
- •Ответы на вопросы к зачету по дисциплине фхотэс
- •1. Классификация интегральных микросхем.
- •17. Диаграмма плавкости двухкомпонентной системы с простой эвтектикой (компоненты не растворимы в твердом состоянии).
- •2. Профильно-технологическая схема (пример).
- •18. Диаграмма плавкости двухкомпонентной системы с неограниченной взаимной растворимостью в жидком и твердом состоянии. («Сигара»)
- •3. Методы полупроводниковой технологии.
- •19. Диаграмма плавкости твердых растворов с ограниченной растворимостью эвтектического типа.
- •4. Диффузионное легирование. Законы диффузии.
- •20. Диаграмма плавкости твердых растворов с ограниченной растворимостью перитектического типа.
- •5. Распределение концентрации примеси при диффузии из бесконечного источника примеси. (Пример распределения примеси в приборе).
- •21. Диаграмма плавкости двухкомпонентной системы с образованием химического соединения.
- •6. Распределение концентрации примеси при диффузии из ограниченного источника примеси. (Пример распределения примеси в приборе).
- •22. Фазовые превращения в бинарной системе при изотермической диффузии. Переходный эпитаксиальный слой.
- •7. Механизмы диффузии.
- •23. Примеры использования диаграмм состояния бинарных систем.
- •8. Влияние температуры на коэффициент диффузии.
- •24. Термодинамическая модель Гиббса - Фальмера механизма зарождения и роста пленок.
- •9. Техника выполнения диффузионного легирования.
- •25. Особенности роста пленок.
- •10. Процессы взаимодействия ионов с веществом.
- •26. Эпитаксиальное наращивание пленок.
- •11. Механизмы потерь энергии при взаимодействии иона с веществом.
- •27. Молекулярно - лучевая эпитаксия.
- •Технология
- •12. Распределение пробега имплантированных ионов в твердом теле.
- •28. Марки монокристаллического кремния и эпитаксиальных структур на его основе.
- •13. Каналирование ионов.
- •29. Кинетика термического окисления кремния.
- •14. Образование и отжиг радиационных дефектов.
- •30. Химическое осаждение диэлектрических пленок.
- •15. Ядерное (трансмутационное) легирование.
- •31. Плазмохимическое осаждение диэлектрических пленок.
- •16. Фазовые превращения однокомпонентных систем. Правило фаз Гиббса.
- •32. Термическое и электронно-лучевое вакуумное осаждение пленок.
22. Фазовые превращения в бинарной системе при изотермической диффузии. Переходный эпитаксиальный слой.
7. Механизмы диффузии.
Схема возможных механизмов диффузии атомов в кристаллах
Основными механизмами перемещения атомов по кристаллу могут быть: прямой обмен атомов местами — а; кольцевой обмен — б; перемещение по междоузлиям — в; эстафетная диффузия — г; перемещение по вакансиям — д; диссоциативное перемещение — е; миграция по протяженным дефектам (дислокациям, дефектам упаковки, границам зерен).
Вакансионный механизм диффузии— заключается в миграции атомов по кристаллической решётке при помощи вакансий. В любом кристалле существуют вакансии — места в решетке без атомов (их иногда называют атомами пустоты). Атомы вокруг вакансии колеблются и, получив определенную энергию, один из этих атомов может перескочить на место вакансии и занять её место в решетке, в свою очередь оставив за собой вакансию. Так происходит перемещение по решетке атомов и вакансий, а значит и массоперенос.Энергия, необходимая для перемещения вакансии или атома по решетке, называется энергией активации.
Межузельный механизм диффузии— заключается в переносе вещества межузельными атомами. Диффузия по такому механизму происходит интенсивно, если в кристалле по каким-то причинам присутствует большое количество межузельных атомов и они легко перемещаются по решетке. Такой механизм диффузии предполагается, например, для азота в алмазе.
Прямой обмен атомов местами— заключается в том, что два соседних атома одним прыжком обмениваются местами в решетке кристалла.
23. Примеры использования диаграмм состояния бинарных систем.
Диаграмма состояния бинарной системыпозволяет судить о типе и составе отдельных фаз, устойчивых в системе при данных температурах и давлении. Изменяя температуру и давление, можно также изменять составы хг, х2 сосуществующих фаз.
Диаграммы состояния бинарных системизображают зависимость между тремя переменными: составом ( концентрацией одного из компонентов смеси), давлением и температурой. Соответственно, эта зависимость может быть представлена в пространственной системе координат. Построение полных диаграмм состояния бинарных систем сопряжено с большими экспериментальными трудностями и пока осуществлено для немногих систем.
Типичный вид диаграммы состояния бинарной системы с практически нерастворимыми компонентами : В области температур, лежащих выше границы abc, обе компоненты существуют в жидком состоянии, образуя расплав. В области abd в расплаве выделяются твердые образования компоненты А. В области bee из расплава выделяются твердые образования компоненты В.
Для чего используют диаграммы состояний бинарных систем.
Диаграмма состояния системы кремний - углерод при давлении 3 5 МПа ( 35 атм. Как следует из диаграммы состояния бинарной системы кремний - углерод ( рис. 23 - 1), карбид кремния не имеет конгруэнтной точки плавления при нормальном давлении. Заметное испарение с разложением материала начинается только при температуре выше 2000 С.
8. Влияние температуры на коэффициент диффузии.
На коэффициент диффузии влияет температура. Зависимость
коэффициента диффузии от температуры подчиняется закону Аррениуса:
D = D0 exp (- Q/RT),гдеQ – энергия активации процесса диффузии, которая и определяет
зависимость D(T); D0 – предэкспоненциальный фактор; R – газовая постоянная, равная 8,31мольКДж ;
T – абсолютная температура, К.
Обе величины Q иD0 не зависят от температуры и приведены в справочных данных. Графическая зависимость коэффициента диффузии от температуры представлена на рис. 2,а. После логарифмирования выражения получаем
LnD = lnD0 - Q/RT.
Графическая зависимость lnD от обратной температуры 1/Т выражается прямой линией (рис. 2,б), что делает удобным определение коэффициентов диффузии при разных температурах: достаточно экспериментально определить коэффициент диффузии при двух температурах.
Рис. 2. Влияние температуры на коэффициент диффузии
Коэффициент диффузии зависит от компактности кристаллической решетки. Это относится, прежде всего, к диффузии металлоидных атомов в металле. Как правило, с увеличением компактности решетки коэффициент диффузии уменьшается. Так, например, коэффициент диффузии азота в α-железе с ОЦК-решеткой при температуре 6000 С в 2*103 раз больше коэффициента
диффузии азота в γ- железе с ГЦК-решеткой.