностью. Тогда допустимая поверхностная мощность реального нагревателя будет отличаться от поверхностной мощности идеального нагревателя:
= идэфгср, |
(78) |
где эф – коэффициент эффективности излучения данной системы нагревателя; г – коэффициент шага; с – коэффициент, учитывающий зависимость от приведенного коэффициента излучения спр; р – коэффициент, учитывающий влияние размеров садки.
Таблица 16