Министерство образования российской федерации
Орловский государственный технический университет
Кафедра «птЭиВс»
Курсовая работа
на тему: “Технология изготовления плат тонкопленочных гибридных интегральных микросхем"
Дисциплина: «Материаловедение и материалы электронных средств»
Выполнил студент группы 31-В Кутырёв А.В. Руководитель Косчинская Е. В.
Задание принял к исполнению: _16.02.05г._
Срок сдачи работы: ______31.05.05г.______
Курсовая работа защищена с оценкой _______________________________
Орел 2005
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ОРЛОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
Кафедра «ПТЭиВС»
Задание на курсовую работу
Студент Кутырёв А.В. Группа 31-В
Вариант №21
Исходные данные:
Материал: Стекло С-48.
Размеры заготовки:
Типоразмер кристалла: №10
мм.Толщина заготовки: l=0,4 мм.
Годовой план: N= 1500000
Выход годного по обработке: V1=83%
7) Выход годного по плате: V2=80%
Содержание
Кафедра «ПТЭиВС» 1
ЗАДАНИЕ НА КУРСОВУЮ РАБОТУ 2
Студент Кутырёв А.В. Группа 31-В 2
Введение. 4
Часть I. 6
Аналитический обзор 6
1.2. ТРЕБОВАНИЯ К ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИМ ПОДЛОЖКАМ И ВЫБОР МАТЕРИАЛА 7
1.3. ОБОСНОВАНИЕ ВЫБОРА МАТЕРИАЛА И 8
ОСОБЕННОСТИ СТЕКЛООБРАЗНОГО СОСТОЯНИЯ 8
1.4. ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ СЫРЬЯ 11
1.5. ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ СТЕКЛОИЗДЕЛИЙ 16
1.5.1. Резка 21
1.5.2. Шлифовка и полировка 23
1.5.3. Химическое травление подложек 25
1.6. ОПЕРАЦИИ РАЗДЕЛЕНИЯ ПОДЛОЖЕК НА ПЛАТЫ 26
1.6.1. Алмазное скрайбирование 26
1.6.2. Лазерное скрайбирование 27
1.7. РАЗЛАМЫВАНИЕ ПЛАСТИН НА КРИСТАЛЛЫ 28
Часть II. Расчет 31
KИМ =0,53 32
32
Заключение 33
Введение.
Технология изготовления интегральных микросхем представляет собой совокупность механических, физических, химических способов обработки различных материалов (полупроводников, диэлектриков, металлов), в результате которой создается ИС.
Повышение производительности труда обусловлено в первую очередь совершенствованием технологии, внедрением прогрессивных технологических методов, стандартизацией технологического оборудования и оснастки, механизацией ручного труда на основе автоматизации технологических процессов. Значимость технологии в производстве полупроводниковых приборов и ИС особенно велика. Именно постоянное совершенствование технологии полупроводниковых приборов привело на определенном этапе ее развития к созданию ИС, а в дальнейшем — к широкому их производству. Создание микроэлектронной аппаратуры явилось результатом процесса комплексной микроминиатюризации электронно-вычислительных средств, аппаратуры связи, устройств автоматики. Этот процесс возник в связи с потребностями развития промышленного выпуска изделий электронной техники на основе необходимости резкого увеличения масштабов их производства, уменьшения их массы, занимаемых ими объемов, повышения их эксплуатационной надежности.
Принятая ныне техническая политика, направленная на широкую роботизацию, на создание гибких автоматизированных производств, на ускорение научно-технического прогресса и усиление его роли в хозяйственной жизни отводит особое место микроэлектронике как средству и материальной базе реализации целевых программ в области автоматики и робототехники, вычислительной техники, механизации и автоматизации ручных операций во всех отраслях промышленности.
Производство ИС началось примерно с 1959 г. На основе предложенной к этому времени планарной технологии. Основой планарной технологии послужила разработка нескольких фундаментальных технологических методов. Наряду с разработкой технологических методов развитие ИС включало исследования принципов работы их элементов, изобретение новых элементов, совершенствование методов очистки полупроводниковых материалов, проведение их физико-химических исследований с целью установления таких важнейших характеристик, как предельные растворимости примесей, коэффициенты диффузии донорных и акцепторных примесей и др.
Особая роль отводится микроэлектронике в развитии вычислительных средств, поскольку умелое, широкое использование электронно-вычислительной техники — один из важнейших факторов происходящей научно-технической революции. Важным шагом в этом направлении было создание микропроцессора. Микропроцессор состоит из операционного и управляющего устройств и предназначен для автоматического выполнения последовательности операций по записанной в оперативной или постоянной памяти программе, которая может изменяться. Программное управление обеспечивает широкую логическую гибкость, т. е. возможность использования микропроцессора для выполнения различных функций, поскольку с изменением программы работы изменяется функционирование процессора.
Микроэлектроника продолжает развиваться быстрыми темпами, как в направлении совершенствования полупроводниковой интегральной технологии, так и в направлении использования новых физических явлений.