- •Методические указания
- •Изучение механических форвакуумных насосов с масляным уплотнением Цель работы
- •Теоретические сведения
- •Порядок выполнения работы
- •Содержание отчета
- •Контрольные вопросы
- •2. Лабораторная работа изучение пароcтруйных диффузионных haсoсoв Цель работы
- •Теоретические сведения
- •Порядок выполнения работы
- •Содержание отчета
- •Контрольные вопросы
- •3. Лабораторная работа измерение вакуума Цель работы
- •Теоретические сведения
- •Порядок выполнения работы
- •Содержание отчета
- •Контрольные вопросы
- •4. Лабораторная работа масс-спектрометрический метод течеискания Цель работы
- •Теоретические сведения
- •Методы течеискания
- •Масс-спектрометрический метод течеискания
- •Определение минимального потока гелия, регистрируемого течеискателем, и цены деления, выходного прибора измерения ионного тока
- •Оценка величины регистрируемого натекания.
- •Порядок выполнения работы
- •Содержание отчета
- •Контрольные вопросы
- •Рекомендуемая литература
Определение минимального потока гелия, регистрируемого течеискателем, и цены деления, выходного прибора измерения ионного тока
Определение этих параметров прибора производится в следующем порядке.
Течеискатель откачать и настроить на "пик гелия".
Клапан "ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ" закрыт, остальные клапаны открыты. Определить амплитуду флюктуаций фонового сигнала по шкале «0,1 V» или «0,3 V» прибора:
= max - min,
где max и min - максимальное и минимальное значения фонового сигнала, мВ.
Переключатель "ПРЕДЕЛЫ ИЗМЕРЕНИЯ" установить в положении «30 V».
Открыть клапан "ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ", выбрав удобную для отсчета шкалу, определить установившееся значение величины сигнала от гелиевой течи т.
Закрыть клапан "ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ" и определить величину фонового сигнала - ..
Определить минимальный поток гелия Qmin, регистрируемый течеискателем:
,
м3* Па/с, (5.9)
где Qm - величина потока гелиевой течи (по маркировке на корпусе течи, м3 *Па/c).
Цена деления прибора равна:
,
м3*Па/с. (5.10)
Оценка величины регистрируемого натекания.
Величина натекания оценивается по формуле
Q= SQ(r - ), мз*Пa/c. ,
где SQ - цена деления наиболее чувствительной шкалы выходного прибора блока измерения ионного тока, м3 Па с-1 мВ-1;
r - показания прибора при испытании, мВ;
- фоновый сигнал течеискателя, мВ.
В соответствии с вышеизложенным, чувствительность испытаний не идентична чувствительности течеискателя, поэтому для оценки величины натекания испытуемых объектов необходимо определить цену деления выходного прибора по формуле (5.10) в конкретных условиях проведения испытания.
Порядок выполнения работы
В лабораторный стенд входят: испытуемый объект, вспомогательный форвакуумный насос, течеискатель, соединенные по схеме рис. 5,5а. Работа выполняется в следующей последовательности:
1) Изучить инструкцию по эксплуатации гелиевого течеискателя ПТИ-10.
2) Определить минимальный поток гелия, регистрируемый течеискателем.
3) Присоединить испытуемый объект к вакуумной системе и предварительно откачать его вспомогательным насосом. Определить цену деления выходного прибора для конкретных условий проведения испытаний.
4) Обнаружить места негерметичности в испытуемом объекте и определить величину натекания гелия для каждой течи.
5) Определить суммарную пропускающую способность течи:
С
=
,
где Qi - суммарный поток гелия, попадающий в установку, м3*Па/с;
р1 - давление вне объема, Па;
р2 - давление в объеме, Па.
6) Определить по формулам (5.3) и (5.4) суммарную величину натекания воздуха в стандартных условиях. Сравнить эту величину с допустимой величиной суммарного натекания Qдоп (ее взять из технических условий на изготовление изделия). По степени герметичности сделать заключение о годности изделия.
Содержание отчета
1) Вакуумная схема лабораторного стенда.
2) Описание измерений и опытные данные.
3) Рассчитанные величины и используемые расчетные зависимости.
