- •1.Межмолекулярное взаимодействие в газах.Эффективный газокинетический диаметр.
- •2.Среднее число столкновений и средняя длина свободного пробега
- •3.Частота соударений молекул газа с поверхностью. Число Кнудсена. Степени вакуума.
- •5.Растворимость газов в твердых телах.Газовыделение.Газопроницаемость
- •13.Теплопередача в вакууме,Радиационный теплообмен
- •15. Условие теплового равновесия в вакууме.Термомолекулярный эффект Кнудсена.
- •17. Проводимость трубопровода при вязкостном режиме течения.
- •20 . Классификация вакуумных насосов
- •22. Насосы с масляным уплотнением
- •2 3. Двухроторные вакуумные насосы
- •24. Турбомолекулярные насосы
- •27.Диффузионные насосы.
- •1 − Впускной патрубок; 2 − охлаждаемый коллектор; 3 − защитный экран; 4 −
- •36. Орбитронные ионно-геттерные насосы.
- •37.Магнитные электроразрядные ионно-геттерные насосы.
- •39. Тепловые манометрические преобразователи.
- •40. Электронные ионизационные манометрические преобразователи.
- •41 Магнитные электроразрядные манометрические преобразователи.
- •42. Статические газоанализаторы.
- •43. Квадрупольный динамический масс-фильтр.
- •45. Масс-спектрометрический гелиевый течеискатель.
- •51 Осаждение покрытий методами ионного распыления.
- •55.Методы анализа поверхности твердых тел
- •60. Физические основы спектромерии рор.
- •. Диффузия в плотных газах и в вакууме.
- •Общая характеристика и отличительные особенности вакуумных насосов поверхностного действия.
- •6. Инжекция электронов в вакуум. Электронная эмиссия. Электронная пушка.
- •Устройство
- •29. Вакуумные отражатели и ловушки
- •7.Ионизация молекул разреженных газов. Газовые разряды. Ионные источники
- •7.Ионизация молекул разреженных газов. Газовые разряды. Ионные источники
- •8. Движение заряженных частиц в электрическом и магнитном полях. Магнетрон.
- •1 0. Электростатические энергоанализаторы корпускулярного излучения.
- •61. Физические основы спектрометрии резерфордовского обратного рассеяния. Тормозная способность вещества. Сечение торможения. Фактор тормозного сечения.
- •14. Внутреннее трение в газах. Передача импульса молекул в вакууме
- •63.Спектры резерфордовского обратного рассеяния. Обработка спектров. Аналитическая информация, получаемая методом спектрометрии резерфордовского рассеяния.
- •16.Режимы и основные характеристики течения газа по трубопроводу. Поток газа. Проводимость трубопровода.
- •19.Переходный молекулярно-вязкостный режим течения газа. Проводимость трубопровода при молекулярно-вязкостном режиме течения.
- •26.Эжекторные вакуумные насосы. Низкотемпературные струйные насосы.
- •25. Пароструйная откачка. Рабочие жидкости пароструйных вакуумных насосов.
- •Рабочие жидкости пароструйных насосов
61. Физические основы спектрометрии резерфордовского обратного рассеяния. Тормозная способность вещества. Сечение торможения. Фактор тормозного сечения.
Метод РОР быстрых ионов основан на рассеянии анализирующей заряженной частицы в поле кулоновских сил ядра атома анализируемого вещества. В качестве анализирующих частиц используются ускоренные моноэнергетические легкие ионы Н или Не. Пучок ионов известной энергией Ео значения которой обычной в интервале от 100-400 кэВ, направляется на исследуемый образец ( мишень).При этом небольшая часть падающих ионов испытывает столкновение с ядрами атомов мишени, в результате чего происходит существенное изменение энергии ионов и направления их движения. Менее чем 0,01 % от числа падающих ионов рассеивается на угол превышающий 90 градусов т.е испытывают обратное рассеяние и может покинуть исследуемый образец. Энергия рассеянной частицы зависит от массы ядра, с которым произошло столкновение, благодаря чему метод позволяет провести элементный анализ состава вещества. Толщина поверхностного слоя определяется пробегом ионов. Таким образом, измеряя энергию ионов, рассеянных на определенный угол, можно получить информацию о природе и концентрации различных атомов , составляющих исследуемый материал, а также о распределении атомов по глубине. Использование значений тормозных способностей, сечений торможения и факторов тормозного сечения дает возможность расчета глубины или точнее, количества атомов мишени на единицу площади на глубине от поверхности до точки столкновения.
Потери
энергии в результате электронного
торможения на пути входа в вещество:
∆Евх =
∙
где Ѳ1- угол падения анализирующих ионов
на поверхность образца,
- потери энергии на единице пути иона.
В результате ионного торможения на пути
выхода иона из вещества имеют место
потери энергии : ∆Евых
=
∙
где Ѳ2- угол между нормалью к поверхности
образца и направлением на детектор.
Конечная энергия частицы :
∆Е=
∆Е0 -
∆Евх -∆Евых
- ∆ЕS
,где ∆ЕS
– энергия
иона которая теряется при упругом
рассеянии. Часто вместо тормозной
способности
оказывается более удобным использовать
сечение торможения: ε=
∙
где N-
плотность атомов мишени.
∆Е=[ ε] ∙N∙t, где t- глубина, [ ε] – фактор тормозного сечения.
[
ε]= [
∙
εвх +
∙
εвых]
, Если рассеяние происходит не на слишком
большой глубине, то можно использовать
приближение рассеяния на поверхности
, предлодагающиее, что Евх=
ЕO , а
Евых=К∙
ЕO. В
этом приближении фактор тормозного
сечения однородной мишени:
[ ε0]= [ ∙ ε(E0) + ∙ ε(k∙Е0)]
В случае наличия в мишени примесей фактор тормозного сечения примеси:
[
ε]Ij=
[
∙
εi(E0)
+
∙
εi(kj∙Е0)]
где индекс i
относится к тормозящей среде, а индекс
j
к рассеивающему центру – ядру атома
примеси.
Тормозная способность измеряется обычно в эВ/нм , сечение торможения – в эВ/( атом/см2 ).
14. Внутреннее трение в газах. Передача импульса молекул в вакууме
Внутреннее трение (вязкость) в жидкостях и плотных газах выражается в способности этих сред оказывать сопротивление перемещению одной их части относительно другой. Это сопротивление обусловлено переносом импульса движущихся молекул от слоя к слою который имеет место при ламинарном (слоевом) течении жидкости или плотного газа. Если газ течет в направлении, перпендикулярном оси х(рис. 1,37), то скорость течения газа U изменяется от слоя к слою в направлении оси х и характеризуется градиентом скорости du/dx. Передаваемый от слоя к слою за время dt через площадку dS импульс
η- коэффициент внутреннего трения или динамической вязкости, Па*с. Сила dF, действующая на площадку dS, разделяющую два соседних слоя, направлена по касательной к площадке и определяется законом Ньютона для вязкого трения
На скорость v хаотичного теплового движения молекул накладывается скорость U их упорядоченного движения в потоке. Имеет место перенос импульса из более быстрого слоя, скорость которого U2 , в более медленный, движущийся со скоростью U1 (U2>U1), и в обратном направлении. Количество молекул, попадающих на площадку dS cправа и слева, одинаково
Но передаваемый этими молекулами площадке dS импульс различен
Результирующий импульс, переносимый через площадку dS
Поскольку mn=ρ
Тогда
Поскольку
плотность газа ρ прямо пропорциональна
давлению, а средняя длина свободного
пробега
обратно пропорциональна давлению. То
в случае плотных газов коэффициент
внутреннего трения не зависит от
давления.
Процесс передачи импульса молекул в вакууме не является внутренним трением В этом случае осуществляется передача молекулами импульса между поверхностями, имеющими различные скорости.
Пусть имеется две поверхности(рис.1,38), движущиеся с различными скоростями U1 и U2 (U1>U2). Молекула, ударяющаяся последовательно о каждую из поверхностей. Приобретает в направлении движения поверхности дополнительный импульс mu1 и mu2 соответственно. Результирующий импульс
Сила трения
Коэффициент трения (переноса импульса)в вакууме
Прямо пропорционален плотности разреженного газа или вдавления в вакуумной камере.
