Содержание

Лабораторная работа №1 Модель кольцевого испарителя	1
Лабораторная работа №2 Моделирование процессов диффузии	11
Лабораторная работа №3 Формирование биполярного транзистора с помощью диффузии	22
Лабораторная работа №4 Моделирование процесса ионной имплантации	29
Библиографический список	40

Методические указания

к выполнению лабораторных работ № 1–4

по курсу «Моделирование и оптимизация технологии

и оборудования ЭП» для студентов специальности

210107 «Электронное машиностроение»,

очной формы обучения

Составители: Чопоров Олег Николаевич

Корнев Олег Евгеньевич

В авторской редакции

Компьютерный набор О.Е. Корнева

Подписано в печать 13.12.2011.

Формат 6084/16. Бумага для множительных аппаратов.

Усл. печ. л. 2,7. Уч.-изд. л. 2,5. Тираж экз. «С»

Зак. № .

ФГБОУ ВПО «Воронежский государственный технический университет»

394026 Воронеж, Московский просп., 14

2