- •1.Межмолекулярное взаимодействие в газах.Эффективный газокинетический диаметр.
- •2.Среднее число столкновений и средняя длина свободного пробега
- •3.Частота соударений молекул газа с поверхностью. Число Кнудсена. Степени вакуума.
- •5.Растворимость газов в твердых телах.Газовыделение.Газопроницаемость
- •13.Теплопередача в вакууме,Радиационный теплообмен
- •15. Условие теплового равновесия в вакууме.Термомолекулярный эффект Кнудсена.
- •17. Проводимость трубопровода при вязкостном режиме течения.
- •20 . Классификация вакуумных насосов
- •22. Насосы с масляным уплотнением
- •2 3. Двухроторные вакуумные насосы
- •24. Турбомолекулярные насосы
- •27.Диффузионные насосы.
- •1 − Впускной патрубок; 2 − охлаждаемый коллектор; 3 − защитный экран; 4 −
- •36. Орбитронные ионно-геттерные насосы.
- •37.Магнитные электроразрядные ионно-геттерные насосы.
- •39. Тепловые манометрические преобразователи.
- •40. Электронные ионизационные манометрические преобразователи.
- •41 Магнитные электроразрядные манометрические преобразователи.
- •42. Статические газоанализаторы.
- •43. Квадрупольный динамический масс-фильтр.
- •45. Масс-спектрометрический гелиевый течеискатель.
- •51 Осаждение покрытий методами ионного распыления.
- •55.Методы анализа поверхности твердых тел
- •60. Физические основы спектромерии рор.
- •. Диффузия в плотных газах и в вакууме.
- •Общая характеристика и отличительные особенности вакуумных насосов поверхностного действия.
- •6. Инжекция электронов в вакуум. Электронная эмиссия. Электронная пушка.
- •Устройство
- •29. Вакуумные отражатели и ловушки
- •7.Ионизация молекул разреженных газов. Газовые разряды. Ионные источники
- •7.Ионизация молекул разреженных газов. Газовые разряды. Ионные источники
- •8. Движение заряженных частиц в электрическом и магнитном полях. Магнетрон.
- •1 0. Электростатические энергоанализаторы корпускулярного излучения.
- •61. Физические основы спектрометрии резерфордовского обратного рассеяния. Тормозная способность вещества. Сечение торможения. Фактор тормозного сечения.
- •14. Внутреннее трение в газах. Передача импульса молекул в вакууме
- •63.Спектры резерфордовского обратного рассеяния. Обработка спектров. Аналитическая информация, получаемая методом спектрометрии резерфордовского рассеяния.
- •16.Режимы и основные характеристики течения газа по трубопроводу. Поток газа. Проводимость трубопровода.
- •19.Переходный молекулярно-вязкостный режим течения газа. Проводимость трубопровода при молекулярно-вязкостном режиме течения.
- •26.Эжекторные вакуумные насосы. Низкотемпературные струйные насосы.
- •25. Пароструйная откачка. Рабочие жидкости пароструйных вакуумных насосов.
- •Рабочие жидкости пароструйных насосов
22. Насосы с масляным уплотнением
П
ластинчато-роторный,
пластинчато-статорный и золотниковый
насосы работают в масляной ванне
.Специальное вакуумное масло ,
характеризующееся низким давлением
насыщенного пара, просачиваясь через
зазоры и заполняя их, обеспечивает
смазку трущихся деталей механизма и
охлаждение насоса, а также защищает
откачной механизм от перетекания
воздуха. Для предотвращения заполнения
маслом рабочей камеры насоса в
выпускном патрубке предусмотрен клапан.
Предельное давление механических насосов с масляным уплотнением определяется давлением насыщенного пара вакуумного масла, газовыделением материалов, а также объемом вредного пространства. Газ, заполняющий объем вредного пространства, отсекается от выпускного патрубка и перегоняется обратно в откачиваемый объем, создавая тем самым обратный поток.
Наличие масла в вакуумной полости насоса приводит к повышению предельного давления вследствие выделения из масла растворенных газов и имеющихся примесей. Для уменьшения потока паров масла в вакуумную систему используются масляные ловушки. В целях исключения возможности попадания масла в вакуумную систему после остановки механического насоса в конструкциях современных насосов предусмотрено автоматическое устройство с клапаном для перекрывания впускного патрубка и клапаном для напуска атмосферного воздуха в полость насоса. При отсутствии такого устройства используется ручной вентиль для напуска воздуха в полость насоса после его остановки. Корпуса механических насосов выполняются снаружи ребристыми и подвергаются воздушному охлаждению, а в случае мощных быстродействующих насосов - и водяному охлаждению.
Вращательные
насосы с масляным уплотнением производят
откачку, начиная с атмосферного давления,
и вытесняют откачиваемый газ в
атмосферу. Такие их характеристики, как
наибольшее рабочее давление, наибольшее
давление запуска и наибольшее выпускное
давление, близки к атмосферному давлению.
Эти насосы способны выдерживать без
изменения характеристик повышение
выпускного давления до 1,1*10
Па (820 мм рт. ст.). Диапазон рабочих давлений
для одноступенчатых насосов составляет
2*10
-6,7
Па;
предельное давление - ~1 Па. Основными
рабочими характеристиками механических
вакуумных насосов с масляным
уплотнением являются предельное
давление рпр
и
быстрота действия S
,.
В зависимости от конструкции и конкретной
марки быстрота действия насосов лежит
в пределах от 1 до 500 дм3/с.
2 3. Двухроторные вакуумные насосы
Двухроторный вакуумный насос - объемный вращательный насос, рабочая камера которого образуется корпусом и профильными роторами, синхронно вращающимися в противоположных направлениях. Двухроторные насосы (насосы Рутса) используются для работы с большой быстротой действия (за счет высокой скорости вращения роторов) при малых степенях разрежения.
В двухроторных вакуумных насосах в овальном корпусе / навстречу один другому вращаются два ротора - 2 и 3. Роторы выполняются с двумя (а) или тремя (б) прямыми или винтовыми (рис. 2.14) лопастями. Роторы приводятся во вращательное движение электродвигателем. Синхронное вращение роторов обеспечивается зубчатой передачей между шестернями, смонтированными на валах ведущего и ведомого роторов. Профили роторов выполнены таким образом, что при взаимной обкатке не соприкасаются. Между роторами, а также между роторами и корпусом в рабочем состоянии имеются зазоры -0,05-0,15 мм; смазочная жидкость в рабочий объем насоса не подается.
В
двухроторных насосах газ сжимается
только в полостях, соединяющихся с
нагнетательным выпускным патрубком.
Поэтому они называются насосами
с
внешним
сжатием.
Процесс
внешнего сжатия менее совершенен и
менее экономичен по сравнению с процессами
внутреннего сжатия, положенными в основу
принципа действия объемных насосов с
масляным уплотнением. Промежуточное
положение по принципу действия занимают
двухроторные
насосы
с
частичным
внутренним
сжатием.
Они
являются более экономичными по сравнению
с обычными двухроторными насосами с
внешним сжатием и в то же время отличаются
быстродействием, простотой конструкции,
возможностью обеспечения откачки без
использования вакуумного м
асла
(безмасляной откачки).
Двухроторные
вакуумные насосы имеют быстроту действия
от 1,5 дм3/с до 10 м3/с, создают остаточное
давление до 0,5 Па. Область рабочих
давлений насосов -10
-1
Па. Двухроторные насосы используются
обычно в составе форвакуумных агрегатов
совместно с механическими насосами с
масляным уплотнением как их предыдущая
ступень.
