
- •1 .Опишите фазы основного производства ис и назначение основного оборудования входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз.
- •2.Опишите фазы вспомогательного производства и назначение вспомогательного оборудования, входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз.
- •3.Классификация помещений по микроклимату и запылённости.
- •4.Опишите конструкцию боксов с применением схем данной конструкции.
- •Пылезащитные камеры без выделения продуктов химических реакций (а) и с выделением их (б):
- •5. Опишите устройство, порядок работы, принцип действия установки очистки газы
- •6. Опишите устройство, порядок работы, принцип действия установки очистки газа водорода(угов) с использованием схемы угов.
- •7. Опишите устройство оборудования для очистки воды с использованием схемы установки, принцип действия установки, объясните понятие централизованной очистки и финишной очистки.
- •8. Опишите основные характеристики автомата "алмаз-6м" контролируемые наладчиком, для проверки готовности автомата к работе.
- •9. Опишите устройство, принцип действия автомата "алмаз-6м" с использованием кинематической схемы автомата.
- •10. Опишите порядок крепления алмазного круга с внутренней режущей кромкой и его натяга с использованием схемы крепления и натяга.
- •11. Опишите устройство и порядок работы станции очистки сож с использованием схемы.
- •12. Опишите устройство турбомолекулярного насоса, принцип его действия, порядок работы.
- •13. Опишите устройство, порядок работы с использованием схемы установки шлифовки с двухсторонним шлифованием.
- •Кинематическая схема станка двухстороннего шлифования
- •14. Опишите устройство, порядок работы установки полировки (химико-механической) с использованием схемы установки.
- •15. Опишите назначение, устройство и порядок работы установки посадки кристаллов в корпус эм-4085.
- •16. Опишите устройство, порядок работы установки снятие фаски с использованием кинематической схемы установки.
- •Принципиальная схема автомата снятия фасок
- •17. Опишите назначение, устройство и порядок работы, автомата гидромеханической отмывки с использованием схемы.
- •18. Опишите устройство нагревательной камеры с использованием схемы камеры, основные отказы в работе.
- •19. Опишите назначение, устройство, градуированные характеристики преобразователей температуры (термопар), типы, пределы измерения.
- •20 .Изложите понимание вакуума, опишите примерную схему вакуумного оборудования с пояснением назначения узлов, приборов входящих в оборудование.
- •21.Опишите устройство механических объемных вращательных (пластинчато-роторных, пластинчато-статорных) насосов с использованием схем насосов, принцип действия данных насосов.
- •22. Опишите устройство преобразователя манометрического теплового с использованием его схемы, принцип действия преобразователя, с каким вакуумметром используется пмт.
- •Термопарный манометрический преобразователь: 1, 2 - стеклянные трубки и баллон. 3 - платиновый подогреватель, 4 - хромель-копелевая термопара, .5 - цоколи 6 - штырьки
- •23. Опишите устройство высоковакуумного насоса (паромасляного) насоса с использованием схемы насоса, принцип действия, технические характеристики насоса.
- •24. Опишите устройство преобразователя манометрического ионизационного с использованием схемы преобразователя, принцип действия, с какими вакуумметрами он применяется.
- •25. Опишите назначение, устройство, порядок работы установки присоединения выводов эм-4020б.
- •26. Опишите устройство установки наращивания эпитаксиальных слоев типа унэс-100 с использованием схемы установки, порядок работы установки.
- •27.Опишите устройство скруббера, назначение скруббера, принцип действия, его связь с системой газораспределения унэс-100 с применением схемы.
- •28. Опишите устройство ионного источника с применением схемы ионного источника, принцип действия ионного источника,
- •29. Опишите устройство цилиндра Фарадея, с применением схемы цилиндра, принцип действия. Изложите необходимость применения заземляющих и подавляющей диафрагмы.
- •30.Опишите устройство линейного шагового двигателя (лшд) с использованием схемы индуктора и статора, схемы расположения индуктора на статоре.
21.Опишите устройство механических объемных вращательных (пластинчато-роторных, пластинчато-статорных) насосов с использованием схем насосов, принцип действия данных насосов.
Рис.5.2. Пластинчато-роторный насос:
1–впускной канал; 2–корпус откачного механизма насоса; 3 – ротор; 4–пластины; 5–пружина; 6– выпускной канал;7–маслоотбойники;8-корпус насоса.
I–полость всасывания, II-полость перемещения и частичного сжатия, III–полость вытеснения.
Полость II уменьшается в объеме, и газ из нее через выпускной канал 6 и клапан вытесняется из насоса в атмосферу. После этого полость II начинает выполнять функции полости III и наступает момент, когда происходит вытеснение очередной порции газа.
Насос за один оборот ротора совершает два цикла откачки и из откачиваемого объема удаляется две порции газа. Предельный вакуум 10-2…10-4 Па. Насосы этого типа имеют масляную ванну для смазывания, уплотнения и охлаждения вращающихся деталей.
Рис.5.3.Пластинчато-статорный насос:
1–впускной канал;2-вал;3–корпуса откачного механизма насоса; 4–ротор; 5–выпускной канал; 6–пластины; 7–пружина;8-рычаг.
I–полость всасывания, II-полость сжатия и вытеснения.
При вращении ротора в направлении, указанном стрелкой, газ из откачиваемого объема через впускной канал 1 заполняет увеличивающийся объем полости I. В это же время в полости II газ сжимается. Когда давление газа на выпускной клапан превышает атмосферное, клапан срабатывает и газ из полости II вытесняется.
Насосы этого типа за один оборот ротора совершают один цикл откачки из откачиваемого объема, удаляется только одна порция газа. Пластинчато-статорные насосы, как правило, имеют малую производительность. Предельный вакуум(0,8…3)10-3 Па.
22. Опишите устройство преобразователя манометрического теплового с использованием его схемы, принцип действия преобразователя, с каким вакуумметром используется пмт.
Термопарный манометрический преобразователь: 1, 2 - стеклянные трубки и баллон. 3 - платиновый подогреватель, 4 - хромель-копелевая термопара, .5 - цоколи 6 - штырьки
При постоянном токе накала подогревателя термопарного преобразователя, вакуумно-плотно соединенного с откачиваемым объемом, термо-эдс термопары будет определяться давлением окружающего газа, так как изменение температуры подогревателя зависит от теплопроводности окружающего газа. При понижении давления теплопроводность газа уменьшается, температура подогревателя увеличивается, а следовательно, увеличивается и термо-эдс термопарного преобразователя.
Термопарный вакуумметр ВТ-3 состоит из ПМТ, блоков питании а также измерения термо-эдс и тока нагревателя.
23. Опишите устройство высоковакуумного насоса (паромасляного) насоса с использованием схемы насоса, принцип действия, технические характеристики насоса.
Рис.5.7. Диффузионные паромасляные насосы:
а- с цилиндрической горловиной; б–с расширенной горловиной; 1–корпус; 2,3,4–ступени;5–электронагреватель;6-сопло; 7–охлаждающий трубопровод; 8–фланец; 9–патрубок присоединения к откачиваемому объему; 10–патрубок присоединения к форвакуумному насосу; 11–отражатель;12-кипятильник ; 13-пары масла.
Назначение.
Диффузионные паромасляные насосы предназначены для создания высокого вакуума .
Принцип действия основан на том, что пары масла по паропроводящим каналам попадают в соответствующие сопла и, выходя из них вместе с молекулами откачивающего газа, конденсируются на охлаждаемых стенках насоса.
Трехступенчатый диффузионный паромасляный насос Н-2Т (рис. 5.7), применяемый в некоторых напылительных установках, состоит из корпуса1, паропровода, состоящего из трех ступеней 2,3,4, электронагревателя 5, маслоотражателя11.
Корпус насоса, представляющий собой стальной цилиндр 1 с приваренным к нему днищем, имеет впускной 9 и выпускной 10 патрубки с фланцами. С наружной стороны цилиндра и выпускного патрубка приварены последовательно соединенные между собой водяные рубашки 7, в которые через штуцер подается вода. Все присоединенные фланцы имеют крепежные отверстия и канавки для уплотнительных прокладок.
Нижняя часть корпуса насоса служит кипятильником 12, нагреваемым электронагревателем 5. Паропровод состоит из трех ступеней. При работе насоса пары масла13 из кипятильника по паропроводящим каналам попадают в соответствующие сопла и, выходя из них вместе с молекулами откачивающего газа, конденсируются на охлаждаемых стенках насоса. При этом конденсат стекает вниз по стенкам корпуса обратно в кипятильник к центру дна, а откачиваемый газ направляется к выходному патрубку 10.