
- •1 .Опишите фазы основного производства ис и назначение основного оборудования входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз.
- •2.Опишите фазы вспомогательного производства и назначение вспомогательного оборудования, входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз.
- •3.Классификация помещений по микроклимату и запылённости.
- •4.Опишите конструкцию боксов с применением схем данной конструкции.
- •Пылезащитные камеры без выделения продуктов химических реакций (а) и с выделением их (б):
- •5. Опишите устройство, порядок работы, принцип действия установки очистки газы
- •6. Опишите устройство, порядок работы, принцип действия установки очистки газа водорода(угов) с использованием схемы угов.
- •7. Опишите устройство оборудования для очистки воды с использованием схемы установки, принцип действия установки, объясните понятие централизованной очистки и финишной очистки.
- •8. Опишите основные характеристики автомата "алмаз-6м" контролируемые наладчиком, для проверки готовности автомата к работе.
- •9. Опишите устройство, принцип действия автомата "алмаз-6м" с использованием кинематической схемы автомата.
- •10. Опишите порядок крепления алмазного круга с внутренней режущей кромкой и его натяга с использованием схемы крепления и натяга.
- •11. Опишите устройство и порядок работы станции очистки сож с использованием схемы.
- •12. Опишите устройство турбомолекулярного насоса, принцип его действия, порядок работы.
- •13. Опишите устройство, порядок работы с использованием схемы установки шлифовки с двухсторонним шлифованием.
- •Кинематическая схема станка двухстороннего шлифования
- •14. Опишите устройство, порядок работы установки полировки (химико-механической) с использованием схемы установки.
- •15. Опишите назначение, устройство и порядок работы установки посадки кристаллов в корпус эм-4085.
- •16. Опишите устройство, порядок работы установки снятие фаски с использованием кинематической схемы установки.
- •Принципиальная схема автомата снятия фасок
- •17. Опишите назначение, устройство и порядок работы, автомата гидромеханической отмывки с использованием схемы.
- •18. Опишите устройство нагревательной камеры с использованием схемы камеры, основные отказы в работе.
- •19. Опишите назначение, устройство, градуированные характеристики преобразователей температуры (термопар), типы, пределы измерения.
- •20 .Изложите понимание вакуума, опишите примерную схему вакуумного оборудования с пояснением назначения узлов, приборов входящих в оборудование.
- •21.Опишите устройство механических объемных вращательных (пластинчато-роторных, пластинчато-статорных) насосов с использованием схем насосов, принцип действия данных насосов.
- •22. Опишите устройство преобразователя манометрического теплового с использованием его схемы, принцип действия преобразователя, с каким вакуумметром используется пмт.
- •Термопарный манометрический преобразователь: 1, 2 - стеклянные трубки и баллон. 3 - платиновый подогреватель, 4 - хромель-копелевая термопара, .5 - цоколи 6 - штырьки
- •23. Опишите устройство высоковакуумного насоса (паромасляного) насоса с использованием схемы насоса, принцип действия, технические характеристики насоса.
- •24. Опишите устройство преобразователя манометрического ионизационного с использованием схемы преобразователя, принцип действия, с какими вакуумметрами он применяется.
- •25. Опишите назначение, устройство, порядок работы установки присоединения выводов эм-4020б.
- •26. Опишите устройство установки наращивания эпитаксиальных слоев типа унэс-100 с использованием схемы установки, порядок работы установки.
- •27.Опишите устройство скруббера, назначение скруббера, принцип действия, его связь с системой газораспределения унэс-100 с применением схемы.
- •28. Опишите устройство ионного источника с применением схемы ионного источника, принцип действия ионного источника,
- •29. Опишите устройство цилиндра Фарадея, с применением схемы цилиндра, принцип действия. Изложите необходимость применения заземляющих и подавляющей диафрагмы.
- •30.Опишите устройство линейного шагового двигателя (лшд) с использованием схемы индуктора и статора, схемы расположения индуктора на статоре.
18. Опишите устройство нагревательной камеры с использованием схемы камеры, основные отказы в работе.
Рис. 8.7. Нагревательная камера термической диффузионной установки:
1 – термопара;2 – кожух; 3 – алюминиевая крышка; 4 – керамическое волокно; 5 – токоподводы; 6 – внутренняя и наружная спирали нагревателя; 7 керамические изоляторы.
Нагревательная камера (рис.8.7) представляет собой две соосно расположенные спирали 6 из материала высокого удельного сопротивления, соединенные между собой параллельно, но разделенные токоподводами 5 и системой питания на три самостоятельные секции. Снаружи нагревательный элемент теплоизолирован прессованным керамическим волокном 4 и закрыт алюминиевым кожухом 2, на котором по краям и в центре расположены коробки для крепления регулирующих и контрольных термопар 1 соответственно с градуировкой ПР30/6 и ПП 1.
19. Опишите назначение, устройство, градуированные характеристики преобразователей температуры (термопар), типы, пределы измерения.
Термоэлектрические преобразователи ТП (термопары) широко применяют для измерения температуры от (100 до 2500) º С.
Термопара состоит из двух разнородных проводников, спаянные концы которых называют горячими или рабочими, а свободные- холодными (рис.4.9 а-г).
Рис.4.9.Температурные преобразователи:
а)-общий вид ; б) - рабочий конец хромель-алюмелевой термопары ; в) - рабочий конец платинородий - платиновой термопары; г) - рабочий конец малоинерционной термопары.
Принцип действия термопар основан на эффекте Зеебека - термоэлектрическом эффекте, когда между соединёнными проводниками возникает контактная разность потенциалов.
При нагреве спаянных концов в цепи термопары появляется электрический ток. Объясняется это явление тем, что в различных металлах плотность свободных электронов неодинакова. Поэтому в месте соприкосновения разнородных металлов электроны в основном будут диффундировать из металла большей плотности в металл меньшей плотности и значительно слабее в обратную сторону.
Градуировочные кривые приведены на рисунке ниже.
Рис. 4.10. Градуировочные кривые термопар:
1 - хромель-копелевой ХК; 2 - хромель-алюмелевой ХА; 3 - из сплава НК-СА; 4 – платинородий - платиновой ПП; 5 - платинородий-платинородиевой ПР30/6.
20 .Изложите понимание вакуума, опишите примерную схему вакуумного оборудования с пояснением назначения узлов, приборов входящих в оборудование.
Вакуум характеризует состояние газа ,имеющего давление меньше нормального давления ,которое известно равно 760 мм.рт.ст.
Рис 5.1. Примерная схема вакуумной системы:
1–рабочий объем; 2–затвор; 3–ловушка; 4–диффузионный насос; 5–вакуумный вентиль; 6-трубопровод;7-механический насосы; 8–вакуумметры.
Для создания разрежения в вакуумной системе используются два последовательно включенных насоса: диффузионный(высоковакуумный) 4 и механический (форвакуумный) 7. Ловушки 3, устанавливаемые перед насосами, предохраняют рабочий объем 1 от попадания паров рабочего вещества насосов и улавливают газы, присутствие которых нежелательно. Ловушка перед механическим насосом, кроме того, предохраняет насос.
Вакуумные вентили 5 и затвор 2 служат для регулирования в вакуумной системе газового потока. Трубопровод 6 с вентилем, соединяющий рабочий объем с механическим насосом, называют байпасной линией.