Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
КОНСПЕКТ2.doc
Скачиваний:
0
Добавлен:
01.05.2025
Размер:
567.81 Кб
Скачать

11.4 Технология гибридных пленочных схем

Электролиты наносятся в виде пленок. Различают тонкопленочные и МС.

установка внутри камерного напыления вещество, подлежащее напылению, помещают в испаритель. В вакууме, который создается внутри камеры, молекулы достигают подложки. Время напыления, толщина, сопротивление, контролируется с помощью заслонки.

Технология производства толстопленочных схем использует специальную пасту, которой покрывается подложка.