Список литературы

1. Черняев В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА. М.: Высшая школа, 1987. 376 с.

2. Пичугин И.Г., Таиров Ю.М. Технология полупроводнико­вых приборов. М.: Высшая школа, 1984. 288 с.

3. Попов В.Ф., Горин Ю.Н. Процессы и установки электрон­но-ионной тех­нологии. М.: Высшая школа. 255 с.

Соседние файлы в папке КС-61