
- •Физико-химические основы литографии
- •1. Фотохимическое воздействие света на вещество
- •2. Фотохимические реакции
- •3. Методы литографии
- •Физические превращения в веществах при облучении электронами
- •Особенности электронно-лучевой литографии
- •Физические основы ионной литографии
- •Оборудование ионной литографии
2. Фотохимические реакции
К основным фотохимическим реакциям, протекающим в органических соединениях, являющихся основой при синтезе фоточувствительных материалов, относятся: фотолиз, фотоприсоединение, фотоперегруппировка, фотоперенос, фотосенсибилизация.
Фотолиз (фотораспад) - разложение исходной молекулы на химически активные части: свободные радикалы или ионы. Различают два типа фотолиза:
фотодиссоциацию - (распад исходной молекулы на свободные радикалы)
h
A1A2 [A1A2]* A1 + A2 (1.13)
и фотоионизацию (распад исходной молекулы на ионы)
h
А1А2 [А1А2]* А1+ + А2-, (1.14)
где А1А2 - молекула в основном состоянии; [А1А2]* - молекула в возбужденном состоянии; А1, А2 - свободные радикалы; А1+, А2- - ионы.
Фотоприсоединение - присоединение к активированной молекуле другой молекулы. Возможны следующие виды фотоприсоединения:
фотодемиризация (образование из двух молекул исходного вещества нового, называемого димером)
h
А1 А1* + А1 А1*А1 А1А1; (1.15)
фотооксидирование (присоединение к активированной молекуле кислорода)
h
А А* + О2 [А*О2] АО2; (1.16)
фотогидролиз (взаимодействие активированной молекулы с водой)
h
А А* + H2O H-A-OH; (1.17)
фотополимеризация (объединение молекул мономера в макромолекулы, в результате чего молекулы мономера становятся звеньями в структуре последних).
Фотоперегруппировка - перегруппировка атомов в структуре активированной молекулы. Различают два вида фотоперегруппировки:
фотоизомеризацию (поворот одной группы атомов относительно другой или иное изменение геометрической конфигурации активированной молекулы)
AF
A F
* A C
\ / h \ / \ /
C = D C=D C=D ; (1.18)
/ \ / \ / \
B C B C B F
фотоаутомеризацию (изменение положения отдельных атомов в структуре активированной молекулы)
H
H
* OH
/ \ h / \ /
A O A O A . (1.19)
\ / \ / \\
B B B
Фотоперенос электрона - отщепление электрона от некоторых активированных молекул под действием света.
Фотосенсибилизация - передача энергии возбуждения от молекулы одного вида к молекуле другого вида, приводящая к химическому превращению веществ.
Энергия активации, необходимая для возбуждения молекул, направленность и регулируемость фотохимических реакций зависят от химического состава вещества и наличия различных функциональных групп в его структуре. введение в структуру вещества хромофорфных и ауксохромных групп увеличивает светочувствительность композиций. При этом поглощение излучения происходит в более длинноволновой области спектра.
Многие из рассмотренных реакций протекают при экспонировании светочувствительных, в том числе и фоторезистивных материалов. При этом они часто протекают одновременно в едином процессе.