ЗадКурс

.DOC

Скачиваний:

Добавлен:

13.06.2014

Размер:

144.38 Кб

Скачать

☆

1 / 21 2 > Следующая >>>

МИНИСТЕРСТВО ОБЩЕГО И ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

КУРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

КАФЕДРА КОНСТРУИРОВАНИЯ И ТЕХНОЛОГИИ ЭЛЕКТРОННЫХ

ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫХ СРЕДСТВ

ИСХОДНЫЕ ДАННЫЕ

к курсовой работе «Расчет параметров процесса

ионно-плазменной обработки материалов» по

дисциплине «Теоретические основы технологии ЭВС»

для студентов специальности 220500

«Конструирование и технология ЭВС»

КУРСК 1998

Таблица 1

Исходные данные для расчета времени откачки предварительного вакуума

N вар	l, см	P_v, Па	Р_н, Па	Р₀, Па	d, см	Q_i, м³Па/с	S_н,л/с	V_раб.об., м³, 10^-3
1	50	10⁵	1	0,1	3	210^-4	6	80
2	60	- // -	- // -	- // -	- // -	310^-4	7	90
3	70	- // -	- // -	- // -	- // -	410^-4	8	100
4	80	- // -	- // -	- // -	- // -	5 10^-4	9	110
5	90	- // -	- // -	- // -	- // -	6 10^-4	10	120
6	50	- // -	2	0,2	2	2 10^-4	6	80
7	60	- // -	- // -	- // -	- // -	310^-4	7	90
8	70	- // -	- // -	- // -	- // -	410^-4	8	100
9	80	- // -	- // -	- // -	- // -	510^-4	9	110
10	90	- // -	- // -	- // -	- // -	610^-4	10	120
11	50	- // -	3	0,3	1	210^-4	6	80
12	60	- // -	- // -	- // -	- // -	310^-4	7	90
13	70	- // -	- // -	- // -	- // -	410^-4	8	100
14	80	- // -	- // -	- // -	- // -	510^-4	9	110
15	90	- // -	- // -	- // -	- // -	610^-4	10	120
16	50	- // -	4	0,4	4	210^-4	6	80
17	60	- // -	- // -	- // -	- // -	310^-4	7	90
18	70	- // -	- // -	- // -	- // -	410^-4	8	100
19	80	- // -	- // -	- // -	- // -	510^-4	9	110
20	90	- // -	- // -	- // -	- // -	610^-4	10	120
21	50	- // -	5	0,5	5	210^-4	6	80
22	60	- // -	- // -	- // -	- // -	310^-4	7	90
23	70	- // -	- // -	- // -	- // -	410^-4	8	100
24	80	- // -	- // -	- // -	- // -	510^-4	9	110
25	90	- // -	- // -	- // -	- // -	610^-4	10	120
26	50	- // -	6	0,6	6	210^-4	6	80
27	60	- // -	- // -	- // -	- // -	310^-4	7	90
28	70	- // -	- // -	- // -	- // -	410^-4	8	100
29	80	- // -	- // -	- // -	- // -	510^-4	9	110
30	90	- // -	- // -	- // -	- // -	610^-4	10	120
31	50	- // -	7	0,7	7	210^-4	6	80
32	60	- // -	- // -	- // -	- // -	310^-4	7	90
33	70	- // -	- // -	- // -	- // -	410^-4	8	100
34	80	- // -	- // -	- // -	- // -	510^-4	9	110
35	90	- // -	- // -	- // -	- // -	610^-4	10	120
36	50	- // -	8	0,8	8	210^-4	6	80
37	60	- // -	- // -	- // -	- // -	310^-4	7	90
38	70	- // -	- // -	- // -	- // -	410^-4	8	100
39	80	- // -	- // -	- // -	- // -	510^-4	9	110
40	90	- // -	- // -	- // -	- // -	610^-4	10	120

Таблица 2

Исходные данные для расчета ВАХ разряда, коэффициента распыления, скорости осаждения катодном распылении

N вар	r, мм	Р, мм рт.ст.		Элемент	, г/cм³
1	50	110^-3	1	Be	1,85
2	60	210^-3	1	Mg	1,74
3	70	310^-3	1	Al	2,67
4	80	410^-3	1	Si	2,33
5	90	510^-3	1	Ti	4,50
6	50	110^-3	1,25	V	5,96
7	60	210^-3	1,25	Cr	7,18
8	70	310^-3	1,25	Mn	7,44
9	80	410^-3	1,25	Fe	7,87
10	90	510^-3	1,25	Co	8,90
11	50	110^-3	1,5	Ni	8,91
12	60	210^-3	1,5	Cu	8,96
13	70	310^-3	1,5	Zn	7,13
14	80	410^-3	1,5	Ge	5,32
15	90	510^-3	1,5	Se	4,79
16	50	110^-3	2	Zr	6,45
17	60	210^-3	2	Nb	8,57
18	70	310^-3	2	Mo	10,22
19	80	410^-3	2	Pd	12,02
20	90	510^-3	2	Ag	10,50
21	50	110^-3	1,25	Cd	8,65
22	60	210^-3	1,25	In	7,31
23	70	310^-3	1,25	Sn	5,85
24	80	410^-3	1,25	Sb	6,69
25	90	510^-3	1,25	C	2,30
26	50	110^-²	1,5	Be	1,85
27	60	210^-²	1,5	Mg	1,74
28	70	310^-²	1,5	Al	2,67
29	80	410^-²	1,5	Si	2,33
30	90	510^-²	1,5	Ti	4,50
31	50	110^-²	2	V	5,96
32	60	210^-²	2	Cr	7,18
33	70	310^-²	2	Mn	7,44
34	80	410^-²	2	Fe	7,87
35	90	510^-2	2	Co	8,90
36	50	110^-²	1	Ni	8,91
37	60	210^-²	1	Cu	8,96
38	70	310^-²	1	Zn	7,13
39	80	410^-²	1	Ge	5,32
40	90	510^-²	1	Se	4,79

Найти размер катодной области d.
Найти коэффициент ионизации .
Найти коэффициент вторичной эмиссии Г.
Построить ВАХ разряда при 1000 В  U  5000 В.
Считать, что разряд происходит в атмосфере аргона и расстояние D от катода до анода равно 2d.
Найти максимальный коэффициент распыления, скорость распыления и скорость осаждения.

Таблица 3

Исходные данные для расчета температурного режима катода-мишени

N вар		_600 К, Вт/(мК)	V_воды, м/с
1	0,1	160	0,2
2	0,1	153	0,3
3	0,1	240	0,4
4	0,1	99	0,5
5	0,1	20	0.6
6	0,2	31	0.2
7	0,2	91	0.3
8	0,2	8	0.4
9	0,2	70	0.5
10	0,2	85	0.6
11	0,3	80	0,2
12	0,3	393	0.3
13	0,3	111	0.4
14	0,3	43	0.5
15	0,3	5,4	0.6
16	0,4	22	0.2
17	0,4	55	0.3
18	0,4	134	0.4
19	0,4	74	0.5
20	0,4	425	0.6
21	0,5	95	0,01
22	0,5	75	0,02
23	0,5	62	0,03
24	0,5	21	0,04
25	0,5	4,1	0,05
26	0,1	160	0,02
27	0,1	153	0,03
28	0,1	240	0,04
29	0,1	99	0,05
30	0,1	20	0.06
31	0,2	31	0.02
32	0,2	91	0.03
33	0,2	8	0.04
34	0,2	70	0.05
35	0,2	85	0.06
36	0,3	80	0,02
37	0,3	393	0.03
38	0,3	111	0.04
39	0,3	43	0.05
40	0,3	5,4	0.06

1 / 21 2 > Следующая >>>

Соседние файлы в папке Насонов И. В. (КС-11)

#
13.06.2014285.69 Кб51All Raschet Beta.mcd
#
13.06.2014285.67 Кб51All Raschet.mcd
#
13.06.2014731.14 Кб78All.doc
#
13.06.2014610.3 Кб57AllllofMe.doc
#
13.06.2014144.38 Кб52ЗадКурс.DOC
#
13.06.201477.31 Кб55Исходные данные.doc
#
13.06.201470.07 Кб51Курсовая ФХО ЭВС 1.mcd
#
13.06.2014148.81 Кб51Курсовая ФХО ЭВС 2.mcd
#
13.06.201471.41 Кб50Курсовая ФХО ЭВС 3.mcd
#
13.06.2014289.28 Кб54КурсСод.DOC