Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Посібник ФХМД.doc
Скачиваний:
3
Добавлен:
01.05.2025
Размер:
11.54 Mб
Скачать

14.2. Роздільна здатність і збільшення електронного мікроскопа

Роздільна здатність і збільшення - основні характеристики оптичного і електронного мікроскопів. Роздільна здатність - це величина обернена мінімальній відстані між двома точками об'єкта, які роздільно зображаються приладом. Роздільна здатність оптичних мікроскопів обмежена явищем дифракції світла на частинках співрозмірних за розмірами із довжиною світлової хвилі, яка огинає такі частинки, і виявити їх не вдається.

Електронний мікроскоп в загальному аналогічний оптичному, або світловому, але із тією різницею, що для освітлення зразка замість світла із довжиною хвилі біля 5000 Å використовують потік електронів з довжиною хвилі біля 0,05 Å. Це означає, що електронний мікроскоп в потенції може мати роздільну здатність на п'ять порядків вищу, ніж оптичний. Проте, реально із-за обмежень, зумовлених конструкцією електронних лінз і методів препарування зразків, розділення може бути досягнуто лише біля 2 Å, тобто роздільна здатність покращується в 1000 раз.

Відомо ряд методів, які дозволяють визначити збільшення, що дає електронний мікроскоп - це методи стандартних об'єктів, змішень, дифракційної ґратки, мікрочастинок і ниток. Метод стандартних об'єктів найбільш простий і використовуємий для приладів будь-якого типу. Його суть полягає у слідуючому. На оптичному мікроскопі якомога точніше вимірюють діаметр отворів об'єктоутримувача на проміжному екрані Доб1 і апертурної діафрагми Дап1 (поля зору). Після цього їх поміщають в електронний мікроскоп і досягають різкого збільшення об'єктоутримувача на проміжному екрані, а апертурної діафрагми - на кінцевому. По сітці, нанесеної на проміжному екрані, виміряють діаметр отвору об'єктоутримувача Доб2, а діаметр зображення апертурної діафрагми Дап2 визначають на кінцевому екрані або по фотографічному знімку. Потім розраховують збільшення об'єктивної і проекційної лінз (першої і другої ступені):

Збільшення об'єктивної лінзи М1 = Доб2об1 (14.1)

Збільшення проекційної лінзи М2ап2ап1 (14.2)

Загальне збільшення дорівнює добутку збільшень, яке дає обома ступенями М = М1.М2. (14.3)

Похибка у визначенні збільшення за цим методом дорівнює наближено 10%, а для інших методів вона знаходиться в межах від 1 до 3%.

14.3.Типи електронних мікроскопів

Електронні мікроскопи поділяють на магнітні (електромагнітні і магнітостатичні), електростатичні і комбіновані. Магнітні (головним чином електромагнітні) мікроскопи складають порядку 95% від усіх, що використовуються в наш час.

За принципом дії і способом дослідження об'єктів розрізняють такі типи електронних мікроскопів: на просвічування, на відбивання, емісійні, растрові і тіневі. Найбільш поширені мікроскопи на просвічування, які мають високу роздільну здатність та універсальність.

За роздільною здатністю електронні мікроскопи розділяють на три класи: перший - роздільна здатність 8...15 Å, другий - 20...30 Å, третій - 50...150 Å. Для розширення діапазону досліджень деякі моделі електронних мікроскопів оснащені пристроями для нагрівання або охолодження об'єкту досліджень, для механічного впливу на зразок.

В електромагнітному електронному мікроскопі на просвічування (рис. 14.1) пучок електронів спочатку фокусується на об'єкті конденсорною лінзою, а потім проходить обмежувальну апертурну діафрагму і попадає в об'єктивну лінзу, яка створює на проміжному екрані перше збільшене зображення об'єкта. Через невеликий отвір цього екрану і проекційну лінзу, яка створює вторинне збільшення зображення об'єкта частина потоку електронів створює зображення на другому екрані. Під екраном для фотографування зображення об'єкта розміщена касета з фотопластинкою або фотоплівкою.

В емісійному електронному мікроскопі зображення об'єкта здійснюється електронами, які випромінюються об'єктом внаслідок його нагрівання (термоелектронна емісія), освітлення (фотоелектронна емісія) або іонами (вторинна емісія).

Зображення у мікроскопі на відбивання одержується у розсіяних (відбитих) променях.

В основу тіневих електронних мікроскопів покладено принцип тіневого відображення досліджуваного об'єкта. В якості точкового джерела освітлення використовується електронний зонд.

В скануючих (растрових) електронних мікроскопах зображення створюється шляхом розгортки елементів об'єкта також електронним зондом - дуже тонким електронним пучком з перерізом порядка 0,1...0,01 мкм (за принципом одержання телевізійного зображення). Метод одержав назву растрової електронної мікроскопії і буде розглянуто окремо, оскільки поруч із електронною мікроскопією на просвічування, найбільш поширений.