
- •1 .Опишите фазы основного производства ис и назначение основного оборудования входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз.
- •2.Опишите фазы вспомогательного производства и назначение вспомогательного оборудования, входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз.
- •3.Классификация помещений по микроклимату и запылённости.
- •4.Опишите конструкцию боксов с применением схем данной конструкции.
- •Пылезащитные камеры без выделения продуктов химических реакций (а) и с выделением их (б):
- •5. Опишите устройство, порядок работы, принцип действия установки очистки газы
- •6. Опишите устройство, порядок работы, принцип действия установки очистки газа водорода(угов) с использованием схемы угов.
- •7. Опишите устройство оборудования для очистки воды с использованием схемы установки, принцип действия установки, объясните понятие централизованной очистки и финишной очистки.
- •8. Опишите основные характеристики автомата "алмаз-6м" контролируемые наладчиком, для проверки готовности автомата к работе.
- •9. Опишите устройство, принцип действия автомата "алмаз-6м" с использованием кинематической схемы автомата.
- •10. Опишите порядок крепления алмазного круга с внутренней режущей кромкой и его натяга с использованием схемы крепления и натяга.
- •11. Опишите устройство и порядок работы станции очистки сож с использованием схемы.
- •12. Опишите устройство турбомолекулярного насоса, принцип его действия, порядок работы.
- •13. Опишите устройство, порядок работы с использованием схемы установки шлифовки с двухсторонним шлифованием.
- •Кинематическая схема станка двухстороннего шлифования
- •14. Опишите устройство, порядок работы установки полировки (химико-механической) с использованием схемы установки.
- •15. Опишите назначение, устройство и порядок работы установки посадки кристаллов в корпус эм-4085.
- •16. Опишите устройство, порядок работы установки снятие фаски с использованием кинематической схемы установки.
- •Принципиальная схема автомата снятия фасок
- •17. Опишите назначение, устройство и порядок работы, автомата гидромеханической отмывки с использованием схемы.
- •18. Опишите устройство нагревательной камеры с использованием схемы камеры, основные отказы в работе.
- •19. Опишите назначение, устройство, градуированные характеристики преобразователей температуры (термопар), типы, пределы измерения.
- •20 .Изложите понимание вакуума, опишите примерную схему вакуумного оборудования с пояснением назначения узлов, приборов входящих в оборудование.
- •21.Опишите устройство механических объемных вращательных (пластинчато-роторных, пластинчато-статорных) насосов с использованием схем насосов, принцип действия данных насосов.
- •22. Опишите устройство преобразователя манометрического теплового с использованием его схемы, принцип действия преобразователя, с каким вакуумметром используется пмт.
- •Термопарный манометрический преобразователь: 1, 2 - стеклянные трубки и баллон. 3 - платиновый подогреватель, 4 - хромель-копелевая термопара, .5 - цоколи 6 - штырьки
- •23. Опишите устройство высоковакуумного насоса (паромасляного) насоса с использованием схемы насоса, принцип действия, технические характеристики насоса.
- •24. Опишите устройство преобразователя манометрического ионизационного с использованием схемы преобразователя, принцип действия, с какими вакуумметрами он применяется.
- •25. Опишите назначение, устройство, порядок работы установки присоединения выводов эм-4020б.
- •26. Опишите устройство установки наращивания эпитаксиальных слоев типа унэс-100 с использованием схемы установки, порядок работы установки.
- •27.Опишите устройство скруббера, назначение скруббера, принцип действия, его связь с системой газораспределения унэс-100 с применением схемы.
- •28. Опишите устройство ионного источника с применением схемы ионного источника, принцип действия ионного источника,
- •29. Опишите устройство цилиндра Фарадея, с применением схемы цилиндра, принцип действия. Изложите необходимость применения заземляющих и подавляющей диафрагмы.
- •30.Опишите устройство линейного шагового двигателя (лшд) с использованием схемы индуктора и статора, схемы расположения индуктора на статоре.
11. Опишите устройство и порядок работы станции очистки сож с использованием схемы.
Станция состоит из центрифуги 1 и устройства перекачки 7. Загрязненная жидкость из станка проходит через фильтр 5, очищается, затем через колпачок 4 равномерно распределяясь, жидкость сливается в резиновый отстойник 3 центрифуги, в которой под действием центробежных сил окончательно очищается и подается через зазор А между фильтром и мешалкой в емкость устройства перекачки. Шестеренчатым насосом 8 жидкость под давлением (0.3-0.5) МПа через предохранительный клапан снова поступает к станку. Центрифуга вращается от э/д через ремень.
Станция очистки и перекачки смазочно-охлаждающей жидкости станка"Алмаз-6М":
1-центрифуга; 2,7-корпуса; 3-резиновый отстойник; 4-колпачок; 5-фильтр; 6-мешалка; 8-шестеренчатый насос.
Ручной режим - для проверки работоспособности станка.
Автоматический режим резки слитка по программе пакетов и одиночных пластин. Суммарная толщина пакетов не должна превышать 25 мм.
12. Опишите устройство турбомолекулярного насоса, принцип его действия, порядок работы.
Рис.5.6.Турбомолекулярный насос:
а)–устройство; б)–рабочий механизм; 1–корпус; 2,6–неподвижные статорные и подвижные роторные диски соответственно; 3–подшипники; 4–вал; 5–электродвигатель; 7,8–патрубки для соединения с форвакуумным насосом и откачиваемым объемом.
Турбомолекулярный насос работает при создании форвакуума в выпускном патрубке не более 102 Па. При этом в первый период быстрота действия его мала, потребляемая мощность велика и он сильно нагревается.
Принцип действия турбомолекулярного насоса основан на сообщении направленной кинетической энергии молекулам откачиваемого газа быстро вращающимися поверхностями ротора(10000 об/мин). При работе насоса возможен частичный пролет молекул в обратном направлении. Отношение вероятностей пролета молекул любого газа в прямом и обратном направлениях характеризуется степенью сжатия данного газа насосом.
13. Опишите устройство, порядок работы с использованием схемы установки шлифовки с двухсторонним шлифованием.
Кинематическая схема станка двухстороннего шлифования
Привод станка осуществляется от электродвигателя М, через пару шестерен 5, червячную пару 4 и обгонную муфту 3. Далее через перебор 2 вращение передается на внешнюю 1 и внутреннюю 6 ведущие шестерни. Верхний шлифовальник 8, на поднимающейся крышке 10, из дозатора 9 через отверстие в шлифовальнике, в зону обработки подается абразивная суспензия.
Шлифовальники изнашиваются неравномерно, поэтому наладчики контролируют их поверхность.
14. Опишите устройство, порядок работы установки полировки (химико-механической) с использованием схемы установки.
Рис.6.15. Полуавтомат полирования пластин:
1-пневмоцилиндр;2-дозатор;3-диск;4-блок;5-полировальный стол;6-карусель;
7-сборный-блок;8-насос;9-электродвигатель;10-фильтр;11-редуктор; 12-манометр;13-клапан;14-дроссель;15-обратный клапан.
Назначение.
Полуавтомат полирования пластин (рис.6.15) предназначен для окончательного механического и химико-механического полирования пластин диаметром 150 мм.
Обрабатываемые пластины наклеены на блок 4, закрепленный на диске 3. Полуавтомат имеет 4 прижимных диска 3, закрепленных на штоках пневматических цилиндров 1,в шариковых подшипниках; диски могут свободно устанавливаться на поверхности полировального стола 5.
Полировальный стол закрепляется на карусели 6, которая получает вращение от электродвигателя 9 через ременную передачу и 2 пары цилиндрических зубчатых колес.
Вращается карусель на двух радиальных и упорном шариковых подшипниках с частотой 80 об/мин; при этом, прижимные диски так же начинают вращаться ,за счет трения о полировальный стол, совершая сложное планетарное движение. Из дозатора 2 на полировальник подается полирующая суспензия, стекающая со стола в сборный блок 7 и вновь подаваемая в дозатор насосом 8.
Прижим пластин к полировальному столу осуществляется пневматическими цилиндрами, питаемыми сжатым воздухом через фильтр 10 и редуктор 11. Контролируется усилие прижима манометром 12. Клапаны 13 переключают подачу воздуха в верхнюю и нижнюю полость цилиндра и обеспечивают прижим или подъем пластин.