- •1.Межмолекулярное взаимодействие в газах.Эффективный газокинетический диаметр.
- •2.Среднее число столкновений и средняя длина свободного пробега
- •3.Частота соударений молекул газа с поверхностью. Число Кнудсена. Степени вакуума.
- •5.Растворимость газов в твердых телах.Газовыделение.Газопроницаемость
- •13.Теплопередача в вакууме,Радиационный теплообмен
- •15. Условие теплового равновесия в вакууме.Термомолекулярный эффект Кнудсена.
- •17. Проводимость трубопровода при вязкостном режиме течения.
- •20 . Классификация вакуумных насосов
- •22. Насосы с масляным уплотнением
- •2 3. Двухроторные вакуумные насосы
- •24. Турбомолекулярные насосы
- •27.Диффузионные насосы.
- •1 − Впускной патрубок; 2 − охлаждаемый коллектор; 3 − защитный экран; 4 −
- •36. Орбитронные ионно-геттерные насосы.
- •37.Магнитные электроразрядные ионно-геттерные насосы.
- •39. Тепловые манометрические преобразователи.
- •40. Электронные ионизационные манометрические преобразователи.
- •41 Магнитные электроразрядные манометрические преобразователи.
- •42. Статические газоанализаторы.
- •43. Квадрупольный динамический масс-фильтр.
- •45. Масс-спектрометрический гелиевый течеискатель.
- •51 Осаждение покрытий методами ионного распыления.
- •55.Методы анализа поверхности твердых тел
- •60. Физические основы спектромерии рор.
- •. Диффузия в плотных газах и в вакууме.
- •Общая характеристика и отличительные особенности вакуумных насосов поверхностного действия.
- •6. Инжекция электронов в вакуум. Электронная эмиссия. Электронная пушка.
- •Устройство
- •29. Вакуумные отражатели и ловушки
- •7.Ионизация молекул разреженных газов. Газовые разряды. Ионные источники
- •7.Ионизация молекул разреженных газов. Газовые разряды. Ионные источники
- •8. Движение заряженных частиц в электрическом и магнитном полях. Магнетрон.
- •1 0. Электростатические энергоанализаторы корпускулярного излучения.
- •61. Физические основы спектрометрии резерфордовского обратного рассеяния. Тормозная способность вещества. Сечение торможения. Фактор тормозного сечения.
- •14. Внутреннее трение в газах. Передача импульса молекул в вакууме
- •63.Спектры резерфордовского обратного рассеяния. Обработка спектров. Аналитическая информация, получаемая методом спектрометрии резерфордовского рассеяния.
- •16.Режимы и основные характеристики течения газа по трубопроводу. Поток газа. Проводимость трубопровода.
- •19.Переходный молекулярно-вязкостный режим течения газа. Проводимость трубопровода при молекулярно-вязкостном режиме течения.
- •26.Эжекторные вакуумные насосы. Низкотемпературные струйные насосы.
- •25. Пароструйная откачка. Рабочие жидкости пароструйных вакуумных насосов.
- •Рабочие жидкости пароструйных насосов
19.Переходный молекулярно-вязкостный режим течения газа. Проводимость трубопровода при молекулярно-вязкостном режиме течения.
Между областями низкого и высокого вакуума имеет место переходный режим течения или по-другому он называется молекулярно-вязкостный. Критерием, определяющим режим течения газа является число Рейнольдса:
Где – средняя скорость течения газа; D – линейный размер трубопровода (в случае цилиндриеского трубопровода – его диаметр); ρ – плотность газа; Ƞ - коэффициент его динамической вязкости. Критическим значением числа Рейнольдса, выше которого может быть только турбулентный режим , для газов принимается равным 2200. В условиях, соответствующих малым значениям числа рейнольдса, течение газа ламинарное. Переход от турбулентного режима к ламинарному и наоборот происходит при критическом значении числа Рейнольдса достаточно резко. При дальнейшем понижении давления течения откачиваемого газа осуществляется в переходном молекулярно-вязкостном режиме, а затем переходит в молекулярный режим.
Области режимов течения при расчётах проводимости трубопроводов различают числом КнудсенаKn. Так в случае цилиндрических трубопроводов принимают, что вязкостный ламинарный режим течения имеет место при Kn<0,01, молекулярный – приKn>0,33, переходному режиму соответствует 0,01<Kn<0.33.
Также промежуточный молекулярно-вязкостный режим течения реализуется при
Проводимость трубопровода вакуумной системы прежде всего зависит от режима течения газа, расчитав его выбираются соответствующие формулы. В области молекулярно-вязкостного режима течения газа проводимость трубопровода рассчитывается по полуэмпирической формуле Кнудсена:
Если трубопровод диаметром Dимеет изгибы под углом 90 градусов, то при молекулярно-вязкостном режиме это учитывается как удлинение трубопровода на 1,33 диаметра при каждом изгибе:
Где i – число изгибов трубопровода.
Для определения проводимости трубопровода при температуре , отличной от комнатной, используется температурный коэффициент
И проводимость вычисляется по формуле
При расчёте проводимости по определённому газу, который может преобладать в откачиваемых, также вводится поправочный коэффициент:
Где
;μв
=29 ∙10-3
кг\моль – молярная масса воздуха, μ –
молярная масса откачиваемого газа.
26.Эжекторные вакуумные насосы. Низкотемпературные струйные насосы.
ЭЖЕКТОРНЫЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ
В основу принципа действия эжекторных насосов положено вязкостное взаинодействие откачиваемого газа со струёй пара в области низкого вакуума. Молекулы, находящиеся в слое, граничащем с паровой струёй, увлекаются струёй за счёт пониженного давления влизи струи и за счёт внутреннего трения увлекаются другие слои газа. Ламинарный режим течения парового и газового потоков может переходить в турбулентный. При этом некоторая часть газа захватывается, захлопывается и уносится завихрениями струи.
Данные насосы предназначены для откачки воздуха и других газов от атмосферного давления до 100 Па.
Рабочее вещество, попадая через сопло 1 под давлением 2.5 105 Па в камеру смешения и расширяясь, а затем в диффузор 2 увлекает воздух. В результате этого создаётся вакуум в линии клапана 8. В диффузоре статическое давление смеси воды и газа за счёт уменьшения скорости повышается до атмосферного давления. Смесь воды с газом стекает в бачок 3, откуда стекает в дренажную линию, подсоединённую к патрубку 4.
Для выхода газа из бачка во фланце 5 предусмотрено отверстие. Насос присоединяется к вакуумной системе через кран 8. Резервуар 7 предназначен для приёма воды, засасываемой через диффузор бочка в случае аварийного прекращения её подачи. Через кран 6 подаётся воздух в резервуар при остановке насоса, а также предотвращает всасывание воды.
Производительность насоса возрастает с повышением давления воды. Предельное остаточное давление насоса практически равно упругости пара воды и увеличивается с повышением её температуры.
Водоструйные насосы часто применяются в системах безмасляной откачки, последней ступени пароэжекторного насоса.
Пароэжекторные насосы предназначаются для безмасляной откачки больших сосудов до давлений 1-10-1 Па. Пароэжекторные насосы могут быть с одной ступенью, двух и более ступенчатыми присоединёнными последовательно друг другу.
НИЗКОТЕМПЕРАТУРНЫЕ СТРУЙНЫЕ НАСОСЫ
Пароструйные насосы, в особенности диффузионные в настоящее время являются самими распространёнными средствами откачки при получении высокого вакуума, что объясняется простотой их конструкции и надёжностью в работе. Однако пароструйные насосы имеют ряд недостатков; главные из них – миграция в откачиваемый объём паров рабочей жидкости и необходимость вертикального расположения насоса. Применение же вакуумных ловушек приводит к существенному снижению быстроты действия пароструйных насосов. В последнее время ведутся исследования в области разработки низкотемпературных струйных насосов. В отличии от обычных пароструйных насосов в низкотемпературных струйных насосах рабочий газ или пар переходит на охлаждаемых стенках не в жидкую фазу, а в твёрдую. Это позволяет присоединить такой насос непосредственно к откачиваемому объекту в любом положении и таким образом полностью использовать его производительность.
1
-корпус,2-вход
криогента,3 – сопло, 4 – выход криогента,
5 выход откачиваемого газа, 6 – рубашка
охлаждения, 7 – теплоизоляция, 8 подача
рабочего газа, 9 – вход откачиваемого
газа.
Цилиндрический корпус 1 охлаждается криогентом , который пропускается через рубашку охлаждения 6. Через сопло 3 в камеру насоса вводится струя рабочего газа, имеющего при температуре кипения криогента низкое давление насыщенного пара. Струя производит откачку, рабочий газ вымораживается на стенках корпуса насоса, а откачиваемый газ отводится через выпускной патрубок форвакуумным насосом. В зависимости от велечины впускного давления откачка осуществляется либо в режиме диффузионного либо в режиме инжекторного насосов.
В качестве рабочих газов могут исп-ся углекислый газ, аммиак, водяной пар. При использовании в качестве рабочего газа водяного пара достигается предельное остаточное давление 2,6∙10-5 Па и обеспечивается быстрота действия насоса 500 дм3\с. Существенным недостатком низкотемпературных струйных насосов является ограниченный ресурс работы из-за нарастания слоя конденсата и необходимости использования рабочих газов с очень малым кол-вом неконденсирующихся примесей.
