3. Принцип действия

Принцип действия основан на поглощении газов периодически или непрерывно напыляемой пленкой активного вещества (чаще всего титана) и улучшении откачки инертных газов и углеводородов за счет ионизации и улавливания положительных ионов отрицательно заряженными элементами насоса, также запыляемыми активным веществом. Испарение титана в геттерно-ионных насосах может происходить как из твердой, так и из жидкой фаз. Внутри водоохлаждаемого корпуса размещены прямонакальный вольфрамовый катод , два испарителя и анод , смонтированные на металло-керамических изоляторах, уплотненных с днищем. Для предварительной откачки в крышке насоса предусмотрен патрубок. Корпус и крышки уплотняются металлическими уплотнениями. Подготовка насоса к работе состоит в предварительном обезгаживании при температуре 250—300 °С и давлении 2 • 10-5 мм рт. ст. в течение 4—6 ч. Общий запас титана составляет около 7 г. При мощности на испарителе 200 и 240 Вт достигается скорость сублимации титана 5 и 15 мг/ч и обеспечивается срок службы насоса 1500 и 500 ч соответственно. Скорость сублимации титана мало меняется в течение сотен часов работы насоса вплоть до использования 80 % запаса титана при условии, что мощность, необходимая для нагрева испарителя, поддерживается постоянной. Как уже отмечалось, химически активные газы поглощаются пленкой титана, непрерывно напыляемой на поверхность корпуса. Прогрев этого насоса осуществляется внутренним нагревателем, роль которого выполняет анод, изготовленный из молибденовой проволоки. Эксплуатация насоса упрощается, так как отпадает необходимость в применении внешней теплоизоляции, а подводимая для нагрева энергия используется более эффективно. Предельное давление одного насоса ЦВН-1-2 составляет 1,33 Па. При последовательной работе двух насосов достигается давление 0,1 Па.

Э ксплуатация и обслуживание Пуск насоса производится в такой последовательности. Насос откачивают до давления 1 • 10-3 Па (1 • 10-5 мм рт. ст.). Сливают воду и продувают систему охлаждения сжатым воздухом. Включают внутренний нагреватель, которым насос прогревается в течение 10 ч. По окончании общего прогрева насоса производят обезгаживание испарителя и катода. После охлаждения корпуса насоса до температуры ниже 100 °С в систему охлаждения подается вода. В момент пуска расход воды не должен превышать 50 л/ч. Последнее вызвано тем, что, если насос недостаточно остыл, в системе охлаждения может сильно возрасти давление в результате образования большого количества пара. Затем включают испаритель, с этого момента насос начинает откачку. Включают катод. Плавно, в течение 30 мин, напряжение на аноде увеличивают до 1200 В. В дальнейшем насос может производить откачку без вспомогательных средств откачки. Вакуумный клапан, соединяющий насос со вспомогательными средствами откачки, перекрывают. Естественно, если в откачиваемом сосуде присутствует большое количество инертных газов, откачка его вспомогательными средствами откачки не прекращается и клапан оставляют открытым. Выключение насоса производится в обратной последовательности. В процессе эксплуатации геттерно-ионных насосов, так же как и геттерных насосов, требуется периодическая чистка корпуса насоса от пленок титана. Необходимая периодичность чистки определяется режимом работы насоса, рабочим давлением, количеством напусков атмосферного воздуха, количеством прогревов установки и т. д. Рекомендуется чистить насос после полного испарения трех-четырех блоков испарителей. Требования техники безопасности при чистке корпуса геттерных и геттерно-ионных насосов одинаковы.

4. Р асчет по выбору оборудования

По заданию мною был выбран геттерно-ионный вакуумный насос.

Цена насоса была взята из курсового проекта. Транспортные расходы составили 30% от стоимости оборудования. Расходы на монтаж составили 10% от стоимости оборудования. Общая стоимость рассчитывалась по данным суммы, транспортных расходов и расходов на монтаж.

Таблица 1 – Расчет стоимости оборудования;

№ п/п	Наименование элемента	Цена на период расчёта	Кол-во	Сумма в руб.	Транспортные расходы в руб.(30% от суммы)	Расходы на монтаж в руб.	Общая стоимость в руб.
1	2	3	4	5	6	7	8
1	Насос ЦВН-1-2	3500	2	6000	1800	600	8400

Общая стоимость оборудования составила 8400 рублей.

5. Технико – экономический расчет;

Расчет зарплаты рабочим. Данные сводятся в таблицу 2.

Таблица 2 – Расчет зарплаты рабочим

№	Наименование работы	Разряд работы	Общая норма времени руб./ч.	Заработная плата, руб.
				Основная		Дополнит.		Начисл.		Всего
1	2	3	4	5		6		7		8
1	Сварка	4	12.5	149.3		746.5		149.3		2388.8
2	Сборка	4	4	382		441		88.2		1411.2
3	Наладка	4	14	1522.22		761.11		152.2		2435.53
Всего:					3897.22		1948.61		389.4		6235.53

Основная заработная плата рассчитывалась как произведение общей нормы времени на время, за которое была выполнена работа:

Сварка = 12.5*12 = 149,3 руб;

Сборка = 95*4=382 руб.

Н аладка = 107,8*14=1522,22 руб.

Д ополнительная заработная плата принята в размере 50% от основной, а начисление 10% от основной зарплаты.

Итого, общие затраты (U_общ) составили: Суммарная заработная плата рабочим + Общая стоимость оборудования.

U_общ.= 6235,53 + 8400 = 14635 ( руб. ).