Поправка на флуоресценцию характеристическим излучением (f)

Отношение дополнительно возбужденной интенсивности к интенсивности, возбужденной электронами  =I_ф'/I_п имеет вид:

 = 0,5 C_B·P_ij·_B·[A_A/A_B]·[(r_A-1)/r_A] ·()_B^A/()_B·(X+Y)·[(U_B-1)/U_A-1)^1,67 (10)

P_ij принимает значение P_K-K = P_L-L = 1; P_K-L= 0,24; P_L-K = 4,2,

r_A -скачок поглощения;

_B -выход флуоресценции рассчитывают, например, по формуле:

[/(1-)]^1/4 =A + B Z + C Z³ (11).

Значения констант зависят от возбужденного уровня и равны:

K L M

A -0,03795 -0,11107 -0,00036

B 0,03426 0,01368 0,00386

C -1,163*10^-6 -2,177*10^-7 2,01*10^-7

X = [ln(1+u)] / u u = [()_A/()_B ] · cosec (12)

Y = [ln(1+v)]/ v v =  / ()_B U_B = E₀/E_q U_A =E₀/E_q (13)

После этих общих замечаний перейдем к рассмотрению конкретных возможностей аналитической системы микроскопа XL.

Слайд 64

Аналитическая система XL: совместное развитие EDAX-Philips EO. Основная программа eDX-ZAF/Phi-Rho-Z eDXauto-p: автоматический анализ по точкам DXMatch: автоматический качественный анализ iDXi: распределительный анализ и вывод на экран - Режим: DXLive - - Режим: DXQmap - - Режим: DXLine - -Режим: iDXac DXGSR (специальный):

Аналитическая система XL: совместное развитие EDAX - Philips EO.

Растровые электронные микроскопы фирмы Philips серии XL в основном комплектуются энергодисперсионным детектором рентгеновского излучения фирмы EDAX. Геометрия микроскопа позволяет монтировать детектор так, чтобы обеспечить оптимальную эффективность в эвцентрической точке. В этой точке одновременно можно использовать детектор вторичных электронов, детектор отраженных электронов и ЭДД с углом выхода 35° для не наклоненного образца. Дисплей микроскопа выводит как электронно-микроскопическое изображение, так и данные детектора. Контроль и обслуживание интегрированной системой обеспечивается единственной мышью и клавиатурой.

Рентгеноспектральный микроанализ в микроскопе xl-30

обеспечивают программы:

• из пакета Phoenix:

ZAF,

PhiRhoZ

• из пакета EDAX's:

PhiZAF.

Слайд 65

Рентгеноспектральный микроанализ в микроскопе XL-30 обеспечивают программы: из пакета Phoenix: - ZAF, - PhiRhoZ из пакета EDAX’s: - PhiZAF.

Слайд 66

Аналитическая система XL: Встроенная система EDX Последовательный интерфейс пользователя XL-EDX Философия одного сигнала Программа контроля всей системы Оптимальная геометрия анализа Надежные EDS детекторы Одна система: полное обеспечение заказчика

Основная программа ЭДД DX4i обеспечивает накопление рентгеновского спектра от пробы, поправку на мертвое время ручную и автоматическую идентификацию пика, автоматическое преобразование микроскопических данных, интегрированный контроль большинства микроскопических параметров, ручное и автоматическое определение фона, стандартный количественный анализ с использованием ZAF и Phi-Rho-Z моделей анализа и различные нормировки, включая пересчет на окислы.

Слайд 67

Программа количественного анализа eDX-ZAF/Phi-Rho-Z состоит из ряда блоков, которые позволяют быстро выполнять различные виды количественного анализа.

Слайд 68

Программа количественного анализа eDX-ZAF/Phi-Rho-Z Интерфейс пользователя XL-EDX. Процесс контроля одного окна: упорядоченный экран. Блок разделения данных, использующий DDE/DLL: коррекция - TOA. Контроль зонда и столика объектов. Количественный анализ без стандартов. Нет необходимости в калибровке. Поправка на толщину покрытия. Обработка спектра в режиме Off-line

Окно контроля

Слайд 69

Разделение легких элементов

Слайд 70

Слайд 71

Количественный анализ без стандартов.

Results ANSI 316 steel

Слайд 72

Пакет программ DX состоит из программ:

eDX-ZAF и Phi-Rho-Z

eDXauto-p: автоматический анализ по точкам

DXMatch: автоматический качественный анализ