
- •А. Н. Мурашкевич, н. В. Богомазова, о. А. Алисиенок
- •Химическая технология квантовой и
- •Твердотельной электроники
- •Предисловие
- •Методические указания к выполнению курсовых проектов (работ)
- •1.1. Тематика курсовых проектов (работ)
- •1.2. Указания к выполнению технологической курсовой работы
- •1.2.1. Общие указания
- •1.2.2. Аналитический обзор литературы
- •1.2.3. Инженерные решения
- •1.2.4. Технологический раздел
- •1.2.4.1. Структура и содержание
- •1.2.4.2. Указания по проведению технологических расчетов
- •Сравнительная характеристика интегральной планарной и керамической технологий
- •Основной состав исходной шихты
- •Сводная таблица материального баланса процесса спекания заготовок позисторов (для одной лодочки с 672 заготовками)
- •Материальный баланс процесса напыления пленки Al (для единичной загрузки камеры напыления)
- •Материальный баланс процесса травления фсс
- •1.2.5. Контроль качества продукции и метрологическое обеспечение технологии
- •1.2.6. Мероприятия по охране окружающей среды
- •1.3. Курсовой проект по оборудованию и основам проектирования производств материалов и изделий электронной техники
- •1.3.1. Обоснование выбора типа аппарата
- •1.3.2. Технологический расчет аппарата
- •1.3.3. Конструирование электропечей сопротивления
- •1.3.4. Расчет электропечей сопротивления
- •Материальный баланс процесса обжига изделий
- •1.3.5. Конструирование нагревательных элементов
- •Сводный тепловой баланс обжига в электропечи сопротивления
- •Основные характеристики материалов, применяемых для изготовления нагревательных элементов [5]
- •Рекомендуемые и максимально допустимые температуры работы нагревателей в зависимости от условий эксплуатации [7]
- •Сплавы, рекомендуемые для работы в специальных атмосферах [7]
- •Максимальное отношение d / d для спиральных нагревателей
- •Максимальная высота зигзага проволочных нагревателей, мм
- •Максимальная высота зигзага ленточного нагревателя, мм
- •Удельное электрическое сопротивление металлов, (Оммм2)/м
- •1.3.6. Расчет нагревательных элементов
- •Коэффициент степени черноты некоторых материалов
- •Значения коэффициента эф для различных систем нагревателей
- •Значения коэффициента эф при нагреве материалов с различной степенью черноты поверхности [1]
- •Относительная мощность стен для нагревателей различного вида
- •Максимальные и оптимальные длины и поверхности ленточного нагревателя, размещаемые на 1 м2 поверхности футеровки
- •Максимальные и оптимальные длины и поверхности проволочного нагревателя, размещаемые на 1 м2 футеровки
- •Характеристики карборундовых нагревателей
- •Допустимая удельная поверхностная мощность на нагревателях
- •Допустимые мощности n, удельные поверхностные мощности и напряжения u различных типоразмеров нагревателей из дм
- •1 .3.7. Расчет вакуумной системы
- •Проводимости и распределение давления по длине низковакуумного участка системы
- •Результирующая таблица вакуумной системы
- •1.4. Графическая часть проекта
- •2 . Выполнение дипломных проектов (работ)
- •2.1. Тематика дипломных проектов (работ)
- •2.2 Структура дипломных проектов (работ)
- •Структура основной части дипломных проектов и работ
- •2.3 Указания по выполнению разделов пояснительной записки
- •2.3.1. Обоснование научной или производственной задачи
- •2.3.2. Технологический раздел
- •Материальный баланс установки химико-механического полирования кремниевых пластин
- •Материальный баланс стадии осаждения диоксида титана
- •2.4. Автоматизация производства
- •2.5. Контроль качества и метрологическое обеспечение производства
- •2.6. Мероприятия по охране окружающей среды
- •2.7 Мероприятия по охране труда и безопасности жизнедеятельности
- •2.8. Экономический раздел
- •Основные технико-экономические показатели модернизации производства постоянных магнитов
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства керамических конденсаторов к10–17
- •Спецификация технологических потоков на технологической схеме производства керамических конденсаторов к10–17
- •Спецификация потоков на аппаратурно-технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов
- •Спецификация потоков на технологической схеме производства ферритных изделий
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства ферферритных изделий
- •Спецификация потоков на технологической схеме производства транзистора 5888г7
- •Спецификация оборудования на технологической схеме производства транзистора 5888г7
- •Фундаментальные физико-химические константы
- •Термодинамические свойства некоторых веществ
- •Параметры удельного газовыделения конструкционных материалов
- •Коэффициенты, характеризующие процесс газопроницаемости материалов
- •Теплофизические свойства огнеупорных и теплоизоляционных материалов
- •Литература
- •Оглавление
- •Химическая технология квантовой и твердотельной электроники
- •220006. Минск, Свердлова, 13.
Учреждение образования
«БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ»
А. Н. Мурашкевич, н. В. Богомазова, о. А. Алисиенок
Химическая технология квантовой и
Твердотельной электроники
Учебно-методическое пособие по курсовому и дипломному проектированию для студентов специальности 1-48 01 01 «Химическая технология неорганических веществ, материалов и изделий» специализации 1-48 01 01 13 «Химическая технология квантовой и твердотельной электроники»
Минск 2014
У
ДК
541.1:621.382(075.8)
ББК 24.5:32.852я7
М 91
Рассмотрено и рекомендовано к изданию редакционно-издательским советом университета
Рецензенты
кандидат технических наук, зав. кафедрой химической технологии вяжущих материалов Белорусского
государственного технологического университета А. А. Мечай
кандидат технических наук, доцент Белорусского национального
технического университета
Колонтаева Т. В.
Мурашкевич, А. Н.
М 91 Учебно-методическое пособие по курсовому и дипломному проектированию для студентов специальности 1–48 01 01 «Химическая технология неорганических веществ, материалов и изделий» специализации 1–48 01 01 13 «Химическая технология квантовой и твердотельной электроники» / А. Н. Мурашкевич, Н. В. Богомазова, О. А. Алисиенок.– Минск: БГТУ. 2014. – 119с
В учебно-методическом пособии изложены рекомендации по выполнению курсовых и дипломных проектов (работ) специализации. Учитывая специфику и разноплановость технологий, приведены примеры материальных балансов основных типовых процессов, последовательность расчета наиболее важных типов оборудования: электрических печей сопротивления и вакуумных систем. В приложении приведены примеры основных технологических схем производства изделий электронной техники и необходимые для расчетов справочные данные.
УДК 541.1:621.382(075.8)
ББК 24.5:32.852я7
© УО «Белорусский государственный
технологический университет», 2014
© Мурашкевич А. Н., Богомазова Н.В.,
Алисиенок О. А., 2014
Предисловие
Выполнение курсовых и дипломных проектов (работ) по специализации 1–48 01 01 13 «Химическая технология квантовой и твердотельной электроники» на заключительном этапе обучения призвано, с одной стороны, закрепить навыки применения полученных теоретических знаний для решения поставленных инженерно-технологических задач, а с другой – выявить способности будущих инженеров-химиков-технологов самостоятельно разрабатывать технологические маршруты с учетом новейших достижений и уровня развития соответствующих технологий на базовых предприятиях Республики Беларусь, а также материально-технических возможностей потенциальных источников финансирования мероприятий по модернизации производства.
Тематика курсовых и дипломных проектов (работ), как правило, соответствует содержанию технологической практики, что позволяет студентам активно участвовать в решении реальных научно-производственных задач, связанных с совершенствованием современных технологий различных материалов и изделий электронной техники.
При выполнении курсовых проектов (работ) студенты развивают навыки критического анализа литературных и производственных данных, демонстрируют способность принятия обоснованных инженерных решений по технологии и оборудованию производств электронной техники, осваивают (а в ряде случаев и совершенствуют) методики проведения инженерно-технологических расчетов по заданной тематике.
Дипломный проект (работа) является заключительным этапом обучения будущих специалистов и призван подтвердить возможность присвоения выпускникам квалификации «инженер-химик-технолог». Эту работу от других отличает, прежде всего, сочетание обширности и целостности. Выполнение всех многочисленных разделов должно проводиться в тесной связи с предлагаемыми инженерно-технологическими решениями, что требует от студента глубокого понимания как физико-химических основ модернизируемого процесса, так и целого ряда технических проблем обеспечения данной технологии. Выполнение научно-исследовательской дипломной работы кроме вышеуказанных знаний предполагает живую заинтересованность студента в исследованиях, а также высокий уровень работоспособности и интеллектуального творчества. Настоящее учебно-методическое пособие определяет объем работы при выполнении курсовых и дипломных проектов (работ). В издании приводятся теоретические сведения и излагаются основные принципы технологических расчетов процессов и основного оборудования, используемого в производствах материалов и изделий электронной техники. Следует, однако, учитывать большой ассортимент процессов и оборудования по сравнению с другими специализациями, а также то обстоятельство, что стратегия расчетов может в каждом конкретном случае иметь свою специфику, которую нельзя уложить в одну общую схему. Поэтому для успешного выполнения проектов и работ необходимо и полезно использовать справочную литературу, а также знания, полученные при изучении общеинженерных и специальных дисциплин, а также методические рекомендации, разработанные для других специализаций и близких специальностей.