Сырьё

природный боксит

Химическая переработка выщелачивание раствором едкого натра

Прокаливание до 1100-1200 ^ОС

Пластификаторы Глинозем

связующие, пластифицирующие, в виде белого порошка

смазывающие и поверхностно-

активные

Керамическая масса

пластичное прессование из пресс - литье водного шликера в горячее литье под давлением

фор­мование порошков гипсовые формы в металлические формы

3 4

1 2

					КР 2102
Изм	Лист	№ докум.	Подп.	Дата
Разработал		Кузнецов			Технологический маршрут изготовления толстоплёночных		Литера			Лист	Листов
Проверил		Косчинская								1	2
						микросхем из высокоглиноземистой керамики	ОрёлГТУ

1 2 3 4

температура 70—80 °С

давление 0,1—1 МПа.

Обработка

Штампование Изостатическое Высокотемператур- Сливной Наливном Заливание

с добавлением прессование ное прессование способ способ вакуумированного

гидроорганических путем прило­жения гидроста- спекании керамического ма­териала шликера

пластификаторов тического давления жидкости под давлением при высокой темпера­туре

многократная

перемеш­ка вакуумирование Заготовка

в ленточном прессе

Влаж­ная обточка Обточка Сухая обточка

Механическая обработка

Подложки

Шлифование рабочая окружная скорость до 35 м/с

абра­зивным инструментом

Риски шириной 20 – 40 мкм скрайбирование

глубиной 10 – 15 мкм

					КР 2102
Изм	Лист	№ докум.	Подп.	Дата
Разработал		Кузнецов			Технологический маршрут изготовления толстоплёночных		Литера			Лист	Листов
Проверил		Косчинская								2	2
						микросхем из высокоглиноземистой керамики	ОрёлГТУ

Разламывание подложек

на платы

Плата