Курсовые / Сборник курсовых по ФХОТЭС. ЮЗГУ ( КГТУ ) / Выполненные Работы / Минаков В. В. (КС-71) / ZADANYE
.DOC
МИНИСТЕРСТВО ОБЩЕГО И ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
КУРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
КАФЕДРА КОНСТРУИРОВАНИЯ И ТЕХНОЛОГИИ ЭЛЕКТРОННЫХ
ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫХ СРЕДСТВ
ИСХОДНЫЕ ДАННЫЕ
к курсовой работе «Расчет параметров процесса
ионно-плазменной обработки материалов» по
дисциплине «Теоретические основы технологии ЭВС»
для студентов специальности 220500
«Конструирование и технология ЭВС»
КУРСК 1998
Таблица 1
Исходные данные для расчета времени откачки предварительного вакуума
|
N вар |
l, см |
P, Па |
Рн, Па |
Р0, Па |
d, см |
SQi, м3×Па/с |
Sн, л/с |
Vраб.об., м3, 10-3 |
|
1 |
50 |
105 |
1 |
0,1 |
3 |
2×10-4 |
6 |
80 |
|
2 |
60 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
3×10-4 |
7 |
90 |
|
3 |
70 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
4×10-4 |
8 |
100 |
|
4 |
80 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
5 ×10-4 |
9 |
110 |
|
5 |
90 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
6 ×10-4 |
10 |
120 |
|
6 |
50 |
- // - |
2 |
0,2 |
2 |
2 ×10-4 |
6 |
80 |
|
7 |
60 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
3×10-4 |
7 |
90 |
|
8 |
70 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
4×10-4 |
8 |
100 |
|
9 |
80 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
5×10-4 |
9 |
110 |
|
10 |
90 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
6×10-4 |
10 |
120 |
|
11 |
50 |
- // - |
3 |
0,3 |
1 |
2×10-4 |
6 |
80 |
|
12 |
60 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
3×10-4 |
7 |
90 |
|
13 |
70 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
4×10-4 |
8 |
100 |
|
14 |
80 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
5×10-4 |
9 |
110 |
|
15 |
90 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
6×10-4 |
10 |
120 |
|
16 |
50 |
- // - |
4 |
0,4 |
4 |
2×10-4 |
6 |
80 |
|
17 |
60 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
3×10-4 |
7 |
90 |
|
18 |
70 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
4×10-4 |
8 |
100 |
|
19 |
80 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
5×10-4 |
9 |
110 |
|
20 |
90 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
6×10-4 |
10 |
120 |
|
21 |
50 |
- // - |
5 |
0,5 |
5 |
2×10-4 |
6 |
80 |
|
22 |
60 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
3×10-4 |
7 |
90 |
|
23 |
70 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
4×10-4 |
8 |
100 |
|
24 |
80 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
5×10-4 |
9 |
110 |
|
25 |
90 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
6×10-4 |
10 |
120 |
|
26 |
50 |
- // - |
6 |
0,6 |
6 |
2×10-4 |
6 |
140 |
|
27 |
60 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
3×10-4 |
7 |
150 |
|
28 |
70 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
4×10-4 |
8 |
160 |
|
29 |
80 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
5×10-4 |
9 |
170 |
|
30 |
90 |
- // - |
- // - |
- // - |
- // - |
6×10-4 |
10 |
180 |
Таблица 2
Исходные данные для расчета ВАХ разряда, коэффициента распыления, скорости осаждения катодном распылении
|
N вар |
r, мм |
Р, мм рт.ст. |
c |
Элемент |
r, г/cм3 |
|
1 |
50 |
1×10-3 |
1 |
Be |
1,85 |
|
2 |
60 |
2×10-3 |
1 |
Mg |
1,74 |
|
3 |
70 |
3×10-3 |
1 |
Al |
2,67 |
|
4 |
80 |
4×10-3 |
1 |
Si |
2,33 |
|
5 |
90 |
5×10-3 |
1 |
Ti |
4,50 |
|
6 |
50 |
1×10-3 |
1,25 |
V |
5,96 |
|
7 |
60 |
2×10-3 |
1,25 |
Cr |
7,18 |
|
8 |
70 |
3×10-3 |
1,25 |
Mn |
7,44 |
|
9 |
80 |
4×10-3 |
1,25 |
Fe |
7,87 |
|
10 |
90 |
5×10-3 |
1,25 |
Co |
8,90 |
|
11 |
50 |
1×10-3 |
2 |
Ni |
8,91 |
|
12 |
60 |
2×10-3 |
2 |
Cu |
8,96 |
|
13 |
70 |
3×10-3 |
2 |
Zn |
7,13 |
|
14 |
80 |
4×10-3 |
2 |
Ge |
5,32 |
|
15 |
90 |
5×10-3 |
2 |
Se |
4,79 |
|
16 |
50 |
1×10-3 |
1 |
Zr |
6,45 |
|
17 |
60 |
2×10-3 |
1 |
Nb |
8,57 |
|
18 |
70 |
3×10-3 |
1 |
Mo |
10,22 |
|
19 |
80 |
4×10-3 |
1 |
Pd |
12,02 |
|
20 |
90 |
5×10-3 |
1 |
Ag |
10,50 |
|
21 |
50 |
1×10-3 |
1,25 |
Cd |
8,65 |
|
22 |
60 |
2×10-3 |
1,25 |
In |
7,31 |
|
23 |
70 |
3×10-3 |
1,25 |
Sn |
5,85 |
|
24 |
80 |
4×10-3 |
1,25 |
Sb |
6,69 |
|
25 |
90 |
5×10-3 |
1,25 |
C |
2,30 |
|
26 |
50 |
1×10-3 |
2 |
La |
6,14 |
|
27 |
60 |
2×10-3 |
2 |
Nd |
6,80 |
|
28 |
70 |
3×10-3 |
2 |
Gd |
7,89 |
|
29 |
80 |
4×10-3 |
2 |
Re |
21,02 |
|
30 |
90 |
5×10-3 |
2 |
Os |
22,57 |
-
Найти размер катодной области d.
-
Найти коэффициент ионизации a.
-
Найти коэффициент вторичной эмиссии Г.
-
Построить ВАХ разряда при 1000 В £ U £ 5000 В.
-
Считать, что разряд происходит в атмосфере аргона и расстояние D от катода до анода равно 2d.
-
Найти максимальный коэффициент распыления, скорость распыления и скорость осаждения.
Таблица 3
Исходные данные для расчета температурного режима катода-мишени
|
N вар |
e |
l600 К, Вт/(м×К) |
Vводы, м/с |
|
1 |
0,1 |
160 |
2 |
|
2 |
0,1 |
153 |
3 |
|
3 |
0,1 |
240 |
4 |
|
4 |
0,1 |
99 |
5 |
|
5 |
0,1 |
20 |
6 |
|
6 |
0,2 |
31 |
2 |
|
7 |
0,2 |
91 |
3 |
|
8 |
0,2 |
8 |
4 |
|
9 |
0,2 |
70 |
5 |
|
10 |
0,2 |
85 |
6 |
|
11 |
0,3 |
80 |
2 |
|
12 |
0,3 |
393 |
3 |
|
13 |
0,3 |
111 |
4 |
|
14 |
0,3 |
43 |
5 |
|
15 |
0,3 |
5,4 |
6 |
|
16 |
0,4 |
22 |
2 |
|
17 |
0,4 |
55 |
3 |
|
18 |
0,4 |
134 |
4 |
|
19 |
0,4 |
74 |
5 |
|
20 |
0,4 |
425 |
6 |
|
21 |
0,5 |
95 |
2 |
|
22 |
0,5 |
75 |
3 |
|
23 |
0,5 |
62 |
4 |
|
24 |
0,5 |
21 |
5 |
|
25 |
0,5 |
4,1 |
6 |
|
26 |
0,4 |
18 |
2 |
|
27 |
0,4 |
18 |
3 |
|
28 |
0,4 |
10,5 |
4 |
|
29 |
0,4 |
44 |
5 |
|
30 |
0,4 |
87 |
6 |
1. Считать, что температура рабочей поверхности мишени 600 К.
2. Определить оптимальную толщину катода-мишени при условии, что вся мощность разряда прикладывается к мишени.
3. Тепло от мишени отводится за счет излучения и подводимой воды.
4. Определить рабочую точку на ВАХ разряда для данного теплового режима.