Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Посібник ФХМД.doc
Скачиваний:
2
Добавлен:
01.05.2025
Размер:
11.54 Mб
Скачать

14.5. Методи препарування зразків для досліджень

В електронно-мікроскопічних дослідженнях спосіб виготовлення зразків відіграв вирішальну роль в об'єктивності і відтворюванні, а це накладає певні вимоги:

- Об'єкт виготовляють у вигляді достатньо тонкої плівки або окремо диспергованих частинок. Максимальна товщина об'єкта для неорганічних речовин 10...20 нм, а для органічних 90...100 нм. Зразки із великою товщиною викликають сильну хроматичну аберацію, а дуже тонкі або із малою густиною не забезпечують достатньої контрасності зображення.

- Об'єкт повинен мати достатню міцність і не зазнавати змін у вакуумі під дією електронного бомбардування.

- Об'єкт не повинен заряджатись або іонізуватись, оскільки це приводить до спотворення зображення, яке створюється пучком електронів.

- Об'єкт повинен бути чистим, без забруднень домішками сторонніх речовин, бо інакше, внаслідок великого збільшення, зображення спотворюється. Чистота і якість об'єкта перед його поміщенням в електронний мікроскоп повинна контролюватись за допомогою світлооптичного мікроскопа.

- Методи препарування об'єкта повинні бути м’якими, а вплив на зразок мінімальний.

Всі методи препарування зразків для електронно-мікроскопічних досліджень поділяють на дві групи. Зразок поміщають в мікроскоп безпосередньо або виготовляють копію об'єкта - відбиток його поверхні (репліку).

В першому випадку (прямий метод) препарат досліджуваного матеріалу поміщають в мікроскоп на сітці або діафрагмі і кріплять в гільзу об'єктоутримувача мікроскопа. Здебільше використовують плетену мідну сітку з 10 000 отв/см2 , з якої штампують кружки необхідного діаметра. Рідше користуються діафрагмою у вигляді круглої металевої пластинки діаметром 2 або 3 мм, в центрі якої є отвір діаметром 0,1...0,2 мм. Використовують також метод досліджень, коли об'єкт поміщають на плівку-підкладку, роль якої аналогічна предметному склу в оптичному мікроскопі. Плівки повинні бути достатньо міцними і не мати помітної власної структури при заданому збільшенні мікроскопа. Виготовляють їх як із органічних, так і неорганічних речовин: колодія, формвара, цапонлака, кварцу, оксиду алюмінію, вугілля, металеві та ін. Використовують також плівки-підкладки із отворами, які виготовляють із органічних матеріалів і металеві. В такому способі ділянки препарату, розміщені над отворами, дають зображення більш високого розділення, ніж ділянки над матеріалом плівки.

В другому випадку (опосереднений метод) репліку з поверхні масивних об'єктів виготовляють з матеріалу, який не має при даному збільшенні власної структури, прозорий для електронів і не руйнується під їх впливом у вакуумі. Відбитки рельєфу поверхні зразка повинні бути тонкими і точними. Одержують їх переважно за допомогою лаку, кварцу і вугільні. Існують також методи виготовлення реплік з порошків, суспензій, волокон, ультратонких зрізів та ін.

14.6. Растрова електронна мікроскопія

Загальна ідея роботи растрового (скануючого) електронного мікроскопа була сформульована М.Кноллем (1935р.), а перший надійно діючий прилад описано М.Арденне в 1938р. для роботи у режимі на просвічування, а також В.К.Зворикіним та ін. в 1942р.