- •1.Межмолекулярное взаимодействие в газах.Эффективный газокинетический диаметр.
- •2.Среднее число столкновений и средняя длина свободного пробега
- •3.Частота соударений молекул газа с поверхностью. Число Кнудсена. Степени вакуума.
- •5.Растворимость газов в твердых телах.Газовыделение.Газопроницаемость
- •13.Теплопередача в вакууме,Радиационный теплообмен
- •15. Условие теплового равновесия в вакууме.Термомолекулярный эффект Кнудсена.
- •17. Проводимость трубопровода при вязкостном режиме течения.
- •20 . Классификация вакуумных насосов
- •22. Насосы с масляным уплотнением
- •2 3. Двухроторные вакуумные насосы
- •24. Турбомолекулярные насосы
- •27.Диффузионные насосы.
- •1 − Впускной патрубок; 2 − охлаждаемый коллектор; 3 − защитный экран; 4 −
- •36. Орбитронные ионно-геттерные насосы.
- •37.Магнитные электроразрядные ионно-геттерные насосы.
- •39. Тепловые манометрические преобразователи.
- •40. Электронные ионизационные манометрические преобразователи.
- •41 Магнитные электроразрядные манометрические преобразователи.
- •42. Статические газоанализаторы.
- •43. Квадрупольный динамический масс-фильтр.
- •45. Масс-спектрометрический гелиевый течеискатель.
- •51 Осаждение покрытий методами ионного распыления.
- •55.Методы анализа поверхности твердых тел
- •60. Физические основы спектромерии рор.
- •. Диффузия в плотных газах и в вакууме.
- •Общая характеристика и отличительные особенности вакуумных насосов поверхностного действия.
- •6. Инжекция электронов в вакуум. Электронная эмиссия. Электронная пушка.
- •Устройство
- •29. Вакуумные отражатели и ловушки
- •7.Ионизация молекул разреженных газов. Газовые разряды. Ионные источники
- •7.Ионизация молекул разреженных газов. Газовые разряды. Ионные источники
- •8. Движение заряженных частиц в электрическом и магнитном полях. Магнетрон.
- •1 0. Электростатические энергоанализаторы корпускулярного излучения.
- •61. Физические основы спектрометрии резерфордовского обратного рассеяния. Тормозная способность вещества. Сечение торможения. Фактор тормозного сечения.
- •14. Внутреннее трение в газах. Передача импульса молекул в вакууме
- •63.Спектры резерфордовского обратного рассеяния. Обработка спектров. Аналитическая информация, получаемая методом спектрометрии резерфордовского рассеяния.
- •16.Режимы и основные характеристики течения газа по трубопроводу. Поток газа. Проводимость трубопровода.
- •19.Переходный молекулярно-вязкостный режим течения газа. Проводимость трубопровода при молекулярно-вязкостном режиме течения.
- •26.Эжекторные вакуумные насосы. Низкотемпературные струйные насосы.
- •25. Пароструйная откачка. Рабочие жидкости пароструйных вакуумных насосов.
- •Рабочие жидкости пароструйных насосов
8. Движение заряженных частиц в электрическом и магнитном полях. Магнетрон.
Раздел науки и техники, посвящённый изучению формирования электронных и ионных пучков в вакууме и управлению ими с помощью электрического и магнитного полей, получил название электронной и ионной оптики.
Различают: геометрическую электронную и ионную; волновую электронную и ионную оптику; электронную и ионную оптику пучков с большой плотностью пространственного заряда.
В геометрической электронной и ионной оптике изучается формирование пучков заряженных частиц под действием внешних полей. Электроны и ионы рассматриваются как точечные заряды или материальные точки, обладающие электрич зарядом, движение которых описывается уравнениями классической механики.
В волновой эл и ион оптике учитываются волновые свойства движущихся заряженных частиц. При описании их движения используются уравнение Шрёдингера и длина волны де Бройля. Волновой оптикой описываются, например, дифракция заряжённых частиц, в частности дифракция электронов в электронном микроскопе.
В эл и ион оптике пучков с большой плотностью пространственного заряда наряду с внешними полями учитываются поля, создаваемые самими заряжёнными частицами, но не учитываются волновые свойства частиц.
Рассмотрим силы, действующие на заряженную частицу в вакууме, со стороны электрического и магнитного полей.
Со стороны эл поля действует сила:
F=qE (F и E векторы!)
q – заряд частицы, E – напряжённость эл поля.
Под действием этой силы частица приобретает ускорение:
m – масса частицы.
Под действием эл поля частица приобретает кинетическую энергию Е:
Ek=A=q(φ1-φ2)=qU
А – работа сил эл поля по перемещению заряда q, φ – потенциалы эл поля в исходной и конечной точках, U – напряжение между этими точками.
Величина скорости которую приобретает частица при её ускорении эл полем:
На
заряжённую частицу, движущуюся со
скоростью
в магнитном поле, действует сила Лоренца:
FM=q[ × B]
B – вектор индукции магнитного поля.
Если заряженная частица влетает в однородное магнит поле со скоростью, направленной перпендикулярно линиям индукции, она под действием силы Лоренца будет двигаться по дуге или окружности.
r – радиус кривизны окружности.
Если частица до попадания в магнитное поле ускоряется электрич, то
Период обращения заряда в магнитном поле
Если начальная скорость частицы частицы составляет некоторый угол α с направлением индукции магнит поля, сила Лоренца имеет вид:
FM=q nB=q 0sinα∙B
Частица будет двигаться по траектории в виде цилиндрической винтовой спирали, её радиус:
1 0. Электростатические энергоанализаторы корпускулярного излучения.
Рисунок 1. Схемы электростатических анализаторов:
А – плоского, б- цилиндрического, в – сферического. (А1,А2- щели)
В плоском конденсаторе на заряженную частицу,влетающую в однородное тормозящее электрическое поле со скоростью vо под углом Ѳ к эквипотенциальным поверхностям действует сила направленная вниз( рисунок а)Уравнение траектории частицы имеет вид:
y=x∙tg
Ѳ – x2(
qЕ/2m
vо2сos2
Ѳ),где Е напряженность электрического
поля в конденсаторе, mvо2/2
– кинетическая энергия частицы влетающей
в электрическое поле.Т.к. траектория
частицы зависит от ее кинетической
энергии электростатические анализаторы
,в отличии от магнитных разделяют
заряженные частицы не по скоростям, а
по энергиям. В цилиндрическом
электростатическом энергоанализаторе,
представляющем собой часть цилиндрического
( рис б), напряженность тормозящего
электростатического поля в точках,
расположенных на расстоянии rо
от оси анализатора, одинакова и равна
Ео.
Движение заряженной частицы, влетающей
в поле анализатора по касательной к
эквипотенциальной поверхности, будет
происходить под радиусом rо.
Слабо
расходящийся пучек, входящий в анализатор
с одинаковыми энергиями, при угле равным
π∙
фокусируется в линию длиной: S’=
∙
а2 ∙
rо
, где а – угол расхождения пучка. В
электростатическом поле сферического
анализатора также имеет место
пространственная фокусировка пучка и
его разложения по энергиям. При этом
источник анализируемых частиц
располагается вне поля и их слабо
расходящийся пучек входит в поле по
касательной к средней эквипотенциальной
сферической поверхности радиусом rо.
Наиболее
распространенным типом электростатического
энергоанализатора является цилиндрический
, получивший название цилиндрического
зеркального:
А – фокусировка типа кольцо-ось; б – типа ось-ось. 1– источник заряженных частиц,2-кольцевая щель,3-внутренний цилиндр с 2-мя кольцевыми щелями,4–внешний цилиндр,5-магнитный экран,6– изолятор,7- перегородка, 8– коллектор, 9– диафрагма , 10- траектория анализируемых частиц. В схеме с фокусировкой кольцо-ось заряженные частицы, например электроны испускаемые источником 1, формируют виртуальный источник на поверхности внутреннего цилиндрического электрода 3. В этом месте находится узкая входная кольцевая щель 2 шириной в несколько десятых миллиметра. Частицы с одинаковой энергией, входящие через щель 2 в область действия тормозящего электростатического поля между цилиндрическими электродами 3 и 4,движутся по траекториям 10 , и проходя через вторую кольцевую щель во внутреннем цилиндре 3, попадают на коллектор 8. В схеме с фокусировкой ось-ось источник 1 является точечным и располагается на оси анализатора. Частицы определенной энергии также проходят через 2 кольцевые щели во внутреннем цилиндре 3 и фокусируются на коллекторе 8. Изменяя величину тормозящего напряжения между электродами 3 и 4, можно регистрировать частицы различных энергий.
