1 .Опишите фазы основного производства ис и назначение основного оборудования входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз.

Первая фаза.

Производство пластин. Ориентация кристаллографической плоскости,

резка пластин, шлифовка, полировка, снятие фаски, отмывка.

Вторая фаза.

Производство П/П структур. Химическое травление и отмывка,

наращивание эпитаксиального слоя, диффузия или ионное легирование,

ПХТ (плазмохимическое травление),контроль на пластине.

Третья фаза.

Сборка ИС в корпус. Разделение пластин на кристаллы, монтировка

кристаллов в корпус, разварка межсоединений, герметизация, посивация,

контроль электро параметров, маркировка, упаковка.

2.Опишите фазы вспомогательного производства и назначение вспомогательного оборудования, входящего в состав соответствующей фазы. Наименование фаз.

1. Очистка среды. Подготовка дионизованнои воды, химреактивов, очистка

газов, очистка среды в производственном помещении.

2. Изготовление инструмента. Фотошаблонов, сварочного инструмента,

инструмента посадки.

3. Изготовление вспомогательных узлов и деталей. Корпус, выводные

рамки.

3.Классификация помещений по микроклимату и запылённости.

Стандартом установлено следующее разделение производственных Помещений и рабочих объемов в зависимости от максимальной концентрации частиц в 1 л воздуха: 1 – 0,035; 10 – 0,35; 100 – 3,5; 1000 – 35; 10000 – 350; 100000 – 3500. Этим же стандартом определен единый минимальный размер аэрозольных частиц в воздушной среде производственных помещений и техноло­гических газах, равный 0,5 мкм. В зависимости от характера выполняе­мых работ относительная влажность воздуха производственных помеще­ний должна поддерживаться в диапазоне 40—60 %, а температура — от 20 до 27 °С.

4.Опишите конструкцию боксов с применением схем данной конструкции.

Пылезащитные камеры без выделения продук­тов химических реакций (а) и с выделением их (б):

1 - перфорированная решетка, 2 - высокоэффективный фильтр, 3 - воздухозаборная решетка с фильтром предварительной очист­ки воздуха, 4 - вентилятор, 5 - подъемная стеклянная штор­ка,

6, 7 - отверстие и воздухо­вод для удаления загрязненно­го воздуха

Высокоэффективный фильтр занимает верхнюю часть камеры. За фильт­ром расположена перфорированная решетка 1, делящая на отдельные струи воздушный поток, ламинарность которого создается при скоро­стях 0,2—0,5 м/с..

5. Опишите устройство, порядок работы, принцип действия установки очистки газы

Азота (УГОА) с использованием схемы УГОА.

Схема установки очистки газов:

1 - ротаметры, 2 - дозатор водорода, 3,4 - реакторы с палладированным алюмогелем и оксидом меди, 5 - холодильник, 6 - фильтр, 7 - ад­сорберы, 8 - вентили, 9 - подогреватели воздуха (азота) для регене­рации

Очищаемый водо­род через ротаметр 1 подают в реактор 3 с палладированным алюмогелем, где происходит каталитическое связывание кислорода с водородом, в результате которого образуется вода. При очистке азота и аргона от кислорода водород специально в оптимальных количествах вводят в ре­актор 3 через ротаметр 1 и дозатор 2. Чтобы исключить конденсацию образовавшейся воды, реактор подогревают.

Очистка газов от водорода происходит в реакторе 4 с оксидом меди, нанесенным на активный глинозем. При этом свободный водород, всту­пая во взаимодействие с оксидом меди, восстанавливает его с образова­нием воды

Для окончательной осушки очищаемых газов служат два работаю­щих поочередно адсорбера 7, заполненные в зависимости от необходи­мой степени осушки силикагелем или цеолитом