5. Обработка результатов
Удельное сопротивление полупроводниковых материалов при измерении 2-х и 4-х зондовым методом рассчитывается по формуле (2.11) и (2.9) соответственно.
Полученные результаты следует оформить в виде таблицы.
Таблица 5.1
Название материала |
2-х зондовый метод
|
4-х зондовый метод
|
|
|
|
[Омм]
[Омм]где - систематическая ошибка измерений.
6. Контрольные вопросы
1. Дайте определение понятий: удельное сопротивление, удельная проводимость. В каких единицах измеряются эти величины в СИ?
2. Объясните с чем связано отличие полупроводников от диэлектриков?
3. Каким образом ширина щели между заполненными и незаполненными зонами влияет на сопротивление диэлектрика?
4. Чем определяется точность определения удельного сопротивления 2-х и 4-х зондовыми методами?
5. В чем преимущества 4-х зондового метода измерения перед 2-х зондовым?
Чем определяется систематическая ошибка измерений?
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
Епифанов Г.Н. Физические основы микроэлектроники. М.: Советское радио, 1971. 375 с.
Епифанов Г.Н. Физика твердого тела. М.: Высшая школа, 1977. 288с.
Дулин В.Н. Электронные приборы. М.: Энергия, 1977. 424 с.
Смит З. Полупроводники. М.: Мир, 1982. 560 с.
Росадо Л. Физическая электроника и микроэлектроника. М.: Высшая школа, 1991. 351 с.