15. Опишите назначение, устройство и порядок работы установки посадки кристаллов в корпус эм-4085.
Назначение.
Автомат присоединения кристаллов ЭМ-4085 (рис.14.1) предназначен для присоединения кристаллов к корпусам ИС методом эвтектической пайки или с помощью клея.
Принцип действия.
Принцип действия основан на поиске годных кристаллов, съёме кристалла с адгезионного носителя, укладки его на планку крестовины ,съёма кристалла с планки крестовины на рабочую позицию и присоединения кристалла на основание методом эвтектической пайки или с помощью токопроводящего клея.
Рис. 14.1. Схема общего вида установки ЭМ-4085:
1-опоры;2-стол электрооборудования;3- блок питания;4 - блок управления пневматикой;5-блок управления техническим зрением;6- пульт управления ; 7 – магазин падающей/приемной кассет;8–загрузочно /разгрузочное устройство (ЗРУ);9–видео-контрольное устройство;10–дозатор;11–источник света к МТ-2; 12–видикон (датчик телевизионный);13–микроскоп МТ-2;14 – фонарь; 15– опора;16–осветитель ; 17 – ориентатор;18–кассета (пяльцы) с наклеенной, разделенной на кристаллы, пластиной;19–предметный столик;20 – индуктор ЛШД; 21–статор ЛШД.
16. Опишите устройство, порядок работы установки снятие фаски с использованием кинематической схемы установки.
Принципиальная схема автомата снятия фасок
1. механизм загрузки
2,14 платформа
3 кассета
4.6. шкивы
5. пассики
7. автооператор
8. выходная ветвь транспортера
9. механизм шлифовки
10,12,16. Э/Д
11. алмазный круг
13. столик
15. ходовой винт
Автомат имеет прогрессивную блочную конструкцию и состоит из четырех основных узлов: механизма загрузки 1 и механизма шлифовки 9, автооператора 7 и механизм разгрузки.
Механизм загрузки работает, как и все механизмы где нужно подавать пластины.
Подъем и опускание платформы 2 с кассетой 3 осуществляется Э/Д 16 через ходовой винт 15. Пневмолоток оборудован двумя пассиками 5, натянутыми между шкивами 4 и 6. Пластина подается к автооператору, который перегружает ее на столик 13 механизма шлифовки, снабженный вакуумной присоской. Столик вращается от Э/Д 12 с частотой несколько десятков оборотов в мин. К торцу пластины прижимается алмазный диск с треугольным пазом, приводимым Э/Д 10 во вращение, обеспечивающим снятие фаски с двух сторон пластин 11 с двух сторон пластины. Затем окна выгружаются автооператором на выходную ветвь 8 транспортера и в приемную кассету.
17. Опишите назначение, устройство и порядок работы, автомата гидромеханической отмывки с использованием схемы.
Автомат гидромеханической отмывки, предназначенный для комбинированной очистки поверхностей полупроводниковых пластин
Автомат (рис.7.4) состоит из механизмов загрузки и разгрузки 1,10, каретки подачи полупроводниковых пластин 5, механизма перемещения щетки 8, центрифуги 11и ванны.
химическими реактивами и щеткой перед нанесением фоторезиста, окислением, диффузией, осаждением пленок и после удаления фоторезиста. Подача полупроводниковых пластин в автомат производится в унифицированных кассетах емкостью 25 пластин.
Рис.7.4. Автомат гидромеханической отмывки:
1,10–загрузочно/разгрузочное устройство соответственно; 2-платформа; 3–унифицированная кассета;4-шкив; 5-пасик;6-трек подачи пластин;7-каретка подачи пластин; 8-щетка; 9-патрубок подачи деионизованной воды; 11-столик центрифуги; 12–пластина;13-штифты;14-линейка с прорезями;15–винт; 16-электродвигатель.